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TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータ
TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータ
プラズマ励起
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Highpulse 4000シリーズ

卓越したコーティング結果を生み出す高密度プラズマ

HiPIMSアプリケーションでの第一候補

TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータは、直流スパッタリングジェネレータの代わりとして、修正を行うことなく既存のマグネトロンシステムで使用できます。

優れた膜特性

最大8 MWのパルスにより、極めて高密度なプラズマが生成され、最高のコーティング仕上がりを実現します。

完璧な膜と付着

高出力パルスマグネトロンスパッタリング (HIPIMS) での卓越したプロセス結果。

様々な出力クラス

パルス出力は1 MW~8 MW、平均出力は10 kW~20 kW。

稼働中のTruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータ

HIPIMSアプリケーション

TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータは、HIPIMSアプリケーションでの第一候補です。パルスPVDスパッタリング法の最新技術であるHIPIMSは、硬い材料のコーティングにおいて、極めて高い耐腐食性及び耐摩耗性を提供します。

エッチング/コーティングプロセスに理想的

エッチング、表面の前処理及びトレンチフィリング

最大8 MWにまで達する最高出力により、イオンが大量に流れる極めて高いプラズマ密度が生成されます。原理的にはアーク放電に類似していますが、HIPIMS技術では材料の液滴 (ドロップレット) が発生しません。TruPlasma Highpulse 4000シリーズは、分極した基板と組み合わせることで、エッチング、表面の前処理、トレンチフィリングなどの半導体アプリケーションにも使用できます。

広い面積に及ぶコーティングに理想的

広い面積に及ぶコーティングに理想的

広い面積に及ぶコーティングをプラズマプロセスで行う際には、プロセス電力供給に対する要件が極めて高くなります。TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータは、各プロセスに合わせて最適に調整され、安定した電力供給を確保する必要条件をすべて備えているため、再現性のある優れた結果が得られます。

TruPlasma Highpulse 4000シリーズの用途: 太陽光発電産業での難度の高いプロセス

ソーラーセル製造

太陽光発電の分野におけるオーダーメイドのプロセスエネルギーには、多数の使用領域があります。TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータは、各プロセスに合わせて最適にカスタマイズすることが可能で、卓越したコーティングパラメータと高い生産性が得られます。

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稼働中のTruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータ

最適なプロセス結果

研究及び産業プロセスのために比類のないフレキシビリティーを提供するTruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータは、液滴のないスパッタリングを可能にし、表面の欠陥をごくわずかに抑えます。リアルタイム電流測定に基づいたフルデジタルアーク管理は、極めてわずかなアークエネルギーで、高い膜品質と析出率を実現します。

最適な装置組込みを実現: TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータ

フレキシブルに使用可能

TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータは、既存のカソードシステムやプロセス条件に容易に適合可能であるため、装置を理想的に組み込むことができます。

様々なオプションにより、TruPlasma Highpulse 4000シリーズをご自分のアプリケーションに合わせて最適にカスタマイズできます。

アーク管理 CompensateLine (CLC)

フルデジタルアーク管理は、極めてわずかなアークエネルギーで、高い膜品質と析出率を実現します。

グラフィックな操作ソフトウェアPVD Power

PVD Power

使いやすく、複数の言語に対応するソフトウェアPVD Powerにより、プロセス品質の最適化と効果的なトラブルシューティングを目的として、様々な操作、構成及び診断を行うことができます: 関連する全プロセスパラメータの実測値、警告、アラームメッセージの表示、オペレータによる規定値の指定、及び高い時間分解能による重要な運転パラメータの記録と可視化 (オシロスコープ機能)。

国によっては、この製品ラインナップと製品情報が異なる場合があります。技術、装備、価格及び提供アクセサリーは変更されることがあります。 現地担当者に問い合わせて、国内で機械を入手できるかどうかを確認してください。

お客様向け情報

Contact

Klaus Nock
販売 (プラズマ)
Fax: +49 761 89711150
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TruPlasma Highpulse 4000シリーズカタログ
TruPlasma Highpulse 4000シリーズカタログ
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