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Technologiebild RF Plasmageneratoren

高周波プラズマジェネレータ

TRUMPF HüttingerのTruPlasma高周波ジェネレータは、プラズマ励起用のあらゆる電力供給において最高のプロセス安定性を提供します。この理由により高周波テクノロジーは、最高精度と再現性が要求されるプロセスに特に適しています。当社の高周波ジェネレータは、エネルギー効率と堅牢性の観点においても市場のトップクラスに属しているため、半導体部品、マイクロチップ、ソーラーセルあるいはフラットスクリーンの製造など、難度の高いアプリケーションに最適です。

高周波ジェネレータ TruPlasma RF 3006

TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) シリーズ

TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) シリーズは、最新世代の高周波RFジェネレータです。特許取得済みのCombineLineカップリングテクノロジー、または全プロセスパラメータのリアルタイム測定などの革新的な機能は、要件の高いプラズマプロセスでも確実な電力供給を保証します。これは再現可能な結果と高い生産性を得るためには最も適した前提条件です。

高周波RFジェネレータ TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006

TruPlasma RF 3000シリーズ

高出力のTruPlasma RF 3000シリーズ高周波RFジェネレータは、最高効率とプロセス安定性を特長としています。これは、フラットパネルディスプレイ、ソーラーセルまたは半導体の製造などで使用される、要件の高いプラズマプロセスに理想的です。インピーダンス整合の際にジェネレータに精密に合わせて調整されたマッチボックスは、ジェネレータからプラズマに随時最適なパワーが安定して伝達されるよう保証します。

VHFジェネレータ3000シリーズ

TruPlasma VHF 3000シリーズ

プロセスの最大出力を引き出す: TruPlasma VHF 3000シリーズのジェネレータは、難度の高いプロセス要件を満たす、革新的なプラットフォームコンセプトに基づいています。VHFジェネレータは、モジュール式で水冷のみによる構造であるため、最も狭い空間でも出力を最大80 kWまで拡大できます。

RFシステムソリューション: マッチボックスによる最高のプロセス安定性

TruPlasma Match 1000 (G2/13) シリーズ

プラズマプロセスを最適に管理するためには、高周波ジェネレータの出力インピーダンスを正確に整合させることが極めて重要です。これは、ジェネレータとプロセスとの間を結ぶTruPlasma Match 1000 (G2/13) シリーズのマッチボックスによって行われます。この方法により、プロセス電力供給の全体的なソリューションであるTRUMPF RFシステムを構築することができます。

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