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TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズ
TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズ
プラズマ励起
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma MF 7000シリーズ

このクラスの最高製品

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    プロセスを完全に掌握

    TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズを使用すると、プロセスを常に掌握することができます。卓越したアーク管理と点火動作を特徴とするこのジェネレータは、広い面積に及ぶコーティング (Large Area Coating)、及びデュアルマグネトロンスパッタリングにおける難度の高い反応性プロセス向けの電力供給として理想的です。90 %を超える最高効率と特に効率的な冷却水管理により、運転中も優れた経済性を確保できます。

    最高のコーティング品質と生産性

    最も困難な反応プロセスでも優れた結果とコーティング率を提供します。

    最高の効率

    ピーク効率は
    90 %を上回り、運転効率は80 %に到達します。

    どのような天候でも安定した電力供給

    冷却水温度が高く、差圧が低い場合も確実に機能

    世界中で使用可能

    可変接続電圧、つまり技術的調整は不要。

    最高クラスの中周波電力供給は大面積のコーティングに理想的

    最高クラスの中周波電力供給

    建築用ガラスの広い面積に及ぶコーティング (Large Area Coating): SiOxなどの難度の高い材料では、電力供給の安定性に対する要求が極めて高くなります。

    フラットパネルディスプレイのコーティング向けの最高クラスの中周波電力供給

    最も薄いコーティングの塗布

    フラットスクリーンとタッチパネルのコーティング: デュアルマグネトロンスパッタリングにより、極めて薄く (nm単位)、高強度で均一なAlxOx層が蒸着されます。

    最も薄いコーティングの塗布に適したTruPlasma MF 7000 (G2) シリーズの中周波ジェネレータ

    ソーラーセル製造

    ソーラーガラスのコーティング: TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズの電力供給は安定しているため、中周波スパッタリングにより極めて薄いTCO層を均一に蒸着することができます。

    出力                    
    定格出力 50 kW 75 kW 100 kW 120 kW 150 kW 50 kW 75 kW 100 kW 120 kW 150 kW
    最大出力電流 110 A eff 200 A eff 225 A eff 300 A eff 350 A eff 110 A eff 200 A eff 225 A eff 300 A eff 350 A eff
    最大出力電圧 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff
    定格動作周波数 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz
    アークパラメータ                    
    最大アークレート 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s
    アークエネルギー 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW
    アーク処理時間 50 µs 50 µs 50 µs 50 µs 50 µs 25 µs 25 µs 25 µs 25 µs 25 µs
    照射圧力                    
    照射サポートを含む 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V
    照射サポートを含まない 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V
    電源接続データ                    
    供給電圧 (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V
    電源周波数 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
    電源入力電力 61 kVA 93 kVA 124 kVA 149 kVA 186 kVA 61 kVA 93 kVA 124 kVA 149 kVA 186 kVA
    出力係数 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95
    ハウジング                    
    重量 560 kg 610 kg 610 kg 660 kg 660 kg 560 kg 610 kg 610 kg 660 kg 660 kg
    保護タイプ IP 54 54 54 54 54 54 54 54 54 54
    冷却要件                    
    冷媒
    最大水圧 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar
    最小圧力差 2.2 bar 2.2 bar 2.2 bar 2.5 bar 2.5 bar 2.2 bar 2.2 bar 2.2 bar 2.5 bar 2.5 bar
    最小流量 28 l/min 30 l/min 30 l/min 34 l/min 34 l/min 30 l/min 31 l/min 31 l/min 36 l/min 36 l/min
    冷媒温度 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
    一般                    
    全体効率 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 %
    証明書 / 標準 CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18 CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18 CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18 CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18 CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18 CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18 CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18 CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18 CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18 CE、SEMI S2-0709、FCC規格Part 18
    環境条件                    
    外部温度 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C

    PDF <1MB
    Technical data sheet

    Download the technical data of all product variants.

    TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズのジェネレータは最高の効率を保証

    最高の経済性とフレキシビリティー

    TruPlasma MF Serie 7000 (G2) の高い運転効率と柔軟な冷却コンセプトにより、寿命全体を通して最高の経済性が約束されます。過酷な気候条件および設置条件下でも、安定した電力供給が常に維持されます – 冷却水温度が高く、水圧が低く、湿度が高い場合もプロセス品質は低下しません。動作電圧範囲が幅広いため、中周波ジェネレータは技術的調整なしで世界中で使用できます。

    TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズの中周波ジェネレータ

    プロセスの正確な制御

    わずかなパラメータ設定だけで、コーティング品質と生産性を正確に制御することができます。その結果、アーク処理の感度と希望のスループットとの最適なバランスが得られます。さらに、多数のインタフェースと快適な操作ソフトウェアTruControl Powerにより、構成と診断を効果的に行うことができます。

    アーク管理

    卓越したアーク管理

    高い反応速度とそれに応じて低下した残留エネルギーは、安定したプロセスと最高のスパッタ率を実現します。ジェネレータは、ターゲットでのアーク形成と熱ストレスを確実に検知して防止します。その結果、基板面全体にわたり完全に均一なコーティングを得ることができます。さらに迅速で信頼性の高いアーク管理により、電圧制御された移行領域 (移行モード) で、ジェネレータを支障なく運転することができます。

    TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズには、広範囲に及ぶオプションが提供されており、これらを利用することにより、中周波ジェネレータをご自分のアプリケーション要件に合わせてカスタマイズできます。

    周波数範囲の拡張

    出力100 kWまでの中周波ジェネレータでは、周波数範囲を20~70 kHzに拡張したオプション仕様を提供しています (標準は20~50 kHz)。

    点火補助

    これによりアーク形成と熱ストレスが低下します。点火電圧とランプタイムは個別に調節可能です。

    超高速アーク管理

    TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズには、特に高感度のアーク管理を装備できます (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW、標準 ≤ 10 mJ/kW)。UltraFastTreatmentには安全カテゴリー3が必要です。

    万全の装備

    Profinet、Profibus、EtherCAT並びにアナログ及びデジタルのインタフェースにより、TruPlasma MF 7000シリーズを既存の設備に簡単に統合することができます。

    スイッチキャビネットドア

    オプションで、180°の特に広い開口角度を持つスイッチキャビネットドアが入手可能です (標準は130°)。

    アクティブスイッチキャビネット除湿

    湿度が極めて高い環境では、ジェネレータのスイッチキャビネットにアクティブ除湿ユニットを装備することができます。運転には冷却水制御が必要です。

    操作しやすいソフトウェア TruControl Power

    TruControl Power

    使いやすく、複数の言語に対応する制御ソフトウェアTruControl Powerにより、様々な操作、構成および診断が可能です。

    適したシステムコンポーネントを選択することで、TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズをお使いのシステム環境に合わせて最適にカスタマイズできます。

    中周波出力ケーブル
    中周波出力ケーブル

    TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズには、最適化されたTRUMPF Hüttingerの中周波出力ケーブルが同梱されています。これにより最適なシステム出力が常に保証されます。

    国によっては、この製品ラインナップと製品情報が異なる場合があります。技術、装備、価格及び提供アクセサリーは変更されることがあります。 現地担当者に問い合わせて、国内で機械を入手できるかどうかを確認してください。

    お客様向け情報

    Power Electronics for Plasma Engineering Conference
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    テスト/品質検査センター

    経験豊富なアプリケーションエンジニアが当社のテスト/品質検査センター (TQZ) で、製品品質の継続的な最適化に日々取り組んでいます。

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    当社の24時間サービスホットラインでは、週7日24時間、有能なサービスエンジニアがお客様からのお問い合わせに対応しています。

    問い合わせ

    Klaus Nock
    販売 (プラズマ)
    Fax: 010 49 761 89711150
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    TruPlasma MF 7000 (G2) シリーズカタログ
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