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바이폴라 발진기 TruPlasma Bipolar 4040
바이폴라 발진기 TruPlasma Bipolar 4040
플라즈마 여기
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar 4000 시리즈(G2)

유연한 파형의 고출력

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플라즈마 여기
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar 4000 시리즈(G2)

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고성능 바이폴라 기술

프로세스 전원 공급 장치 TruPlasma Bipolar 4000 시리즈(G2)는 PVD, PECVD 및 반응성 스퍼터링 공정과 같은 플라즈마를 이용한 코팅작업을 위해 개발되었습니다. 유연한 파형의 출력과 정교한 아크 관리로 인하여 TruPlasma Bipolar 4000 시리즈(G2)는 매우 광범위하게 사용될 수 있습니다. 반도체 및 솔라셀의 제조 또는 건축 유리의 코팅, 어느 경우에도 최고 성능의 코팅 품질 및 코팅율을 기대할 수 있습니다.

매우 낮은 아크 에너지

최고의 층 품질 및 생산성을 위한 완전 디지털화된 아크 관리

조정 가능한 파형

출력 신호의 변경으로 인해 상이한 프로세스에 대해 간단한 조정

하나의 발진기, 많은 어플리케이션

직류, 펄스 직류 및 바이폴라: 다양한 설정 옵션 덕분에 비용 절감

내장형 워터 쿨링

외부 컴포넌트가 필요하지 않기 때문에 매우 적은 공간만 필요

TruPlasma 바이폴라 4000 시리즈(G2)의 전형적인 적용 범위: 내마모성이 있는 코팅 제조

최고 등급의 전원 공급

일반적인 적용 분야는 반도체 및 광전지 생산, 건축 유리 코팅 및 최고 품질의 내마모적 장식 코팅물 제조이며 특히 PVD 및 PECVD 프로세스에 사용됩니다.

아웃풋          
정격 출력 10 kW 20 kW 30 kW 40 kW 60 kW
최대 출력전류 25 A eff 50 A eff 75 A eff 100 A eff 150 A eff
최대 출력전압 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff
정격 운전주파수 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz
아크 파라미터          
최대 아크율 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s
아크 에너지 0.3 mJ/kW 0.3 mJ/kW 0.3 mJ/kW 0.3 mJ/kW 0.3 mJ/kW
점화전압          
점화보조장치 포함 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V
전원 연결 데이터          
전원 전압 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V
전원 주파수 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
출력 계수 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95
통신 인터페이스          
아날로그/디지털
RS 232 / RS 485
PROFIBUS
EtherCAT
-
DeviceNet
-
하우징          
482 mm 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm
높이 178 mm 266 mm 355 mm 355 mm 622 mm
깊이 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm
중량 60 kg 60 kg 100 kg 100 kg 160 kg
보호등급 IP IP40 IP40 IP40 IP40 IP40
냉각 요건          
냉매 워터 워터 워터 워터 워터
최대 수압 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar
최소 차압 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar
최소 유량 4 l/min 8 l/min 8 l/min 12 l/min 12 l/min
냉매 온도 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C
일반          
총효율 90 % 90 % 90 % 90 % 90 %
주변 조건          
외부온도 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
공기습도 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
기압계 압력 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Technical data sheet

Download the technical data of all product variants.

아크 관리

완벽한 코팅, 높은 생산성

매우 낮은 아크 에너지를 이용하는 완전 디지털 아크 관리를 통해 높은 층 품질 및 증착율을 구현합니다. TruPlasma 바이폴라 4000 시리즈(G2)는 매우 까다로운 반응 공정의 경우에서도 항상 균일한 공정 전류 공급 및 안정적 플라즈마 상태를 보장합니다.

출력 신호의 유연한 선택으로 인해 광범위하게 사용할 수 있음

더 큰 유연성, 더 낮은 비용

TruPlasma 바이폴라 4000 시리즈(G2) 발진기는 조정 가능한 파형을 통하여 다양한 공정 요건에 따라 매우 간단하게 조정될 수 있습니다. 이 발진기는 출력 신호(직류, 펄스 직류 또는 바이폴라)를 유연하게 선택할 수 있어서 광범위하게 사용할 수 있으며, 전체 운용 비용(TCO)을 절감할 수 있도록 지원합니다.

바이폴라 발진기 TruPlasma Bipolar 4060

모든 것을 하나의 하우징으로

환경 영향으로부터 보호되는 발진기 하우징 내에 완전히 통합된 워터 쿨링 덕분에 외부 컴포넌트가 불필요합니다.

사용자 친화적인 소프트웨어 PVD Power

PVD Power

운영 친화적 다언어 소프트웨어 PVD Power는 프로세스 품질 최적화 및 효과적 고장 처리를 위한 다양한 조작, 컨피규레이션 및 진단 가능성을 제공합니다: 모든 관련 공정 파라미터의 실제값, 경고 및 경보 알림의 표시, 조작자에 의한 목표값 설정 내용, 중요 운영 파라미터를 높은 시분해능으로 기록 및 시각화(오실로코프 기능)

다양한 시스템 컴포넌트 선택을 통해 바이폴라 펄스 발생기를 시스템 환경에 최상으로 매칭시킬 수 있습니다.

TruPlasma Bipolar 4000 시리즈(G2) 발진기의 배면도
전원 케이블

상이한 연결부 표준을 충족하기 위한 다양한 케이블 및 플러그가 구비되어 있습니다.

국가에 따라 이 제품 분류 및 기재 사항이 다를 수 있습니다. 기술, 사양, 가격 및 액세서리 제공 품목이 변경될 수 있습니다. 귀하의 국가에서 사용할 수 있는 기계에 대해서는 현지 담당자에게 문의하십시오.

본 주제에 흥미를 가질 수 있습니다.

연락처

Klaus Nock
세일즈 플라즈마
팩스: +49 761 89711150
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