要求の高い加熱プロセス向けの信頼性のある高出力
500 kHz以上の高周波でも、TruHeat HF 7000シリーズは一定した高い出力を供給 – 半導体や太陽電池産業における中断のない長時間のプロセスや、熱処理請負業者に応じて変動する要件に対応するために最適です。どんな状況にも対応できる信頼性の高いジェネレータです。
周波数が500 kHzを超えても確実なプロセス結果を保証します。
最大周波数3000 kHzまでの場合500 kW
10 kW～500 kWにわたる7種の出力段階により、多様な誘導加熱アプリケーションをカバーします。
周波数は400 kHz～3000 kHzに対応可能、多様な加熱プロセスに合わせて最適に調整できます。
困難なプロセスでも高い長期安定性
超高純度シリコン製造向けのフローティングゾーン法 (FZ)。
多様なアプリケーション
誘導結合プラズマ (ICP)。
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TruHeat HF 7030
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TruHeat HF 7060
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 出力 | |||||||||||||
| 定格出力 | 10 kW | 30 kW | 60 kW | 100 kW | 120 kW | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 最大出力電圧 | 5000 V eff | 6300 V eff | 6300 V eff | 6600 V eff | 7000 V eff | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 定格動作周波数 | 400 kHz - 3000 kHz | 400 kHz - 3000 kHz | 400 kHz - 3000 kHz | 400 kHz - 3000 kHz | 400 kHz - 3000 kHz | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 電源ケーブル長さ | 3 m - 20 m | 3 m - 20 m | 3 m - 20 m | 3 m - 4 m | 3 m - 4 m | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 電源接続データ | |||||||||||||
| 供給電圧 | (±10%) 200 V - 480 V | (±10%) 200 V - 480 V | (±10%) 200 V - 480 V | (±10%) 200 V - 480 V | (±10%) 200 V - 480 V | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 電源周波数 | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 電源入力電力 | 21 kVA | 63 kVA | 126 kVA | 210 kVA | 252 kVA | - | - | - | - | - | - | - | - |
| ハウジング | |||||||||||||
| 重量 | 900 kg | 1200 kg | 1200 kg | 1500 kg | 1500 kg | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 保護タイプ IP | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 冷却要件 | |||||||||||||
| 最大水圧 | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 最小圧力差 | 3.5 bar | 3.5 bar | 3.5 bar | 3.5 bar | 3.5 bar | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 最小流量 | 10 l/min | 30 l/min | 60 l/min | 100 l/min | 120 l/min | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 冷媒温度 | - 35 °C | - 35 °C | - 35 °C | - 35 °C | - 35 °C | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 外円 | |||||||||||||
| 保護タイプ IP | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 一般 | |||||||||||||
| 証明書 / 標準 | CE適合宣言書 | CE適合宣言書 | CE適合宣言書 | CE適合宣言書 | CE適合宣言書 | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 環境条件 | |||||||||||||
| 外部温度 | 10 °C - 45 °C | 10 °C - 45 °C | 10 °C - 45 °C | 10 °C - 45 °C | 10 °C - 45 °C | - | - | - | - | - | - | - | - |
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TruHeat HF 7010
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TruHeat HF 7030
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TruHeat HF 7060
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TruHeat HF 7100
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TruHeat HF 7400
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| 出力 | |||||||||||||
| 定格出力 | 10 kW | 30 kW | 60 kW | 100 kW | 120 kW | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 最大出力電圧 | 5000 V eff | 6300 V eff | 6300 V eff | 6600 V eff | 7000 V eff | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 定格動作周波数 | 400 kHz - 3000 kHz | 400 kHz - 3000 kHz | 400 kHz - 3000 kHz | 400 kHz - 3000 kHz | 400 kHz - 3000 kHz | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 電源ケーブル長さ | 3 m - 20 m | 3 m - 20 m | 3 m - 20 m | 3 m - 4 m | 3 m - 4 m | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 電源接続データ | |||||||||||||
| 供給電圧 | (±10%) 200 V - 480 V | (±10%) 200 V - 480 V | (±10%) 200 V - 480 V | (±10%) 200 V - 480 V | (±10%) 200 V - 480 V | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 電源周波数 | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 電源入力電力 | 21 kVA | 63 kVA | 126 kVA | 210 kVA | 252 kVA | - | - | - | - | - | - | - | - |
| ハウジング | |||||||||||||
| 重量 | 900 kg | 1200 kg | 1200 kg | 1500 kg | 1500 kg | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 保護タイプ IP | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 冷却要件 | |||||||||||||
| 最大水圧 | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 最小圧力差 | 3.5 bar | 3.5 bar | 3.5 bar | 3.5 bar | 3.5 bar | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 最小流量 | 10 l/min | 30 l/min | 60 l/min | 100 l/min | 120 l/min | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 冷媒温度 | - 35 °C | - 35 °C | - 35 °C | - 35 °C | - 35 °C | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 外円 | |||||||||||||
| 保護タイプ IP | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | IP54 | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 一般 | |||||||||||||
| 証明書 / 標準 | CE適合宣言書 | CE適合宣言書 | CE適合宣言書 | CE適合宣言書 | CE適合宣言書 | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 環境条件 | |||||||||||||
| 外部温度 | 10 °C - 45 °C | 10 °C - 45 °C | 10 °C - 45 °C | 10 °C - 45 °C | 10 °C - 45 °C | - | - | - | - | - | - | - | - |
ダウンロード形式で用意された全製品バリエーションの技術データ。
お客様のアプリケーションにベストパフォーマンスを
堅牢な設計のジェネレータは産業環境でも恒久的に使用できるため、安定した連続運転が可能となり、困難な長期プロセスでも驚くような生産性を発揮します。
実績のある真空管技術により、最大出力周波数と最大出力電圧が生成され、統合されたサイリスタ技術は、迅速で正確な出力調整を実現します。ジェネレータと共振回路は、作業ステーションのスペースを最適化するために、別々のモジュールとして入手可能です。
様々なオプションを使用することにより、高周波RFジェネレータを異なるシステム環境に合わせて最適に調整できます。
外部回路とも呼ばれるマッチング回路を使用して、負荷 (誘導コイル + 加工品) を高周波RFジェネレータに合わせて調整することができるため、ジェネレータは常に最大出力を発揮することができます。異なるアプリケーションで様々なマッチング回路を使用できます。
リモートコントロールユニットの機能範囲は、ジェネレータの操作パネルと同様の機能を備えています。このため、アプリケーション環境で直接ジェネレータを操作でき、同時に加熱プロセスを監視することができます。
適切なシステムコンポーネントを選択できるため、高周波RFジェネレータを所定のアプリケーションに合わせて最適にカスタマイズできます。
誘導加熱装置のジオメトリは、各加熱プロセスに合わせて調整できます (リング、ライン、フォームの各種誘導加熱装置)。
パイロパイロメータは、表面温度が2000 °C以下の非接触測定に使用します。接続されているプログラムコントローラにより、温度プロファイルを精密に移動できます。
冷却ユニットは、プロセス熱を確実に放散させます。様々な出力範囲に対応する仕様が提供されています。
国によっては、この製品ラインナップと製品情報が異なる場合があります。技術、装備、価格及び提供アクセサリーは変更されることがあります。 現地担当者に問い合わせて、国内で製品を入手できるかどうかを確認してください。
