TruMicro 5000シリーズの超短パルスレーザは、10 ps未満の超短パルスと最大500 μJに至る高いパルスエネルギーを誇ります。あらゆる材料が瞬時に気化するため、熱作用は発生しません。外部モジュレータを統合した特許取得済みの2段階レーザ出力制御により、パルス間だけでなく出力範囲全体にわたってレーザの安定性が維持されます。パルスピーク出力は最大40 MWに達します。
微細材料加工: 最高の生産性
TRUMPFの短パルス及び超短パルスレーザは工業生産での使用に完璧に適しており、品質、生産性及び収益性のすべてにおいて最適化されたマイクロ加工が可能となります。特筆に値するパルス及び出力安定性は、パルス発生とパルス放出を分離することで実現します。特許取得済みのコントローラが個々のパルスを監視し、出力とパルスエネルギーをアプリケーションに合わせて正確に必要なレベルに維持します。また、TruMicro 5000シリーズのピコ秒及びフェムト秒レーザは、超短パルスと最大500 μJに達する高いパルスエネルギーを誇ります。さらにそのビーム品質も極めて優れており、平均出力は最大150 Wという高い数値を示します。その結果、微細材料加工での最高の生産性が保証されます。あらゆる材料が瞬時に気化するため、熱作用は発生しません。そのため、半導体素材、金属、誘電体、プラスチック及びガラスの加工に最適です。
超高速変調器が、指示通りの出力及びパルスエネルギーを発振します。
熱に弱い材質をわずかな入熱量で加工します。
TruMicroレーザは簡単に統合することができ、全ての一般的なインタフェースとの互換性があります。
再生能力のあるディスクテクノロジーにより、単一パルスでも平均出力の100 %を実現
実績のあるTruMicro 5000シリーズのレーザは、製造現場で毎日使用されることを想定して設計されています。
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レーザーパラメータ | ||||||||||||||||
平均最大出力 | 50 W | 40 W | 100 W | 80 W | 150 W | 120 W | 30 W | 25 W | 60 W | 50 W | 90 W | 75 W | 15 W | 30 W | 45 W | 36 W |
ビーム品質 (M²) | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション |
波長 | 1030 nm | 1030 nm | 1030 nm | 1030 nm | 1030 nm | 1030 nm | 515 nm | 515 nm | 515 nm | 515 nm | 515 nm | 515 nm | 343 nm | 343 nm | 343 nm | 343 nm |
パルス幅 | < 10 ps | 875 fs ± 125 fs | < 10 ps | 875 fs ± 125 fs | < 10 ps | 900 fs (許容範囲 -150~+100 fs) | < 10 ps | 800 fs ± 100 fs | < 10 ps | 800 fs ± 100 fs | < 10 ps | 800 fs | < 10 ps | < 10 ps | < 10 ps | 800 fs |
最大パルス エネルギー | 500 µJ | 200 µJ | 500 µJ | 200 µJ | 250 µJ | 200 µJ | 150 µJ | 125 µJ | 150 µJ | 125 µJ | 150 µJ | 125 µJ | 75 µJ | 75 µJ | 75 µJ | 36 µJ |
最小繰り返し周波数 | 100 kHz | 200 kHz | 200 kHz | 400 kHz | 600 kHz | 600 kHz | 200 kHz | 200 kHz | 400 kHz | 400 kHz | 600 kHz | 600 kHz | 200 kHz | 400 kHz | 600 kHz | - |
最大繰り返し周波数 | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz |
構成 | ||||||||||||||||
Abmessungen Laserkopf (B x H x T) | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm |
電源ユニット寸法 (幅 x 高 x 奥) | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm |
設置状況 | ||||||||||||||||
保護タイプ | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 |
周辺温度 | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C |
TruMicro 5050
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TruMicro 5050 Femto Edition
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TruMicro 5070
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TruMicro 5070 Femto Edition
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TruMicro 5080
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TruMicro 5080 Femto Edition
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TruMicro 5250
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TruMicro 5250 Femto Edition
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TruMicro 5270
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TruMicro 5270 Femto Edition
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TruMicro 5280
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TruMicro 5280 Femto Edition
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TruMicro 5350
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TruMicro 5370
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TruMicro 5380
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TruMicro 5380 Femto Edition
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レーザーパラメータ | ||||||||||||||||
平均最大出力 | 50 W | 40 W | 100 W | 80 W | 150 W | 120 W | 30 W | 25 W | 60 W | 50 W | 90 W | 75 W | 15 W | 30 W | 45 W | 36 W |
ビーム品質 (M²) | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション | < 1.3 標準、M² < 1.2 オプション |
波長 | 1030 nm | 1030 nm | 1030 nm | 1030 nm | 1030 nm | 1030 nm | 515 nm | 515 nm | 515 nm | 515 nm | 515 nm | 515 nm | 343 nm | 343 nm | 343 nm | 343 nm |
パルス幅 | < 10 ps | 875 fs ± 125 fs | < 10 ps | 875 fs ± 125 fs | < 10 ps | 900 fs (許容範囲 -150~+100 fs) | < 10 ps | 800 fs ± 100 fs | < 10 ps | 800 fs ± 100 fs | < 10 ps | 800 fs | < 10 ps | < 10 ps | < 10 ps | 800 fs |
最大パルス エネルギー | 500 µJ | 200 µJ | 500 µJ | 200 µJ | 250 µJ | 200 µJ | 150 µJ | 125 µJ | 150 µJ | 125 µJ | 150 µJ | 125 µJ | 75 µJ | 75 µJ | 75 µJ | 36 µJ |
最小繰り返し周波数 | 100 kHz | 200 kHz | 200 kHz | 400 kHz | 600 kHz | 600 kHz | 200 kHz | 200 kHz | 400 kHz | 400 kHz | 600 kHz | 600 kHz | 200 kHz | 400 kHz | 600 kHz | - |
最大繰り返し周波数 | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz | 1000 kHz |
構成 | ||||||||||||||||
Abmessungen Laserkopf (B x H x T) | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm | 680 mm x 289 mm x 1060 mm |
電源ユニット寸法 (幅 x 高 x 奥) | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm | 442 mm x 1192 mm x 910 mm |
設置状況 | ||||||||||||||||
保護タイプ | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 |
周辺温度 | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C | 20 °C - 30 °C |
ダウンロード形式で用意された全製品バリエーションの技術データ。

TruControl
TruControlはTRUMPF固体レーザ向けの迅速で操作しやすいコントローラです。レーザ出力をリアルタイムで制御し、再現性のある結果を実現します。TruControlはインタフェースの設定を管理、制御、視覚化します。すべてのレーザテクノロジにおいて、統一された制御機能をご利用いただけます。レーザには、モニタリング付き集光光学系ユニットCFOまたはスキャナー光学系PFOなど、高度なTRUMPF光学ユニットを制御するためのインタフェースが備わっています。加工光学ヘッドのプログラミングは、レーザ制御ユニットを介して快適に行うことができます。更にTRUMPFの遠隔サポートにより、即座に遠隔メンテナンスによるサポートを受けることができます。これによりサービスマンの派遣が不要になるか、サービスマンの派遣に向けて最適な準備を整えることができ、レーザ装置の可用性が向上します。
便利な追加オプションを使用することで、TruMicro 5000シリーズのレーザ装置での作業における効率とプロセスの安全性が更に向上します。

TruMicroレーザを機械または生産ラインに統合する際には、インタフェースが決定的な役割を果たします。そのためTRUMPF固体レーザでは、あらゆる一般的なフィールドバスシステムに対応するインタフェースを提供しています。その他の入手可能な装備: リアルタイムインタフェース、パラレルデジタルI/O、プロセスセンサー用インタフェース、OPC UA ソフトウェアインタフェース、アナログ入力カード、インテリジェントなTRUMPF光学ユニット (CFO、PFO) 用インタフェース。

異常時にはTRUMPFのサービスエキスパートが、確実なリモート接続を介してレーザ装置に主体的に手を加えます。多くの場合、こうして異常を直接解決するか、スペアパーツが届くまで生産を継続できるようにレーザ装置の構成を変更します。
異常時にはTRUMPFのサービスエキスパートが、確実なリモート接続を介してレーザ装置に主体的に手を加えます。多くの場合、こうして異常を直接解決するか、スペアパーツが届くまで生産を継続できるようにレーザ装置の構成を変更します。
TRUMPFでは、レーザから加工品に至るまで、ビームガイドに必要となるあらゆるコンポーネントを提供しています。この他、様々な焦点合わせ光学ユニットも提供してしており、これらの光学部品の精度と信頼背は長年にわたり産業分野で実証されています。光学ユニットは、スタンドアロン型加工ステーションあるいは生産ライン全体のどちらでも簡単に統合することができます。そのモジュール式構造により、光学ユニットはレーザタイプ及び様々な加工状況に適合させることができます。
TOP Cleave切断用光学ユニット
焦点合わせ光学ユニットTOP Cleaveは、ガラスなどの透明な材料の高速カッティング用加工光学ヘッドです。
超短レーザパルスは単にパルスが短いだけでなく、エネルギーやパワーにおいて優れたピークパワー、パルス特性を示します。加工品に掛かるエネルギー密度がこのように極めて高くても、確実にパルスが届くようにするには、特殊なビームガイド装置及びビーム成形器が必要になります。TRUMPFは超短パルスレーザでの使用向けに最適化されたビームスイッチ、偏向器、ビーム拡大器及び偏光光学ユニットを提供しています。

TruMicro方向転換器は、パルスパラメータを維持しながらレーザ光線をガイドするための超短レーザパルスに適しています。

ビームスプリッタを使用することで、2つの光路それぞれにレーザ出力が半分のビームを同時に供給し、2つの製品を同時に加工することができます。機械的に調節して、分割された出力が2本のビーム両方に正確に均等配分されるように調整することができます。

ビームスイッチを使用することで、レーザ光を交互に2つの光路で複数の加工品に照射することができます。パイロットレーザにより、光路の簡単なアライメントが可能になります。

直線偏光に1/4波長板を組み合わせることで発生する円偏光により、偏光が影響する形状を持つアプリケーションで均一な加工が可能になります。
国によっては、この製品ラインナップと製品情報が異なる場合があります。技術、装備、価格及び提供アクセサリーは変更されることがあります。 現地担当者に問い合わせて、国内で製品を入手できるかどうかを確認してください。