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TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈
신규
TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈
플라즈마 여기
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma MF 7000 시리즈

동급 최강

    - / -
    • 개요
    • 어플리케이션
    • 기술 데이터
    • 고객 이익
    • 옵션들
    • 소프트웨어
    • 시스템 컴포넌트들
    • 더 많이 더 적게
    완벽한 프로세스 제어

    TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈를 통해 언제든지 프로세스를 제어할 수 있습니다. 우수한 아크 관리 및 점화 거동을 통해 발진기는 넓은 면적의 코팅(Large Area Coating)과 듀얼 마그네트론 스퍼터링에서의 까다로운 반응 프로세스를 위해 전원을 공급하는 데 가장 적합합니다. 90 % 이상의 피크 효율 및 효율적인 냉각수 관리를 바탕으로 현 세대의 전원 공급 또한 매우 경제적으로 작동합니다.

    최고의 층 품질 및 생산성

    반응 공정이 최악인 상황에서도 뛰어난 공정 결과 및 높은 코팅률을 보증합니다.

    최대 효율

    90 % 이상의
    피크 효율을 바탕으로 80 % 이상의 운전 효율 달성이 가능합니다.

    모든 기후 조건에서 안정적인 전원 공급

    높은 냉각수 온도 및 낮은 차압에서도 신뢰성 있는 기능

    전세계 어디에서든 사용 가능함

    가변적인 연결 전압 덕택에 기술적인 조정이 필요 없음

    최고 등급의 중간 포맷 전원 공급은 넓은 코팅면에 이상적임

    최고 등급의 중간 포맷 전원 공급

    건축용 유리의 넓은 코팅면(Large Area Coating): SiOx와 같이 까다로운 물질에는 높은 전원 공급 안정성이 요구됩니다.

    평면 디스플레이 코팅을 위한 최고 등급의 중간 포맷 전원 공급

    얇은 층 도포

    평판 디스플레이와 터치 패널 코팅: 듀얼 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 초박막, 고강도의 균질한 AlxOx 박막을 제작할 수 있습니다.

    매우 얇은 층 적층를 위한 TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈의 중파 발진기

    솔라셀 제조

    솔라글라스 코팅: TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈의 안정된 전원 공급은 MF-스퍼터링을 통해 가장 얇은 TCO-층들이 균질하게 적층될 수 있도록 합니다.

    아웃풋                    
    정격 출력 50 kW 75 kW 100 kW 120 kW 150 kW 50 kW 75 kW 100 kW 120 kW 150 kW
    최대 출력전류 110 A eff 200 A eff 225 A eff 300 A eff 350 A eff 110 A eff 200 A eff 225 A eff 300 A eff 350 A eff
    최대 출력전압 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff
    정격 운전주파수 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz
    아크 파라미터                    
    최대 아크율 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s
    아크 에너지 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW
    아크 처리시간 50 µs 50 µs 50 µs 50 µs 50 µs 25 µs 25 µs 25 µs 25 µs 25 µs
    점화전압                    
    점화보조장치 포함 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V
    점화보조장치 비포함 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V
    전원 연결 데이터                    
    전원 전압 (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V
    전원 주파수 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
    정격 소비전력 61 kVA 93 kVA 124 kVA 149 kVA 186 kVA 61 kVA 93 kVA 124 kVA 149 kVA 186 kVA
    출력 계수 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95
    하우징                    
    중량 560 kg 610 kg 610 kg 660 kg 660 kg 560 kg 610 kg 610 kg 660 kg 660 kg
    보호등급 IP 54 54 54 54 54 54 54 54 54 54
    냉각 요건                    
    냉매 워터 워터 워터 워터 워터 워터 워터 워터 워터 워터
    최대 수압 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar
    최소 차압 2.2 bar 2.2 bar 2.2 bar 2.5 bar 2.5 bar 2.2 bar 2.2 bar 2.2 bar 2.5 bar 2.5 bar
    최소 유량 28 l/min 30 l/min 30 l/min 34 l/min 34 l/min 30 l/min 31 l/min 31 l/min 36 l/min 36 l/min
    냉매 온도 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
    일반                    
    총효율 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 %
    인증서 / 표준 CE, SEMI S2-0709, FCC 표준 부품 18 CE, SEMI S2-0709, FCC 표준 부품 18 CE, SEMI S2-0709, FCC 표준 부품 18 CE, SEMI S2-0709, FCC 표준 부품 18 CE, SEMI S2-0709, FCC 표준 부품 18 CE, SEMI S2-0709, FCC 표준 부품 18 CE, SEMI S2-0709, FCC 표준 부품 18 CE, SEMI S2-0709, FCC 표준 부품 18 CE, SEMI S2-0709, FCC 표준 부품 18 CE, SEMI S2-0709, FCC 표준 부품 18
    주변 조건                    
    외부온도 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
    PDF <1MB
    Technical data sheet

    Download the technical data of all product variants.

    TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈 발진기는 최고의 효율성을 보장합니다.

    최고의 경제성 및 유연성

    TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈의 높은 운전 효율과 유연한 냉각 솔루션은 전체 운전 기간 동안 최고의 경제성을 보장합니다. 까다로운 환경 조건 및 설치 조건에서도 전원 공급은 항상 안정적입니다. 높은 냉각수 온도, 낮은 수압 및 높은 공기 습도는 프로세스 품질을 저하시키지 않습니다. 발진기의 넓은 작동 전압폭 덕택에 기술적인 조정 없이 MF-발진기를 전 세계에서 사용할 수 있습니다.

    TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈의 중파 발진기

    프로세스 정밀 제어 시스템

    간단한 아크 파라미터 설정만으로 코팅 품질과 생산성을 정밀하게 제어할 수 있습니다. 따라서 아크 처리의 감도와 원하는 처리율 간에서 최적의 균형을 잡을 수 있습니다. 이외에도도 다양한 인터페이스와 편리한 운영 소프트웨어인 TruControl Power를 통해 효율적인 컨피규레이션과 진단을 보장합니다.

    아크 관리

    우수한 아크 관리

    높은 반응 속도와 이에 따라 감소된 잔류 에너지는 프로세스를 안정시키고 스퍼터링 속도를 향상시킵니다. 발진기는 타겟에서 아크 형성 및 열 응력을 감지하고 이를 신뢰할만하게 방지합니다. 결과적으로 기판 표면 전체에 완벽하게 균일한 코팅이 생성됩니다. 이외에도 신속하고 확실한 아크 관리를 통해 발진기를 전압 제어된 이행 영역(transition mode)에서 문제 없이 작동시킵니다.

    TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈에는 MF-발진기를 사용 요건에 맞게 조정해 줄 수 있는 많은 옵션이 있습니다.

    확장된 주파수 범위

    출력이 100 kW 이하인 MF 발진기는 20 – 70 kHz의 확장된 주파수 영역을 사용할 수 있습니다(표준: 20 – 50 kHz).

    점화 보조 장치

    아크 형성 및 열응력이 줄어듭니다. 점화 전압과 램프 타임은 개별적으로 조정할 수 있습니다.

    초고속 아크 관리

    TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈에는 매우 민감한 아크 관리 장치가 장착되어 있습니다(초고속 관리 ≤ 1 mJ/kW, 표준 ≤ 10 mJ/kW). UltraFastTreatment에는 안전 등급 3을 필요로 합니다.

    모든 경우를 위해 준비됨

    TruPlasma MF 7000 시리즈는 Profinet, Profibus, EtherCAT, 아날로그 및 디지털 인터페이스를 통해 기존 설비에 간단하게 통합될 수 있습니다.

    스위치 캐비닛 도어

    특히 180° 개방각도의 넓은 배전함 도어를 옵션으로 제공받을 수 있습니다(표준: 130 °C).

    활성화된 배전함 제습 기능

    공기 습도가 매우 높은 환경의 경우 발진기 배전함에 활성화된 제습 유닛을 장착할 수 있습니다. 제습 유닛의 작동을 위해 냉각수를 제어해야 합니다.

    사용자 친화적인 TruControl Power 소프트웨어

    TruControl Power

    사용자 친화적이며 다국어를 지원하는 소프트웨어 TruControl Power는 다양한 조작법, 컨피규레이션 및 진단 기능을 제공합니다.

    적합한 시스템 구성 요소를 선택하여 TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈를 최대한 시스템 환경에 맞게 조정할 수 있습니다.

    MF-전원 케이블
    MF-전원 케이블

    TruPlasma MF 7000(G2) 시리즈의 경우 최적화된 TRUMPF Hüttinger MF-전원 케이블이 제공됩니다. 이 전원 케이블은 현재 최적화된 시스템 성능을 보장합니다.

    국가에 따라 이 제품 분류 및 기재 사항이 다를 수 있습니다. 기술, 사양, 가격 및 액세서리 제공 품목이 변경될 수 있습니다. 귀하의 국가에서 사용할 수 있는 기계에 대해서는 현지 담당자에게 문의하십시오.

    본 주제에 흥미를 가질 수 있습니다.

    Services_Electronics_TQZ_TRUMPF_Tower
    테스트 및 품질 센터

    당사의 테스트 및 품질 센터(TQZ)의 경험이 풍부한 어플리케이션 엔지니어가 제품 품질의 최적화를 위해 날마다 노력하고 있습니다.

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    24시간 언제 어디서나 지원

    당사의 24시간 서비스 핫라인을 통해 전문 서비스 기술자가 매일 24시간 여러분을 지원합니다.

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    개별적인 고객 교육 프로그램이야 말로 당사의 강점입니다.

    숙련된 서비스 기술자가 참가자의 니즈에 적합하게 구성된 내용의 기본 지식을 전달합니다.

    접점

    Klaus Nock
    세일즈 플라즈마
    팩스: +49 761 89711150
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    다운로드

    TruPlasma MF 7000 시리즈(G2) 브로셔
    TruPlasma MF 7000 시리즈(G2) 브로셔
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