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Technologiebild DC Plasmagenerator

直流プラズマジェネレータ

TRUMPF Hüttingerの直流プラズマジェネレータは、プラズマ励起による代表的な製品です。主にシングルカソードシステムで使用され、ソーラーセル及び半導体での導電膜の成膜や基質の分極などを目的としています。直流ジェネレータは、プラズマ励起の低価格エントリーモデルとして、今日多数のアプリケーションで使用されています。

直流ジェネレータ TruPlasma DC 3040

TruPlasma DC 3000 (G2) シリーズ

直流ジェネレータの新世代であるTruPlasma DC 3000 (G2) シリーズは、多数の直流スパッタリングプロセスに適しています。先進的なアーク管理と内蔵されている水冷装置を特長とする直流ジェネレータは、低コストな選択肢としてパルス直流ジェネレータの代わりに使用することもできます。極めてコパクトな構造であるため、既存のアプリケーションに簡単に統合できます。

難度が高いプラズマプロセス用直流ジェネレータ: TruPlasma DC 3010

TruPlasma DC 3000シリーズ

TruPlasma DC 3000シリーズの直流ジェネレータは出力スペクトルの幅が広く、アーク検出が迅速であるため、特に難度が高い直流スパッタリングプロセスにおいても、完璧な表面及び高いコーティング率が保証されます。空冷であるため非常にコンパクトで、あらゆる設備に問題なくジェネレータを統合することが可能です。

TruPlasma Arc 3000シリーズのアークジェネレータ

TruPlasma Arc 3000シリーズ

TruPlasma Arc 3000シリーズのジェネレータは、硬い材料のコーティングや装飾的なコーティングで特に威力を発揮します。コンパクトなサイズと空冷により、貴重な有効面積の最適活用が保証され、新規または既存のシステムへの統合が簡単になります。

安定した電圧管理及び迅速なアーク管理を備えたバイアスジェネレータ

TruPlasma Bias 3000シリーズ

TruPlasma Bias 3000シリーズは、最新の直流バイアスジェネレータの多様な製品群です。全ての装置には、特に金属性の光学コーティングアプリケーションに対応する2種類の作業モードがあります。それに加えて、電圧と電流に対する要件が類似しているあらゆるアプリケーションに適しています。

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