Generatori di corrente continua compatti di nuova generazione
I generatori TruPlasma DC Serie 3000 (G2) sono adatti ad un gran numero di processi di sputtering in corrente continua, anche al posto di alimentazioni elettriche di processo pulsate. Infatti, la precisa gestione dell'arco garantisce la qualità ottimale dello strato superficiale ed un rendimento produttivo nettamente superiore. Grazie alla struttura particolarmente compatta, è possibile integrare senza alcuna difficoltà i generatori di corrente continua raffreddati ad acqua in applicazioni preesistenti.
Energie residue < 0,3 mJ/kW garantiscono ottime qualità degli strati applicati ed elevati tassi di separazione.
Struttura molto compatta (apparecchio da innesto da 19") che permette l'integrazione anche di potenze superiori.
Potenze di uscita comprese tra 20 kW e 300 kW permettono quindi di rimpiazzare generatori di dimensioni maggiori.
Permette lunghi tempi di funzionamento del sistema e riduce i costi di manutenzione.
Tensioni di rete variabili (da 400 V a 480 V) e diverse interfacce dati.
Rivestimento con materiale duro
L'applicazione di strati funzionali mediante la tecnica del Magnetron sputtering in corrente continua crea maggior durezza superficiale e maggior attrito statico, nonché migliore stabilità termica e chimica, su pezzi soggetti ad alte sollecitazioni meccaniche. I generatori di corrente continua TruPlasma DC Serie 3000 (G2) garantiscono un processo al plasma stabile e dunque una qualità dello strato ottimale.
Metallizzazione
Il processo PVD consente di applicare sottilissimi strati di metallo su diversi materiali, al fine di conferire loro le migliori caratteristiche ottiche ed elettriche possibili. Adattando perfettamente l'alimentazione elettrica ai parametri di processo, si ottengono strati omogenei e privi di difetti.
Produzione di celle solari
Celle solari, schermi piatti e touchscreen vengono rivestiti con materiali elettroconduttori (TCO) per modificarne le caratteristiche elettriche. I generatori di corrente continua TruPlasma DC Serie 3000 (G2) si prestano perfettamente a tale scopo, per via della bassissima energia residua dell'arco,
Vetro architettonico
Il rivestimento di grandi superfici di vetro architettonico in un processo di sputtering in corrente continua richiede alimentazione adeguata. I generatori a corrente continua TruPlasma DC Serie 3000 (G2) offrono i presupposti ideali per un rivestimento di altissima qualità.
TruPlasma DC 3020 (G2) Confronta prodotto |
TruPlasma DC 3030 (G2) Confronta prodotto |
TruPlasma DC 3040 (G2) Confronta prodotto |
TruPlasma DC 3060 (G2) Confronta prodotto |
TruPlasma DC 3080 (G2) Confronta prodotto |
TruPlasma DC 3120 (G2) Confronta prodotto |
TruPlasma DC 3160 (G2) Confronta prodotto | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Uscita | |||||||
| Potenza nominale | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 W | - | - | - |
| Corrente di uscita massima | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff | - | - | - |
| Tensione di uscita massima | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | - | - | - |
| Parametri scarica ad arco | |||||||
| Frequenza massima di manifestazione scariche ad arco | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | - | - | - |
| Energia Arc | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | - | - | - |
| Tempo di trattamento della scarica ad arco | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs | - | - | - |
| Tensioni d'innesco | |||||||
| con meccanismo ausiliario d'accensione | 1500 V | 1500 V | 1500 V | 1500 V | - | - | - |
| senza meccanismo ausiliario d'accensione | 1000 V | 1000 V | 1000 V | 1000 V | - | - | - |
| Dati di collegamento alla rete | |||||||
| Tensione di rete | (±10%) 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | - | - | - |
| Frequenza di rete | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | - | - | - |
| Interfacce di comunicazione | |||||||
| Analogico/digitale | Sì | Sì | Sì | - | - | - | - |
| RS 232 / RS 485 | Sì | Sì | Sì | - | - | - | - |
| PROFIBUS | Sì | Sì | Sì | - | - | - | - |
| EtherCAT | Sì | Sì | Sì | - | - | - | - |
| DeviceNet | Sì | Sì | Sì | - | - | - | - |
| Alloggiamento | |||||||
| Peso | 45 kg | 65 kg | 65 kg | - | - | - | - |
| Tipo di protezione IP | 40 | 40 | 40 | - | - | - | - |
| Requisiti di raffreddamento | |||||||
| Refrigerante | Acqua | Acqua | Acqua | - | - | - | - |
| Pressione max dell'acqua | 7 bar | 7 bar | 7 bar | - | - | - | - |
| Differenza min. di pressione | 1,5 bar | 1,5 bar | 1,5 bar | - | - | - | - |
| Portata min. | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | - | - | - | - |
| Temperatura refrigerante | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | - | - | - | - |
| Dati di allacciamento CC | |||||||
| Quantità di terminali | 3 | 3 | 3 | - | - | - | - |
| Corrente nominale / terminale | 35 A | 53 A | 53 A | - | - | - | - |
| In generale | |||||||
| Rendimento totale | 90 % | 90 % | 90 % | - | - | - | - |
| Certificati / standard | CE | CE | CE | - | - | - | - |
| Condizioni ambientali | |||||||
| Temperatura esterna | 5 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | - | - | - | - |
| Umidità dell'aria | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | - | - | - | - |
| Pressione barometrica | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | - | - | - | - |
TruPlasma DC 3020 (G2)
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TruPlasma DC 3030 (G2)
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TruPlasma DC 3040 (G2)
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TruPlasma DC 3060 (G2)
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TruPlasma DC 3080 (G2)
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TruPlasma DC 3120 (G2)
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TruPlasma DC 3160 (G2)
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|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Uscita | |||||||
| Potenza nominale | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 W | - | - | - |
| Corrente di uscita massima | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff | - | - | - |
| Tensione di uscita massima | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | - | - | - |
| Parametri scarica ad arco | |||||||
| Frequenza massima di manifestazione scariche ad arco | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | - | - | - |
| Energia Arc | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | - | - | - |
| Tempo di trattamento della scarica ad arco | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs | - | - | - |
| Tensioni d'innesco | |||||||
| con meccanismo ausiliario d'accensione | 1500 V | 1500 V | 1500 V | 1500 V | - | - | - |
| senza meccanismo ausiliario d'accensione | 1000 V | 1000 V | 1000 V | 1000 V | - | - | - |
| Dati di collegamento alla rete | |||||||
| Tensione di rete | (±10%) 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | - | - | - |
| Frequenza di rete | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | - | - | - |
| Interfacce di comunicazione | |||||||
| Analogico/digitale | Sì | Sì | Sì | - | - | - | - |
| RS 232 / RS 485 | Sì | Sì | Sì | - | - | - | - |
| PROFIBUS | Sì | Sì | Sì | - | - | - | - |
| EtherCAT | Sì | Sì | Sì | - | - | - | - |
| DeviceNet | Sì | Sì | Sì | - | - | - | - |
| Alloggiamento | |||||||
| Peso | 45 kg | 65 kg | 65 kg | - | - | - | - |
| Tipo di protezione IP | 40 | 40 | 40 | - | - | - | - |
| Requisiti di raffreddamento | |||||||
| Refrigerante | Acqua | Acqua | Acqua | - | - | - | - |
| Pressione max dell'acqua | 7 bar | 7 bar | 7 bar | - | - | - | - |
| Differenza min. di pressione | 1,5 bar | 1,5 bar | 1,5 bar | - | - | - | - |
| Portata min. | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | - | - | - | - |
| Temperatura refrigerante | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | - | - | - | - |
| Dati di allacciamento CC | |||||||
| Quantità di terminali | 3 | 3 | 3 | - | - | - | - |
| Corrente nominale / terminale | 35 A | 53 A | 53 A | - | - | - | - |
| In generale | |||||||
| Rendimento totale | 90 % | 90 % | 90 % | - | - | - | - |
| Certificati / standard | CE | CE | CE | - | - | - | - |
| Condizioni ambientali | |||||||
| Temperatura esterna | 5 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | - | - | - | - |
| Umidità dell'aria | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | - | - | - | - |
| Pressione barometrica | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | - | - | - | - |
Dati tecnici di tutte le varianti dei prodotti, disponibili per il download.
L'alternativa economica ai generatori pulsati
Grazie alla loro avveniristica gestione dell'arco, i generatori di corrente continua TruPlasma DC Serie 3000 (G2) si sono affermati in numerosi processi di sputtering. Quale alternativa economica ai generatori di corrente continua pulsati, essi offrono anche un rendimento produttivo nettamente superiore.
L'alternativa compatta per potenze più elevate
Nonostante la loro struttura compatta, i generatori di corrente continua TruPlasma DC Serie 3000 (G2) si rivelano migliori dei generatori notevolmente più grandi per qualità dello strato di rivestimento e produttività. Essi rappresentano dunque un'alternativa compatta e di facile integrazione anche in caso di potenze di uscita superiori a 60 kW.
Raffreddamento ad acqua per tempi di funzionamento del sistema più lunghi
I generatori di corrente continua TruPlasma DC Serie 3000 (G2) sono equipaggiati con un sistema di raffreddamento completamente ad acqua. Rispetto agli apparecchi con raffreddamento ad aria, questa caratteristica permette di far funzionare il sistema più a lungo, riducendo gli interventi di manutenzione ed evitando imbrattamenti causati dall'infiltrazione di particelle di polvere.
Diverse opzioni permettono di adattare in modo ottimale il generatore a corrente continua all'applicazione specifica.
È possibile far funzionare in maniera sincrona più generatori di corrente continua TruPlasma DC Serie 3000 (G2). Questa modalità permette la sincronizzazione del riconoscimento di archi di più generatori allineati su diversi obiettivi. Anche la modalità di impulso può essere sincronizzata. Laddove è richiesta una potenza di uscita elevata, è possibile collegare in parallelo un massimo di 5 generatori TruPlasma DC 3030, funzionanti come unità TruPlasma DC 3150.
Il sistema di controllo delle valvole dell'acqua regola la portata dell'acqua di raffreddamento per evitare la formazione della condensa e, allo stesso tempo, per proteggere il generatore dal surriscaldamento.
Le interfacce EtherCAT ed EtherNET/IP permettono una semplice integrazione dei generatori TruPlasma DC Serie 3000 (G2) in impianti esistenti.
PVD Power
L'intuitivo software multilingue PVD Power offre numerose possibilità di comando, configurazione e diagnosi per ottimizzare la qualità del processo ed eliminare efficacemente gli errori: visualizzazione dei valori effettivi di tutti i parametri di processo pertinenti nonché di avvisi e messaggi d'allarme, preimpostazione di valori nominali da parte dell'operatore e registrazione e indicazione di importanti parametri di esercizio con alta risoluzione temporale (funzione oscilloscopio).
Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio interlocutore locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.
