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TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータ
TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータ
プラズマ励起
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Highpulse 4000シリーズ

卓越したコーティング結果を生み出す高密度プラズマ

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    HiPIMSアプリケーションでの第一候補

    TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータは、直流スパッタリングジェネレータの代わりとして、修正を行うことなく既存のマグネトロンシステムで使用できます。

    優れた膜特性

    最大8 MWのパルスにより、極めて高密度なプラズマが生成され、最高のコーティング仕上がりを実現します。

    完璧な膜と付着

    高出力パルスマグネトロンスパッタリング (HIPIMS) での卓越したプロセス結果。

    様々な出力クラス

    パルス出力は1 MW~8 MW、平均出力は10 kW~20 kW。

    稼働中のTruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータ

    HIPIMSアプリケーション

    TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータは、HIPIMSアプリケーションでの第一候補です。パルスPVDスパッタリング法の最新技術であるHIPIMSは、硬い材料のコーティングにおいて、極めて高い耐腐食性及び耐摩耗性を提供します。

    エッチング/コーティングプロセスに理想的

    エッチング、表面の前処理及びトレンチフィリング

    最大8 MWにまで達する最高出力により、イオンが大量に流れる極めて高いプラズマ密度が生成されます。原理的にはアーク放電に類似していますが、HIPIMS技術では材料の液滴 (ドロップレット) が発生しません。TruPlasma Highpulse 4000シリーズは、分極した基板と組み合わせることで、エッチング、表面の前処理、トレンチフィリングなどの半導体アプリケーションにも使用できます。

    広い面積に及ぶコーティングに理想的

    広い面積に及ぶコーティングに理想的

    広い面積に及ぶコーティングをプラズマプロセスで行う際には、プロセス電力供給に対する要件が極めて高くなります。TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータは、各プロセスに合わせて最適に調整され、安定した電力供給を確保する必要条件をすべて備えているため、再現性のある優れた結果が得られます。

    TruPlasma Highpulse 4000シリーズの用途: 太陽光発電産業での難度の高いプロセス

    ソーラーセル製造

    太陽光発電の分野におけるオーダーメイドのプロセスエネルギーには、多数の使用領域があります。TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータは、各プロセスに合わせて最適にカスタマイズすることが可能で、卓越したコーティングパラメータと高い生産性が得られます。

    稼働中のTruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータ

    最適なプロセス結果

    研究及び産業プロセスのために比類のないフレキシビリティーを提供するTruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータは、液滴のないスパッタリングを可能にし、表面の欠陥をごくわずかに抑えます。リアルタイム電流測定に基づいたフルデジタルアーク管理は、極めてわずかなアークエネルギーで、高い膜品質と析出率を実現します。

    最適な装置組込みを実現: TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータ

    フレキシブルに使用可能

    TruPlasma Highpulse 4000シリーズのジェネレータは、既存のカソードシステムやプロセス条件に容易に適合可能であるため、装置を理想的に組み込むことができます。

    様々なオプションにより、TruPlasma Highpulse 4000シリーズをご自分のアプリケーションに合わせて最適にカスタマイズできます。

    アーク管理 CompensateLine (CLC)

    フルデジタルアーク管理は、極めてわずかなアークエネルギーで、高い膜品質と析出率を実現します。

    グラフィックな操作ソフトウェアPVD Power

    PVD Power

    使いやすく、複数の言語に対応するソフトウェアPVD Powerにより、プロセス品質の最適化と効果的なトラブルシューティングを目的として、様々な操作、構成及び診断を行うことができます: 関連する全プロセスパラメータの実測値、警告、アラームメッセージの表示、オペレータによる規定値の指定、及び高い時間分解能による重要な運転パラメータの記録と可視化 (オシロスコープ機能)。

    国によっては、この製品ラインナップと製品情報が異なる場合があります。技術、装備、価格及び提供アクセサリーは変更されることがあります。 現地担当者に問い合わせて、国内で機械を入手できるかどうかを確認してください。

    お客様向け情報

    Services_Electronics_Technical_Support_Serviceman
    週7日24時間対応

    当社の24時間サービスホットラインでは、週7日24時間、有能なサービスエンジニアがお客様からのお問い合わせに対応しています。

    Ideal geeignet für Großflächenbeschichtung
    プラズマプロセス向け電力供給

    TRUMPF Hüttingerでは、幅広い範囲の出力と周波数を備えたプラズマジェネレータを提供しています。こちらでは当社製品についてご紹介しています。

    Services_Electronics_Training
    当社の強みである顧客向けカスタマイズ研修

    内容を受講者のニーズに合わせて構成した上で、経験豊かなサービスエンジニアが確かな知識を伝授します。

    問い合わせ

    Klaus Nock
    販売 (プラズマ)
    Fax: +49 761 89711150
    Eメール

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    TruPlasma Highpulse 4000シリーズカタログ
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