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TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) | TRUMPF
Generatore TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2)
Generatore TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2)
Eccitazioni del plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2)

Risultati di rivestimento eccellenti grazie al plasma ad alta densità

La prima scelta per applicazioni HiPIMS

I generatori TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) possono essere utilizzati in alternativa ai generatori per sputtering CC in sistemi Magnetron già esistenti, senza necessità di apportare modifiche. Permettono di ottenere rivestimenti di materiale duro particolarmente resistenti alla corrosione e all'usura, pertanto sono la prima scelta per le applicazioni HiPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering).

Risultati di rivestimento perfetti

Potenze di picco impeccabili fino a 4 megawatt generano densità di plasma estreme con elevati flussi di ioni.

Impiego flessibile

Il semplice adattamento a sistemi catodici e a condizioni di processo esistenti permette un'integrazione ottimale degli apparecchi.

La prima scelta per applicazioni HiPIMS

Come ultima evoluzione in processi di sputtering PVD pulsato, HiPIMS fornisce rivestimenti in materiale duro particolarmente resistenti alla corrosione e all'usura.

Per svariate applicazioni

Utilizzabile anche in modalità CC, non serve ulteriore generatore di corrente continua.

Generatore TruPlasma Highpulse Serie 4000 in azione

Rivestimenti di materiale duro

L'applicazione di strati funzionali su pezzi soggetti ad alte sollecitazioni meccaniche crea una maggiore durezza superficiale ed un maggiore attrito statico, nonché una migliore stabilità termica e chimica. I generatori TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) garantiscono un processo al plasma estremamente stabile, e dunque, una qualità dello strato eccellente.

Produzione di celle solari

Semiconduttori/fotovoltaico

Nel settore del fotovoltaico e dei semiconduttori, l'energia di processo su misura viene utilizzata in numerosi settori di applicazione. I generatori TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) possono essere adattati in maniera ottimale ai relativi processi e garantiscono eccellenti parametri di rivestimento ed elevata produttività.

Ideali per il rivestimento di grandi superfici

Rivestimenti di vetro

Nel processo al plasma PVD, i rivestimenti di grandi superfici di vetro architettonico richiedono un'alimentazione elettrica adeguata. I generatori TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) offrono i presupposti ideali per un rivestimento di altissima qualità.

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Vetro architettonico

Risultati di processo ottimali

Potenze di picco elevate generano un plasma fortemente ionizzato e permettono elevati flussi di ioni. Si possono così ottenere film consistenti e densi senza gocce. In combinazione con configurazioni polarizzate del substrato, i generatori TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) offrono risultati straordinari in applicazioni di incisione e trench filling.

Gestione dell'arco

Gestione dell'arco completamente digitale

Durata e frequenza degli impulsi regolabile, parametri di potenza avanzati e gestione dell'arco completamente digitale con energia dell'arco estremamente ridotta permettono di ottenere uno sputtering senza gocce, difetti minimi nel film e garantiscono alta qualità degli strati ed elevate velocità di separazione.

Generatore ad alta frequenza per circuiti oscillanti paralleli

Rivestimenti grandiosi

Elevata energia ed elevate tensioni fino a 2 kV permettono di produrre rivestimenti di alta qualità, sia in piccoli laboratori sia in grandi impianti industriali. Impulsi di durata fino a 5 ms e frequenze fino a 10 kHz aumentano la velocità di separazione, contribuendo così a ridurre i costi di esercizio complessivi.

Produzione di celle solari

Elevata stabilità di processo

La regolazione della potenza con frequenza impostabile assicura che i parametri di separazione rimangano costanti anche in processi reattivi complessi. I processi rimangono dunque stabili per ore e giorni, senza bisogno di alcun intervento.

Un'unità compatta

I generatori TruPlasma Highpulse Serie 4000 sono unità di dimensioni compatte. Non necessitano di alimentazione di corrente continua esterna, sono raffreddati interamente ad acqua e permettono quindi il lavoro in camera bianca.

Le diverse opzioni garantiscono un adattamento ottimale dei TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) all'applicazione specifica.

Adattamento semplice al processo
Gestione dell'arco CompensateLine (CLC)

La gestione dell'arco completamente digitale con energia dell'arco estremamente ridotta permette di ottenere alta qualità degli strati ed elevate velocità di separazione.

Software di comando grafico PVD Power

PVD Power

L'intuitivo software multilingue PVD Power offre numerose possibilità di comando, configurazione e diagnosi per ottimizzare la qualità del processo ed eliminare efficacemente gli errori: visualizzazione dei valori effettivi di tutti i parametri di processo pertinenti nonché di avvisi e messaggi d'allarme, preimpostazione di valori nominali da parte dell'operatore e registrazione e indicazione di importanti parametri di esercizio con alta risoluzione temporale (funzione oscilloscopio).

Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio interlocutore locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.

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Nikolas Hunzinger
Sales Plasma
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