고도 요건의 플라즈마 프로세스를 위한 직류 발진기
폭 넓은 출력 스펙트럼 및 신속한 아크 인식을 이용하여 TruPlasma 직류 시리즈 3000 발진기는 결함 없는 표면 및 높은 코팅율을 보장하고 - 또한, 중요 물질을 포함하는 매우 고도 요건의 직류 스퍼터링 프로세스에서도 그러합니다. 이러한 발진기는 에어 쿨링을 이용하여 매우 콤팩트하여 각 설비에 문제 없이 통합될 수 있습니다.
2 kW - 120 kW, 이를 통해 매우 다양한 프로세스 및 어플리케이션에 적합합니다.
이 직류 발진기는 좁은 공간에서 많은 출력을 제공하며, 유효 수명이 매우 길고 고장에 덜 취약합니다.
매우 얇은 층들이 절대적으로 균일하게 적층될 수 있습니다.
또한 다양한 데이터 인터페이스 덕분에 기존 시스템에서도 마찬가지입니다.
경질재 코팅
직류 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 기능층들이 적층됨으로써, 부하가 심한 공작물의 표면 경도 및 마찰 점착력이 증대되고, 열적 및 화학적 안정성이 개선됩니다. TruPlasma 직류 시리즈 3000 직류 발진기는 최적의 층 품질을 보장합니다.
금속화
PVD 프로세스를 이용하여 매우 얇은 금속층들은 다양한 물질들 상에 적층될 수 있어서, 이러한 금속층들은 최상의 광학적 및 전기적 특성을 얻게 됩니다. 공정 파라미터에 따라 최적으로 조정된 전원 공급에 의해, 결함 없는 층들이 절대적으로 균일하게 증착될 수 있습니다.
솔라셀 제조
도전 물질(TCO)의 코팅은 솔라셀, 평면 스크린 및 터치스크린의 전기적 특성에 영향을 미칩니다. 이를 위해 아크 잔여 에너지가 낮은 TruPlasma DC Serie 3000 직류 발진기가 매우 적합합니다.
건축 유리
PVD 프로세스로 건축 유리를 대면적 코팅하는 것은, 공정 전원 공급 요건은 매우 까다롭습니다. TruPlasma 직류 시리즈 3000 직류 발진기는 고품질 코팅 성과를 위한 전제 조건입니다.
고도 요건의 플라즈마 프로세스를 위해 최상으로 적합
낮은 잔여 에너지를 이용하는 신속한 아크 관리를 통하여, TruPlasma 직류 시리즈 3000 직류 발진기는 직류 스퍼터링을 이용한 코팅을 위해 올바른 선택입니다. 이러한 발진기는 고도 요건의 프로세스에서도 최상으로 동작하여 매우 얇은 층들이 절대적으로 균일하게 적층될 수 있게 합니다.
중요 물질들에서도 높은 생산성
중요 물질의 직류 스퍼터링 시 높은 코팅율이 달성됩니다. 따라서 솔라셀의 코팅, 건축 유리 코팅, 및 경질재 소재의 장식적인 시각 효과적 층들의 적층 시 생산성이 최적화됩니다.
장애 및 유지 보수 취약성이 최저임
직류 발진기는 산업적 비정밀 구동을 위해 설계되며, 장애 및 유지 보수 시기 없이 장시간의 유효 수명을 제공합니다. 에어 쿨링된 장비는 매우 콤팩트하고 설비 내에서 공간 수요가 낮습니다.
다양한 옵션을 이용하여 직류 발진기를 귀사의 어플리케이션에 따라 최적으로 조정할 수 있씁니다.
TruPlasma 직류 시리즈 3000은 점화 보조 장치를 구비하고, 이는 최대 1500V의 높은 전압 수요를 갖는 어플리케이션에서 플라즈마 점화를 보조합니다.
TruPlasma 직류 시리즈 3000의 아크 관리율은 8000 Arcs/s입니다.
TruPlasma 직류 시리즈 3000는 설비 및 디지털 인터페이스면에서 기존의 설비에 간단하게 편입될 수 있습니다.
PVD Power
운영 친화적 다언어 소프트웨어 PVD Power는 프로세스 품질 최적화 및 효과적 고장 처리를 위한 다양한 조작, 컨피규레이션 및 진단 가능성을 제공합니다: 모든 관련 공정 파라미터의 실제값, 경고 및 경보 알림의 표시, 조작자에 의한 목표값 설정 내용, 중요 운영 파라미터를 높은 시분해능으로 기록 및 시각화(오실로코프 기능)
국가에 따라 이 제품 분류 및 기재 사항이 다를 수 있습니다. 기술, 사양, 가격 및 액세서리 제공 품목이 변경될 수 있습니다. 귀하의 국가에서 사용할 수 있는 기계에 대해서는 현지 담당자에게 문의하십시오.
