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Generatore VHF Serie 3000
Generatore VHF Serie 3000
Eccitazioni plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma VHF Serie 3000

Adatto a tutte le esigenze

Innovativa, modulare, scalabile: la nuova piattaforma di generatori di TRUMPF Hüttinger

I generatori TruPlasma VHF Serie 3000 si basano su di un concetto di piattaforma innovativo che permette massimi valori di irradianza soddisfacendo i requisiti di processo più severi. La struttura modulare raffreddata esclusivamente ad acqua permette di riprodurre in scala la potenza di uscita sino ad 80 kW. Inoltre, i compatti generatori VHF convincono per la loro alta redditività e il loro robusto design.

Forma di impulso arbitraria, precisa e veloce

Ciò permette di ottenere il miglior controllo del processo al plasma per il pulsing single level e multi level.

Tempo di rampa minimo < 150 ns

Permette un controllo flessibile del comportamento d'innesco del generatore.

Auto Frequency Tuning intelligente

Adattamento automatico della frequenza per un'interazione ottimale fra il generatore e la rete di adattamento.

Controllo di processo affidabile e sofisticato

Risultati di processo eccellenti e riproducibili, grazie alla modulazione di frequenza digitale di alta precisione.

Indipendentemente dalla lunghezza del cavo

Non è necessario adattare la lunghezza del cavo HF in caso di cambi di processo, quindi tempi di attrezzaggio più brevi.

Design robusto

Funzionamento affidabile del generatore, anche in caso di disadattamento, grazie alla tecnologia CombineLine.

Campo d'applicazione tipico dei generatori TruPlasma VHF Serie 3000: produzione di celle solari

Produzione di celle solari

Nel settore del fotovoltaico, l'energia di processo su misura viene utilizzata in numerosi campi di applicazione. Per il riporto e l'asportazione di materiale trovano impiego diversi processi al plasma, ad es. i processi di sputtering, PECVD oppure di incisione. I generatori TruPlasma VHF Serie 3000 possono essere adattati in maniera ottimale ai rispettivi processi, mentre la gestione dell'arco permette un comando stabile del plasma. Questo garantisce eccellenti risultati di processo ed un'elevata produttività.

Ideali per processi di incisione e rivestimento

Produzione di semiconduttori

Nella produzione di semiconduttori trovano impiego diversi processi al plasma, dai processi di asportazione, passando per l'incisione a secco fino alla fusione a zone nella produzione di silicio puro. I generatori TruPlasma VHF Serie 3000 offrono tutti i presupposti per un'alimentazione elettrica stabile ed adattata alla perfezione al rispettivo processo, in modo da garantire risultati eccellenti e riproducibili.

Alimentazione elettrica a media frequenza di alto livello per il rivestimento di schermi piatti

Idoneità per il rivestimento di schermi piatti e di pannelli touch

I generatori TruPlasma VHF Serie 3000 sono ideali per processi al plasma quali RIE, ALD, PECVD e sputtering RF. Questi processi vengono impiegati fra l'altro nella produzione di elementi costruttivi a semiconduttore e di sistemi micromeccanici (MEMS) nonchè nel rivestimento di schermi piatti e di pannelli solari.

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TruPlasma VHF 3005
Uscita alta frequenza  
Potenza di uscita 5 kW
Potenza nominale 5 kW
Impedenza carico nominale 50 Ω
Frequenza di uscita 40,68 MHz
Dati di collegamento alla rete  
Tensione di rete 200 - 480 V
Frequenza di rete 50-60 Hz
Potenza di assorbimento rete 18 kVA
Fattore di potenza 0,95
Interfacce di comunicazione  
Sinc. interfacce
Analogico/digitale
RS 232 / RS 485
PROFIBUS
EtherCAT
DeviceNet
Alloggiamento  
Peso 55 kg
Tipo di protezione IP 30
Requisiti di raffreddamento  
Pressione max dell'acqua 7 bar
Differenza min. di pressione 2 bar
Portata min. 8 l/min
Temperatura refrigerante 5 °C - 35 °C 1
In generale  
Rendimento totale 75 %
Certificati / standard Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs
Condizioni ambientali  
Temperatura esterna 5 °C - 40 °C
Umidità dell'aria 5 % - 85 %
Pressione barometrica 79,5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Scheda tecnica

I dati tecnici di tutte le varianti dei prodotti, disponibili per il download.

Tecnologia CombineLine dei generatori TruPlasma VHF Serie 3000

Adattamento flessibile al processo

Il concetto di piattaforma modulare del TruPlasma VHF Serie 3000 permette una realizzazione in scala della potenza di uscita sino a 80 kW. Grazie alla tecnologia CombineLine, il generatore si dimostra molto robusto anche in caso di disadattamento. Il suo ampio campo di frequenza come anche la tensione di rete e la lunghezza del cavo variabili permettono un adattamento flessibile ad applicazioni differenti e l'uso in diversi paesi.

Generatore ad alta frequenza per circuiti oscillanti paralleli

Massima efficienza e redditività

I generatori HF TruPlasma VHF Serie 3000 sono realizzati completamente in base alla più moderna tecnica dei semiconduttori con transistor di potenza LDMOS.. La tecnica costruttiva planare ad alta integrazione permette massimi valori di irradianza e allo stesso tempo un'elevata efficienza energetica con ridotta potenza di raffreddamento. In tale maniera, questa famiglia offre in questo campo di frequenza una redditività mai vista prima e riduce i costi di esercizio che si riscontrano normalmente sul mercato.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

La SystemPort permette di chiudere il circuito di regolazione misurando il segnale RF direttamente sull'entrata e sull'uscita della rete di adattamento. Tutti i valori rilevati vengono messi a disposizione del generatore RF. Sono così garantiti un controllo migliore dei parametri di processo, la protezione della rete di adattamento e un tempestivo riconoscimento di archi. L'intero sistema RF può essere controllato anche mediante una singola interfaccia del generatore.

Le diverse opzioni permettono di adattare in modo ottimale il generatore VHF all'applicazione specifica.

Smart Auto Frequency Tuning

La soluzione brevettata Auto Frequency Tuning permette l'adattamento simultaneo e veloce della frequenza e assicura un'interazione ottimale fra il generatore e la rete di adattamento. Grazie a questa tecnologia brevettata, condizioni minime locali non sono più un ostacolo: il sistema RF viene portato in stato ottimale, permettendo così di ottenere i migliori risultati di processo e un'elevata riproducibilità.

Gestione dell'arco

Il modulo Arc Management è la soluzione ideale per il miglior controllo del processo al plasma. Un riconoscimento mirato degli archi garantisce la massima produttività possibile e protegge contemporaneamente il prodotto e l'impianto.

Forma d'impulso flessibile

Forma d'impulso flessibile: la forma del segnale di uscita può essere adattata a piacere ai relativi requisiti di processo.

Software intuitivo TruControl Power

TruControl Power

Il software di comando di facile utilizzo TruControl Power permette una messa in funzione comoda ed un controllo sicuro del generatore HF o dell'intero sistema RF TRUMPF nel processo in esecuzione.

Tramite la selezione di componenti di sistema idonei è possibile adattare in maniera ottimale il generatore HF ai requisiti della propria applicazione.

Soluzione di sistema RF: rete di adattamento per la massima stabilità di processo
Matchbox

Le reti di adattamento TruPlasma Match garantiscono un trasferimento ottimale della potenza dal generatore alla scarica. La rete di adattamento funziona autonomamente oppure mediante una connessione intelligente tra generatore e rete di adattamento stessa, la cosiddetta SystemPort.

Kit di accessori della serie TruPlasma VHF
Kit di accessori

È composto da adattatori per gli attacchi dell'acqua, dal kit per l'alimentazione in corrente alternata HARTING, dai ponticelli per la funzione di interblocco, dall'adattatore da LEMO EPL a BNC femmina (per connettori Clock and Pulse sync).

Oscillatore master per la stabilizzazione di processi al plasma sincroni critici
Oscillatori master

Gli oscillatori master consentono di stabilizzare ed ottimizzare processi al plasma sincroni critici. Un sintetizzatore digitale di frequenza e di fase integrato garantisce un'elevata stabilità di frequenza e di fase e permette la regolazione della posizione della fase ad intervalli ridottissimi. Per la frequenza 13,56 MHz, come anche per varie combinazioni di frequenze, sono disponibili diverse versioni di oscillatori master.

Generatore VHF Serie 3000
Commutatore HF

I commutatori ad alta frequenza permettono l'utilizzo multiplo di un generatore ad alta frequenza su diverse stazioni di processo al plasma, ad esempio per l'alimentazione elettrica di processi sequenziali oppure su sistemi con diversi punti di alimentazione. Sono disponibili diversi commutatori ad alta frequenza in due classi di potenza come anche con 2, 3 o 4 uscite.

Cavo coassiale per la trasmissione della potenza specificata
Cavo coassiale

Per la trasmissione della potenza ad alta frequenza, TRUMPF Hüttinger offre cavi coassiali sviluppati specificamente per l'impiego in sistemi da 50 ohm.

Generatore e rete di adattamento: una soluzione di sistema perfettamente abbinata

Abbinamento perfetto: il sistema RF di TRUMPF

I processi al plasma si comportano come un carico complesso e variabile a cui il generatore deve fornire continuamente alimentazione elettrica. Ciò avviene tramite reti di adattamento attive, le cosiddette matchbox, che garantiscono un preciso adattamento all'impedenza ottimale di 50 ohm in qualsiasi momento. Nasce così un sistema perfettamente abbinato, il sistema RF TRUMPF. Le varie interfacce, come ad es. EtherCAT, consentono di integrare molto facilmente generatore e rete di adattamento nell'ambiente di processo esistente e ottenere una soluzione di sistema ottimizzata mediante una connessione intelligente tra generatore e rete di adattamento, la cosiddetta SystemPort.

Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio referente locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.

Note a piè di pagina
  • La temperatura dell'acqua di raffreddamento deve superare il punto di rugiada della temperatura ambiente, per evitare la condensazione.

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