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Eccitazioni plasma

TRUMPF Hüttinger

TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

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Pieno controllo sul processo

Con i generatori TruPlasma MF Serie 7000 (G2) il processo è sempre sotto controllo: la moderna gestione degli archi e il comportamento d'innesco rendono questi generatori ideali per rivestimenti ad ampia superficie (Large Area Coating) e per processi reattivi complessi nel Dual Magnetron Sputtering. Grazie a rendimenti di picco superiori al 90% e ad una gestione particolarmente efficiente dell'acqua di raffreddamento, assicurano un funzionamento particolarmente redditizio.

Massima qualità di rivestimento e massima produttività

Risultati eccellenti ed elevate velocità di rivestimento anche in processi reattivi critici.

Massima efficienza

Con rendimenti di picco
superiori al 90% si ottengono rendimenti operativi superiori all'80%.

Alimentazione elettrica stabile in ogni condizione climatica

Funzionamento affidabile anche a elevate temperature dell'acqua di raffreddamento e basse pressioni differenziali.

Utilizzabile in tutto il mondo

Tensione di allacciamento variabile, che rende superflui adattamenti tecnici.

Alimentazione elettrica a media frequenza di alto livello

Rivestimento ad ampia superficie (Large Area Coating) di vetro architettonico: i materiali sofisticati come SiOx mettono a dura prova la stabilità dell'alimentazione elettrica.

Applicazione di strati sottilissimi

Rivestimenti di schermi piatti e di pannelli touch: tramite la tecnologia Dual Magnetron Sputtering vengono applicati strati sottilissimi (nm), resistentissimi e omogenei di AlxOx.

Generatore a media frequenza TruPlasma MF Serie 7000 (G2) per l'applicazione di strati ultrasottili

Produzione di celle solari

Rivestimento di vetro solare: la stabile alimentazione elettrica dei generatori TruPlasma MF Serie 7000 (G2) permette l'applicazione omogenea di sottilissimi strati di TCO mediante Sputtering a media frequenza.

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	TruPlasma MF 7050 (G2) UltraFast Confronta prodotto	TruPlasma MF 7075 (G2) UltraFast Confronta prodotto	TruPlasma MF 7100 (G2) UltraFast Confronta prodotto	TruPlasma MF 7120 (G2) UltraFast Confronta prodotto	TruPlasma MF 7150 (G2) UltraFast Confronta prodotto	TruPlasma MF 7050 (G2) Confronta prodotto	TruPlasma MF 7075 (G2) Confronta prodotto	TruPlasma MF 7100 (G2) Confronta prodotto	TruPlasma MF 7120 (G2) Confronta prodotto	TruPlasma MF 7150 (G2) Confronta prodotto
Uscita
Potenza nominale	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW
Corrente di uscita massima	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff
Tensione di uscita massima	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff
Frequenza nominale di esercizio	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz
Parametri scarica ad arco
Frequenza massima di manifestazione scariche ad arco	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s
Energia Arc	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW
Tempo di trattamento della scarica ad arco	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs
Tensioni d'innesco
con meccanismo ausiliario d'accensione	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V
senza meccanismo ausiliario d'accensione	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V
Dati di collegamento alla rete
Tensione di rete	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V
Frequenza di rete	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz
Potenza di assorbimento rete	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA
Fattore di potenza	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95
Alloggiamento
Peso	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg
Tipo di protezione IP	54	54	54	54	54	54	54	54	54	54
Requisiti di raffreddamento
Refrigerante	Acqua	Acqua	Acqua	Acqua	Acqua	Acqua	Acqua	Acqua	Acqua	Acqua
Pressione max dell'acqua	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar
Differenza min. di pressione	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar
Portata min.	30 l/min	31 l/min	31 l/min	36 l/min	36 l/min	28 l/min	30 l/min	30 l/min	34 l/min	34 l/min
Temperatura refrigerante	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
In generale
Rendimento totale	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %
Certificati / standard	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18
Condizioni ambientali
Temperatura esterna	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C

Confronta prodotti Termina confronto Termina confronto	TruPlasma MF 7050 (G2) UltraFast	TruPlasma MF 7075 (G2) UltraFast	TruPlasma MF 7100 (G2) UltraFast	TruPlasma MF 7120 (G2) UltraFast	TruPlasma MF 7150 (G2) UltraFast	TruPlasma MF 7050 (G2)	TruPlasma MF 7075 (G2)	TruPlasma MF 7100 (G2)	TruPlasma MF 7120 (G2)	TruPlasma MF 7150 (G2)
Uscita
Potenza nominale	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW
Corrente di uscita massima	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff
Tensione di uscita massima	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff
Frequenza nominale di esercizio	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz
Parametri scarica ad arco
Frequenza massima di manifestazione scariche ad arco	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s
Energia Arc	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW
Tempo di trattamento della scarica ad arco	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs
Tensioni d'innesco
con meccanismo ausiliario d'accensione	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V
senza meccanismo ausiliario d'accensione	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V
Dati di collegamento alla rete
Tensione di rete	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V
Frequenza di rete	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz
Potenza di assorbimento rete	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA
Fattore di potenza	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95
Alloggiamento
Peso	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg
Tipo di protezione IP	54	54	54	54	54	54	54	54	54	54
Requisiti di raffreddamento
Refrigerante	Acqua	Acqua	Acqua	Acqua	Acqua	Acqua	Acqua	Acqua	Acqua	Acqua
Pressione max dell'acqua	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar
Differenza min. di pressione	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar
Portata min.	30 l/min	31 l/min	31 l/min	36 l/min	36 l/min	28 l/min	30 l/min	30 l/min	34 l/min	34 l/min
Temperatura refrigerante	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
In generale
Rendimento totale	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %
Certificati / standard	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18
Condizioni ambientali
Temperatura esterna	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C

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Scheda tecnica

Dati tecnici di tutte le varianti dei prodotti, disponibili per il download.

I generatori TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garantiscono la massima efficienza.

Massima redditività e flessibilità

Gli elevati rendimenti operativi e il concetto flessibile di raffreddamento TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garantiscono la massima redditività durante l'intera durata utile. L'alimentazione elettrica rimane sempre stabile anche in condizioni climatiche e di installazione difficili: alte temperature dell'acqua di raffreddamento, bassa pressione dell'acqua ed elevata umidità non compromettono la qualità del processo. Grazie all'ampio campo della tensione di esercizio, il generatore a media frequenza può essere utilizzato in tutto il mondo senza adattamenti tecnici.

Generatore a media frequenza di TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

Controllo preciso del progetto

Con solo poche impostazioni dei parametri è possibile controllare con precisione la qualità dello strato applicato e la produttività, così da trovare l'equilibrio ottimale fra la sensibilità della gestione degli archi e la quantità desiderata di materiale lavorato. L'elevato numero di interfacce e il comodo software di comando TruControl Power assicurano inoltre l'efficacia della configurazione e della diagnosi.

Migliore gestione dell'arco

Alte velocità di reazione ed energie residue appositamente ridotte assicurano processi stabili ed elevate velocità di sputtering. Il generatore riconosce e impedisce in maniera efficace la formazione di archi e lo stress termico sul pezzo da lavorare; si ottengono così strati assolutamente omogenei sull'intera superficie del substrato. La gestione rapida e affidabile degli archi permette inoltre un funzionamento regolare del generatore nella zona di transizione a tensione controllata (transition mode).

Per il TruPlasma MF Serie 7000 (G2) sono disponibili numerose opzioni con cui potete adattare il generatore a media frequenza ai requisiti delle vostre applicazioni.

Gamma di frequenze estesa

I generatori a media frequenza con potenza fino a 100 kW sono disponibili in via opzionale con una gamma di frequenze estesa che spazia da 20 a 70 kHz (standard 20 - 50 kHz).

Meccanismo ausiliario d'accensione

Permette di ridurre la formazione dell'arco e lo stress termico. La tensione d'innesco e il tempo di rampa possono essere impostati individualmente.

Gestione dell'arco ultrarapida

Il TruPlasma MF Serie 7000 (G2) può essere dotato di una gestione dell'arco particolarmente sensibile (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW, standard ≤ 10 mJ/kW). Per l'UltraFastTreatment è necessaria la categoria di sicurezza 3.

Equipaggiati per tutte le evenienze

Le interfacce analogiche e digitali Profinet, Profibus ed EtherCAT permettono una semplice integrazione dei generatori TruPlasma MF Serie 7000 in impianti esistenti.

Sportello armadio di comando

Lo sportello dell'armadio di comando è disponibile a scelta con un angolo di apertura particolarmente ampio di 180° (standard 130°).

Deumidificazione attiva dell'armadio comandi

Per ambienti con tassi di umidità molto elevati l'armadio comandi del generatore può essere equipaggiato con un gruppo deumidificatore attivo. Per il suo funzionamento è necessario disporre di una regolazione dell'acqua di raffreddamento.

TruControl Power

L'intuitivo software di comando multilingue TruControl Power vi offre numerose possibilità di comando, configurazione e diagnosi.

Selezionando i componenti di sistema più adatti è possibile adattare nel modo migliore i generatori TruPlasma MF Serie 7000 (G2) all'ambiente di sistema.

Cavo di potenza per media frequenza

Per i generatori TruPlasma MF Serie 7000 (G2) sono disponibili cavi di potenza per media frequenza TRUMPF Hüttinger ottimizzati, che garantiscono in qualsiasi momento prestazioni ottimali del sistema.

Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio interlocutore locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.