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TRUMPF Hüttinger

TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズ

このクラスの最高製品

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プロセスを完全に掌握

TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズを使用すると、プロセスを常に掌握することができます。卓越したアーク管理と点火動作を特徴とするこのジェネレータは、広い面積に及ぶコーティング (Large Area Coating)、及びデュアルマグネトロンスパッタリングにおける難度の高い反応性プロセス向けの電力供給として理想的です。90 %を超える最高効率と特に効率的な冷却水管理により、運転中も優れた経済性を確保できます。

最高のコーティング品質と生産性

最も困難な反応性プロセスでも優れた結果とコーティング率を提供します。

最高の効率

ピーク効率は
90 %を上回り、運転効率は80 %に到達します。

どのような天候でも安定した電力供給

冷却水温度が高く、差圧が低い場合も確実に機能

世界中で使用可能

可変接続電圧、つまり技術的調整は不要。

最高クラスのMF電力供給

建築用ガラスの広い面積に及ぶコーティング (Large Area Coating): SiOxなどの難度の高い材料では、電力供給の安定性に対する要求が極めて高くなります。

超薄膜のコーティング

フラットスクリーンとタッチパネルのコーティング: デュアルマグネトロンスパッタリングにより、極めて薄く (nm単位)、高強度で均一なAlxOx層が蒸着されます。

超薄膜の成膜に適したTruPlasma MF 7000 (G2) シリーズのMFジェネレータ

ソーラーセル製造

ソーラーガラスのコーティング: TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズの電力供給は安定しているため、MFスパッタリングにより極めて薄いTCO層を均一に成膜することができます。

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出力
定格出力	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW
最大出力電流	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff
最大出力電圧	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff
定格動作周波数	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz
アークパラメータ
最大アークレート	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s
アークエネルギー	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW
アーク処理時間	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs
照射圧力
照射サポートを含む	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V
照射サポートを含まない	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V
電源接続データ
供給電圧	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V
電源周波数	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz
電源入力電力	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA
出力係数	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95
ハウジング
重量	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg
保護タイプ IP	54	54	54	54	54	54	54	54	54	54
冷却要件
冷媒	水	水	水	水	水	水	水	水	水	水
最大水圧	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar
最小圧力差	2.2 bar	2.2 bar	2.2 bar	2.5 bar	2.5 bar	2.2 bar	2.2 bar	2.2 bar	2.5 bar	2.5 bar
最小流量	30 l/min	31 l/min	31 l/min	36 l/min	36 l/min	28 l/min	30 l/min	30 l/min	34 l/min	34 l/min
冷媒温度	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
一般
全体効率	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %
証明書 / 標準	CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18	CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18	CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18	CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18	CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18	CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18	CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18	CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18	CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18	CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18
環境条件
外部温度	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C

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出力
定格出力	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW
最大出力電流	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff
最大出力電圧	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff
定格動作周波数	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz
アークパラメータ
最大アークレート	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s
アークエネルギー	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW
アーク処理時間	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs
照射圧力
照射サポートを含む	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V
照射サポートを含まない	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V
電源接続データ
供給電圧	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V
電源周波数	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz
電源入力電力	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA
出力係数	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95
ハウジング
重量	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg
保護タイプ IP	54	54	54	54	54	54	54	54	54	54
冷却要件
冷媒	水	水	水	水	水	水	水	水	水	水
最大水圧	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar
最小圧力差	2.2 bar	2.2 bar	2.2 bar	2.5 bar	2.5 bar	2.2 bar	2.2 bar	2.2 bar	2.5 bar	2.5 bar
最小流量	30 l/min	31 l/min	31 l/min	36 l/min	36 l/min	28 l/min	30 l/min	30 l/min	34 l/min	34 l/min
冷媒温度	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
一般
全体効率	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %
証明書 / 標準	CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18	CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18	CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18	CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18	CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18	CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18	CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18	CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18	CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18	CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18
環境条件
外部温度	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C

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技術データシート

ダウンロード形式で用意された全製品バリエーションの技術データ。

TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズのジェネレータは最高の効率を保証

最高の経済性とフレキシビリティー

TruPlasma MF Serie 7000 (G2) の高い運転効率と柔軟な冷却コンセプトにより、寿命全体を通して最高の経済性が約束されます。過酷な気候条件および設置条件下でも、安定した電力供給が常に維持されます – 冷却水温度が高く、水圧が低く、湿度が高い場合もプロセス品質は低下しません。動作電圧範囲が幅広いため、中周波ジェネレータは技術的調整なしで世界中で使用できます。

プロセスの正確な制御

わずかなパラメータ設定だけで、コーティング品質と生産性を正確に制御することができます。その結果、アーク処理の感度と希望のスループットとの最適なバランスが得られます。さらに、多数のインタフェースと快適な操作ソフトウェアTruControl Powerにより、構成と診断を効果的に行うことができます。

卓越したアーク管理

高い反応速度とそれに応じて低下した残留エネルギーは、安定したプロセスと最高のスパッタ率を実現します。ジェネレータは、ターゲットでのアーク形成と熱ストレスを確実に検知して防止します。その結果、基板面全体にわたり完全に均一なコーティングを得ることができます。さらに迅速で信頼性の高いアーク管理により、電圧制御された移行領域 (移行モード) で、ジェネレータを支障なく運転することができます。

TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズには、広範囲に及ぶオプションが提供されており、これらを利用することにより、中周波ジェネレータをご自分のアプリケーション要件に合わせてカスタマイズできます。

周波数範囲の拡張

出力100 kWまでの中周波ジェネレータでは、周波数範囲を20～70 kHzに拡張したオプション仕様を提供しています (標準は20～50 kHz)。

点火補助

これによりアーク発生と熱ストレスが低下します。点火電圧とランプタイムは個別に調節可能です。

超高速アーク管理

TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズには、特に高感度のアーク管理を装備できます (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW、標準 ≤ 10 mJ/kW)。UltraFastTreatmentには安全カテゴリー3が必要です。

万全の装備

Profinet、Profibus、EtherCAT並びにアナログ及びデジタルのインタフェースにより、TruPlasma MF 7000シリーズを既存の設備に簡単に統合することができます。

スイッチキャビネットドア

オプションで、180°の特に広い開口角度を持つスイッチキャビネットドアが入手可能です (標準は130°)。

アクティブスイッチキャビネット除湿