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Technologiebild DC gepulste Plasmageneratoren

직류 플라즈마 발전기

TRUMPF Hüttinger의 펄스 직류 플라즈마 발진기는 수 많은 반응 공정에서 사용하기에 적합합니다. 예컨대 일반 직류 발진기와 달리 펄스 직류를 통해 산화물과 같은 반도체 또는 부도체 재료를 가공할 수 있습니다. 펄스 발진기는 특히 경질재 코팅 및 반도체 제조에서 에칭 및 코팅 공정에서 자주 사용됩니다.

TruPlasma DC 4000 (G2)

TruPlasma 직류 시리즈 4000 (G2)

TruPlasma DC 4000 (G2) 시리즈는 TRUMPF Hüttinger의 탁월한 아크 처리를 직류 펄스 테크놀로지의 장점과 결합시켰습니다. 이렇게 이 시리즈는 증착율을 증대하면서 결함이 적은 향상된 코팅 결과를 달성했습니다. 결과는 우수한 표면과 높은 생산 출력입니다.

TruPlasma 직류 시리즈 4000의 펄스 발진기

TruPlasma 직류 시리즈 4000

TruPlasma 직류 시리즈 4000 발진기는 고도 요건의 플라즈마 프로세스를 위한 최상의 선택입니다. 이러한 발진기는 폭넓은 부하 조정 범위에서 완전 출력을 제공할 수 있습니다. 따라서 하이테크 스퍼터링 어플리케이션 및 추가적 표준 어플리케이션 또는 펄스 직류 플라즈마 어플리케이션을 위해 적합합니다. 이러한 발진기는 비-펄스 발진기와 마찬가지로 우수한 아크 관리를 제공합니다.

TruPlasma 고펄스 시리즈 4000 발진기

TruPlasma Highpulse 시리즈 4000

TruPlasma 고펄스 4000 시리즈의 발진기는 HIPIMS-어플리케이션을 위한 최상의 선택으로, 부식에 매우 강하고 마모가 적은 경질재 코팅을 제공합니다. TruPlasma 고펄스 4000 시리즈가 분극된 기판과 함께 사용되면, 반도체 어플리케이션에 사용될 수 있습니다(예: 에칭, 표면 전처리, 트렌치 필링)

안정적 전압 관리 및 신속한 아크 관리를 갖춘 바이어스 발진기

TruPlasma 바이어스 시리즈 4000

TruPlasma 바이어스 시리즈 4000은 최신 펄스 직류 바이어스 발진기에 속하는 제품입니다. 펄스 주파수는 최대 100 kHz로 가능하고, 연속적 바이어스 출력이 가능합니다.
이 시리즈의 모든 장비는 두 가지의 작업 모드를 제공합니다. 기판 에칭 프로세스을 위한 1200 볼트의 고전압 모드 및 바이어스 보조 코팅 프로세스(예: 반도체 기술 또는 경질재 코팅에 사용됨)을 위한 300 볼트의 저전압 모드.

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