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Technologiebild DC Plasmagenerator

직류 플라즈마 발전기

TRUMPF Hüttinger의 직류 플라즈마 발진기는 플라즈마 에너지변환의 기본형입니다. 보통 단일 음극 시스템에 사용되고 있으며, 특히 솔라셀 및 반도체의 전기 전도성 코팅 및 기판의 분극을 위해 사용됩니다. 저렴한 입문용 플라즈마 에너지변환 기술로서 직류 발진기는 현재 다양한 어플리케이션에서 사용되고 있습니다

TruPlasma DC 3040 직류 발진기

TruPlasma 직류 시리즈 3000 (G2)

차세대 직류 발진기인 TruPlasma DC 3000 (G2) 은 다양한 DC 스퍼터링 프로세스에 적합합니다. 진화된 아크 관리 및 내장된 워터 쿨링 덕분에 이 직류 발진기는 펄스 직류 발진기의 경제적인 대안으로 관심을 받습니다. 이외에도 매우 컴팩트한 구조는 기존 어플리케이션에 간단하게 통합될 수 있도록 합니다.

고도 요건의 플라즈마 프로세스를 위한 직류 발진기: TruPlasma 직류 3010

TruPlasma 직류 시리즈 3000

폭 넓은 출력 스펙트럼 및 신속한 아크 인식을 이용하여 TruPlasma 직류 3000 시리즈 발진기는 결함 없는 표면 및 높은 코팅율을 보장하고 - 또한, 고도 요건의 직류 스퍼터링 프로세스에서도 그러합니다. 이 발진기는 에어 쿨링 덕분에 매우 콤팩트하여 모든 설비에 문제 없이 통합될 수 있습니다.

TruPlasma Arc 시리즈 3000의 Arc 발진기

TruPlasma Arc 시리즈 3000

TruPlasma Arc 시리즈 3000 발진기는 메인 코팅 및 장식용 코팅에서 특히 빛이 납니다. 컴팩트한 구조와 에어 쿨링을 통해 귀중한 사용 공간을 확실히 최적으로 이용할 수 있고 새로운 시스템 또는 기존 시스템과의 통합을 쉽게 할 수 있습니다.

안정적 전압 관리 및 신속한 아크 관리를 갖춘 바이어스 발진기

TruPlasma Bias 시리즈 3000

TruPlasma 바이어스 시리즈 3000은 다재다능한 최신 직류 바이어스 발진기 계열입니다. 모든 장비는 특히 광학적 금속 코팅 어플리케이션을 지원하는 두 개의 작업 모드를 제공합니다. 또한 이러한 모드들은 전압 및 전류 요건이 유사한 각각의 어플리케이션에 적합합니다.

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