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MF Plasmageneratoren

중간 포맷 플라즈마 발전기

TRUMPF Hüttinger의 중간 포맷 플라즈마 발전기는 예를 들어 듀얼 마그네트론 스퍼터링과 같이 특히 이중 음극 시스템에서 사용됩니다. 높은 전력 출력 및 공정 안정성 덕분에 중주파 발전기는 증착율이 높은 건축용 유리의 넓은 코팅면과 반도체 또는 솔라셀의 매우 얇고 균일한 코팅 작업에 적합합니다. 탁월한 정확도와 생산성으로 중간 포맷 프로세스 전원 공급 장치가 플라즈마 여자 어플리케이션에 적합한 솔루션을 제공합니다.

바이폴라 발진기 TruPlasma Bipolar 4040

TruPlasma Bipolar 4000 시리즈(G2)

TruPlasma Bipolar 4000 시리즈(G2)의 프로세스 전원 공급은 반응 스퍼터링, PVD 및 PECVD와 같은 까다로운 플라즈마 프로세스에 탁월하게 적합합니다. 유연하게 형성될 수 있는 출력 신호 및 정교한 아크 관리로 인하여 이 시리즈는 반도체 및 솔라셀 제조, 건축 유리의 코팅, 장식용 내마모성 총들의 적층 시 뛰어난 결과를 제공합니다.

TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈

TruPlasma MF 7000 시리즈

MF 발진기 TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈는 항상 완전한 프로세스 제어가 가능합니다. 그 덕분에 면적이 큰 까다로운 코팅 작업 시에도 탁월한 품질 및 최고의 생산성을 제공합니다. 90 % 이상의 피크 효율을 바탕으로 이 최신 전원 공급장치는 매우 경제적으로 작동합니다.

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