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TruPlasma DC 3000シリーズ

要求の厳しいプラズマプロセス用直流ジェネレータ: TruPlasma DC 3010
要求の厳しいプラズマプロセス用直流ジェネレータ: TruPlasma DC 3010
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TruPlasma DC 3000シリーズ

コンパクトで高い信頼性

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要求の厳しいプラズマプロセス用直流ジェネレータ

TruPlasma DC 3000シリーズの直流ジェネレータは出力スペクトルの幅が広く、アーク検出が迅速であるため、難しい材料での特に要求の厳しい直流スパッタリングプロセスにおいても、完璧な膜表面及び高成膜率が保証されます。空冷であるため非常にコンパクトで、あらゆる設備に問題なく統合することが可能です。

幅広い出力スペクトル

2 kW~120 kWの出力は、多岐にわたるプロセスとアプリケーションに適切。

コンパクトで強靭な構造

直流ジェネレータは狭い空間でも高い性能を発揮し、長寿命で故障することが殆どありません。

タイムラグのないアーク検出

極薄で完全に均一なコーティングを蒸着できます。

容易なシステム統合

様々なデータインタフェースが揃っているため、既存の設備にも統合可能。

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) の典型的な使用領域: 耐摩耗性コーティングの製造

硬い材料のコーティング

直流マグネトロンスパッタリングによる機能膜の成膜により、強い負荷にさらされる加工品の縁の硬さや付着摩擦が高まり、熱安定性と化学的安定性が向上します。TruPlasma DC 3000 シリーズの直流ジェネレータでは、最適な膜品質が保証されます。

直流ジェネレータ TruPlasma DC 3010

金属被覆

PVDプロセスにより、極めて薄い金属層を様々な材料に成膜させて、材料の外観的及び電気的なプロパティを最良にすることができます。プロセスパラメータに最適に適合された電力供給により、完全に均一で欠陥のない膜の成膜が可能になります。

ソーラーセル製造

ソーラーセル製造

ソーラーセルだけでなく、フラットスクリーン及びタッチスクリーンにも、電気的なプロパティを変化させるために、透明導電性酸化物 (TCO) がコーティングされます。TruPlasma DC 3000 シリーズの直流ジェネレータはアークの残留エネルギーがわずかであるため、このコーティングに最適です。

建築用ガラス

建築用ガラス

建築用ガラスの広い面積に及ぶコーティングを直流スパッタリングプロセスで行う際には、プロセス電力供給に対する要件が極めて高くなります。TruPlasma DC 3000 シリーズの直流ジェネレータは、高品質なコーティング結果を得るための理想的な必要条件を備えています。

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広い面積に及ぶコーティングに理想的

要求の厳しいプラズマプロセスに最適

TruPlasma DC 3000シリーズの直流ジェネレータは、アーク管理が迅速で残留エネルギーがわずかであるため、直流スパッタリングによるコーティングに最適です。要求の厳しいプロセスも見事にコントロールできるため、極薄で完全に均一な膜の成膜が可能になります。

ソーラーセル製造

難しい材料の場合でも高い生産性

難しい材料の直流スパッタリングでも、高成膜率を確保できます。そのため、ソーラーセル及び建築用ガラスのコーティングや、硬い材料を使用した装飾的で外観的な膜の成膜において、生産性を最適化することができます。

難度が高いプラズマプロセス用直流ジェネレータ: TruPlasma DC 3010

故障が極めて少なく、メンテナンスもほとんど必要なし

直流ジェネレータは過酷な工業施設での運転用に設計されており、故障やメンテナンスによる一時中断のない長い作動時間を可能にします。それに加えて、空冷式の装置は非常にコンパクトであるため、設備内で必要になるスペースはごくわずかです。

様々なオプションにより、直流ジェネレータをご自分のアプリケーションに合わせて最適にカスタマイズできます。

1500 V点火補助

TruPlasma DC 3000シリーズに装備されている点火補助は、最高1500 Vまでの高電圧が必要となるアプリケーションでのプラズマ点火をサポートします。

迅速なアーク管理

TruPlasma DC 3000シリーズには、8000 Arcs/sの迅速なアーク管理が備わっています。

通信インタフェース

アナログ及びデジタルインタフェースにより、TruPlasma DC 3000シリーズを既存の設備に簡単に組み込むことができます。

使いやすいソフトウェア PVD Power

PVD Power

使いやすく、複数の言語に対応するソフトウェアPVD Powerにより、プロセス品質の最適化と効果的なトラブルシューティングを目的として、様々な操作、構成及び診断を行うことができます: 関連する全プロセスパラメータの実測値、警告、アラームメッセージの表示、オペレータによる規定値の指定、及び高い時間分解能による重要な運転パラメータの記録と可視化 (オシロスコープ機能)。

国によっては、この製品ラインナップと製品情報が異なる場合があります。技術、装備、価格及び提供アクセサリーは変更されることがあります。 現地担当者に問い合わせて、国内で製品を入手できるかどうかを確認してください。

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