Technologiebild RF Plasmageneratoren

고주파 플라즈마 발전기

TRUMPF Hüttinger의 TruPlasma 고주파 발전기는 모든 플라즈마 여자 전원 공급과 비교하여 가장 높은 공정 안정성을 제공합니다. 고주파 기술은 특히 높은 정확도와 재현성이 요구되는 프로세스에 적합합니다. 에너지 효율성 및 견고성과 관련해서도 우리의 고주파 발전기는 세계 시장을 선도하는 제품입니다. 따라서 반도체 부품, 마이크로칩, 솔라셀 또는 평면 스크린 제조와 같이 까다로운 어플리케이션을 위한 최고의 선택입니다.

TruPlasma RF Air 1000 시리즈

공랭식의 고주파 발진기 TruPlasma RF 1001 Air는 매우 정교한 분해능(100 mW 단위)을 통해 정확하고, 재생산 가능한 HF 에너지를 제공합니다(최대 1000 Watt까지). 그렇기 때문에 다양한 플라즈마 어플리케이션에 적합합니다. 반도체 제조, 솔라셀 제조, 디스플레이 제조, 그 어떠한 제조에서도 – 특허를 받은 TRUMPF Hüttinger 테크놀로지는 최신식의 공정 기능 덕분에 최고의 가용성과 최적의 공정 결과를 보장합니다.

TruPlasma RF 3006 고주파 발진기

TruPlasma RF 1000 / 3000 시리즈 (G2/13)

TruPlasma RF 1000 / 3000 시리즈(G2/13)는 최신 고주파 발진기입니다. 특허 받은 CombineLine 커플링 테크놀로지 또는 모든 공정 파라미터의 실시간 측정과 같은 혁신적인 기능 덕분에 까다로운 플라즈마 공정에서도 안전한 전원 공급이 보장되는데, 이는 재현 가능한 결과 및 높은 생산성을 위한 최적화된 전제조건입니다.

TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006 고주파 발진기

TruPlasma RF 3000 시리즈

TruPlasma RF 3000시리즈의 고성능 고주파 발진기는 최고의 효율성 및 공정 안정성이 특징입니다. 이 발진기는 평면 디스플레이, 솔라셀 또는 반도체 제조 등에 사용되며 까다로운 플라즈마 프로세스에 매우 이상적입니다. 임피던스 조정을 위해 발진기와 정확하게 상호 조화를 이루는 Matchbox는항상 발진기로부터 플라즈마로 안정적이면서 최적으로 출력을 전송할 수 있도록 합니다.

VHF 발진기 시리즈 3000

TruPlasma VHF 시리즈 3000

귀하의 프로세스를 위한 최고 성능: TruPlasma VHF 시리즈 3000은 매우 까다로운 프로세스 요건 조차도 충족시킬 수 있는 혁신적인 플랫폼 컨셉에 기반을 두고 있습니다. VHF 발진기의 순수 수냉식 모듈 구조는 최대 80 kW의 전력 출력 스케일링을 매우 작은 공간에서 가능하게 합니다!

RF 시스템 솔루션: 최고의 공정 안정성을 위한 Matchbox

TruPlasma Match 시리즈 1000(G2/13)

플라즈마 프로세스의 최적화된 가이드를 위해서는 고주파 발진기의 출력 임피던스를 정확하게 조정하는 것이 중요합니다. TruPlasma Match 시리즈 1000(G2/13)의 Matchbox는발진기와 프로세스 사이의 연결요소로서 이를 실행합니다. 이러한 방식으로 TRUMPF RF 시스템은 귀사의 프로세스 전원 공급을 위한 총체적인 솔루션이 됩니다.

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