このウェブサイトを提供するにあたり、当社はクッキーを使用しています。クッキーの設定を変更せずにこのウェブサイトを引き続き閲覧された場合には、クッキーの使用に同意したものとみなされます。 Information on deactivating cookies and data protection
TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータ
TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータ
プラズマ励起
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Highpulse 4000シリーズ

卓越したコーティング結果を生み出す高密度プラズマ

HiPIMSアプリケーションでの第一候補

TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータは、直流スパッタリングジェネレータの代わりとして、修正を行うことなく既存のマグネトロンシステムで使用できます。

優れた膜特性

最大8 MWのパルスにより、極めて高密度なプラズマが生成され、最高のコーティング仕上がりを実現します。

完璧な膜と付着

高出力パルスマグネトロンスパッタリング (HIPIMS) での卓越したプロセス結果。

様々な出力クラス

パルス出力は1 MW~8 MW、平均出力は10 kW~20 kW。

稼働中のTruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータ

HIPIMSアプリケーション

TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータは、HIPIMSアプリケーションでの第一候補です。パルスPVDスパッタリング法の最新技術であるHIPIMSは、硬い材料のコーティングにおいて、極めて高い耐腐食性及び耐摩耗性を提供します。

エッチング/コーティングプロセスに理想的

エッチング、表面の前処理及びトレンチフィリング

最大8 MWにまで達する最高出力により、イオンが大量に流れる極めて高いプラズマ密度が生成されます。原理的にはアーク放電に類似していますが、HIPIMS技術では材料の液滴 (ドロップレット) が発生しません。TruPlasma Highpulse 4000シリーズは、分極した基板と組み合わせることで、エッチング、表面の前処理、トレンチフィリングなどの半導体アプリケーションにも使用できます。

広い面積に及ぶコーティングに理想的

広い面積に及ぶコーティングに理想的

広い面積に及ぶコーティングをプラズマプロセスで行う際には、プロセス電力供給に対する要件が極めて高くなります。TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータは、各プロセスに合わせて最適に調整され、安定した電力供給を確保する必要条件をすべて備えているため、再現性のある優れた結果が得られます。

TruPlasma Highpulse 4000シリーズの用途: 太陽光発電産業での難度の高いプロセス

ソーラーセル製造

太陽光発電の分野におけるオーダーメイドのプロセスエネルギーには、多数の使用領域があります。TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータは、各プロセスに合わせて最適にカスタマイズすることが可能で、卓越したコーティングパラメータと高い生産性が得られます。

-/-
稼働中のTruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータ

最適なプロセス結果

研究及び産業プロセスのために比類のないフレキシビリティーを提供するTruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータは、液滴のないスパッタリングを可能にし、表面の欠陥をごくわずかに抑えます。リアルタイム電流測定に基づいたフルデジタルアーク管理は、極めてわずかなアークエネルギーで、高い膜品質と析出率を実現します。

最適な装置組込みを実現: TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータ

フレキシブルに使用可能

TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータは、既存のカソードシステムやプロセス条件に容易に適合可能であるため、装置を理想的に組み込むことができます。

様々なオプションにより、TruPlasma Highpulse 4000シリーズをご自分のアプリケーションに合わせて最適にカスタマイズできます。

アーク管理 CompensateLine (CLC)

フルデジタルアーク管理は、極めてわずかなアークエネルギーで、高い膜品質と析出率を実現します。

グラフィックな操作ソフトウェアPVD Power

PVD Power

使いやすく、複数の言語に対応するソフトウェアPVD Powerにより、プロセス品質の最適化と効果的なトラブルシューティングを目的として、様々な操作、構成及び診断を行うことができます: 関連する全プロセスパラメータの実測値、警告、アラームメッセージの表示、オペレータによる規定値の指定、及び高い時間分解能による重要な運転パラメータの記録と可視化 (オシロスコープ機能)。

国によっては、この製品ラインナップと製品情報が異なる場合があります。技術、装備、価格及び提供アクセサリーは変更されることがあります。 現地担当者に問い合わせて、国内で機械を入手できるかどうかを確認してください。

Contact
Klaus Nock
販売 (プラズマ)
Fax: +49 761 89711150
Eメール
ダウンロード
サービス & お問い合わせ

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Japan. Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Japan
United States

Or select a country or region.