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안정적 전압 관리 및 신속한 아크 관리를 갖춘 바이어스 발진기
안정적 전압 관리 및 신속한 아크 관리를 갖춘 바이어스 발진기
플라즈마 여기
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma 바이어스 시리즈 4000

안정적으로 다방면에 사용

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    • 개요
    • 어플리케이션
    • 기술 데이터
    • 고객 이익
    • 소프트웨어
    • 더 많이 더 적게
    귀사의 스퍼터링 프로세스를 위한 범용 발진기

    TruPlasma 바이어스 시리즈 4000은 최신 펄스 직류 바이어스 발진기에 속하는 제품입니다. 펄스 주파수는 최대 100 kHz로 가능하고, 연속적 바이어스 출력이 가능합니다. 특히, 발진기는 예컨대 반도체 기술 또는 경질재 코팅에 사용되는 광학적 금속 코팅 어플리케이션을 보조합니다. 또한 발진기는 전압 및 전류 요건이 유사한 각각의 어플리케이션에 적합합니다.

    고전압 모드 및 저전압 모드

    기판 에칭 프로세스를 위한 1200 V
    바이어스 보조 코팅 프로세스를 위한 300 V

    신속한 아크 관리

    따라서 액적 침전 및 기판 손상이 현저하게 덜 발생합니다.

    안정적으로 재현 가능한 공정 성과

    현대적인 DSP 기술 및 FPGA 신호 평가 덕분에 뛰어난 아크 관리.

    TruPlasma 바이폴라 4000 시리즈(G2)의 전형적인 어플리케이션 범위: 내마모성이 있는 층 제조

    내마모성 층 제조

    TruPlasma 바이어스 시리즈 4000 발진기는 안정적 플라즈마 프로세스을 제공하여 최적의 층 품질을 구현합니다.

    대면적 코팅에 이상적

    대면적 코팅

    플라즈마 프로세스로 대면적 코팅하는 것은 공정 전류 공급 요건이 매우 까다롭습니다. TruPlasma 바이어스 시리즈 4000 발진기는 각 프로세스에 따라 안정적 및 최적으로 조정된 전류 공급을 위한 모든 전제 조건을 제공하므로, 재현 가능한 우수한 성과를 달성할 수 있습니다.

    TruPlasma 바이어스 시리즈 4000 발진기

    솔라셀 제조

    TruPlasma 바이어스 시리즈 4000 발진기는 모든 주요 PVD, PECVD 프로세스에서 입증되었고, 각 프로세스에 따라 안정적 및 최적으로 조정된 전원 공급을 위한 모든 전제 조건을 제공하므로, 재현 가능한 우수한 성과를 달성할 수 있습니다.

    TruPlasma 바이어스 4012
    TruPlasma 바이어스 4018
    TruPlasma 바이어스 4026
    아웃풋      
    정격 출력 12 kW 18 kW 26 kW
    최대 출력전류 40 A eff 60 A eff 87 A eff
    최대 출력전압 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
    정격 운전주파수 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
    아크 파라미터      
    최대 아크율 50 1/s 50 1/s 50 1/s
    아크 처리시간 <0.5 µs <0.5 µs <0.5 µs
    전원 연결 데이터      
    전원 전압 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V
    전원 주파수 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
    통신 인터페이스      
    아날로그/디지털
    RS 232 / RS 485 - -
    PROFIBUS -
    EtherCAT 아니오 아니오 아니오
    하우징      
    중량 70 kg 70 kg 71 kg
    보호등급 IP IP 20 IP 20 IP 20
    냉각 요건      
    냉매 에어 에어 에어
    냉매 온도 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
    일반      
    총효율 90 % 90 % 90 %
    인증서 / 표준 CE CE CE
    주변 조건      
    외부온도 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
    공기습도 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    기압계 압력 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa
    PDF <1MB
    Technical data sheet

    Download the technical data of all product variants.

    건축 유리

    균일하게 양호한 공정 조건 보장

    특정한 출력 및 제어 설계는 층 품질 및 이상적 공정을 위해 결정적인 확실한 전압 안정성을 제공합니다. DSP 기술로 설계되고 FPGA 신호 평가를 구비한 TruPlasma 바이어스 4000 시리즈는 최신 아크 관리를 제공하며, 이는 유일무이한 정확도 및 반복 정확도를 제공합니다. 2개의 인상적인 파라미터 값들은 최적의 공정 안정화를 제공합니다.

    경질재 코팅

    복수의 프로세스를 위해 오로지 1개의 장비를 이용하는 간단환 시스템 핸들링

    Tru Plasma 바이어스 시리즈 4000은 2개의 별도 전압 모드를 제공합니다: 최대 1200 볼트의 고전압 모드 및 최대 300 볼트의 저전압 모드. 이러한 모드들은 예컨대 반도체 기술 또는 경질재 코팅에 사용되는 광학적 금속 코팅 어플리케이션을 보조합니다. 또한 이러한 모드들은 전압 및 전류 요건이 유사한 각각의 어플리케이션에 적합합니다.

    아크 관리

    비마찰 프로세스를 통한 최적의 층 품질

    TruPlasma 바이어스 시리즈 4000 발진기는 매우 낮은 아크 에너지를 이용하는 완전 디지털 아크 관리, 및 보상 라인을 구비하여, 높은 층 품질 및 증착율을 구현합니다. 따라서 액적 침전 및 기판 손상은 덜 발생하게 되고, 프로세스 및 제품은 개선됩니다.

    사용자 친화적인 소프트웨어 PVD Power

    PVD Power

    운영 친화적 다언어 소프트웨어 PVD Power는 프로세스 품질 최적화 및 효과적 고장 처리를 위한 다양한 조작, 컨피규레이션 및 진단 가능성을 제공합니다: 모든 관련 공정 파라미터의 실제값, 경고 및 경보 알림의 표시, 조작자에 의한 목표값 설정 내용, 중요 운영 파라미터를 높은 시분해능으로 기록 및 시각화(오실로코프 기능)

    국가에 따라 이 제품 분류 및 기재 사항이 다를 수 있습니다. 기술, 사양, 가격 및 액세서리 제공 품목이 변경될 수 있습니다. 귀하의 국가에서 사용할 수 있는 기계에 대해서는 현지 담당자에게 문의하십시오.

    본 주제에 흥미를 가질 수 있습니다.

    Services_Electronics_Technical_Support
    유일무이한 서비스

    발진기는 세세한 부분까지 규정한 유지보수 계약을 통해 최상의 가용성을 내며, 유지보수 및 운영 비용을 일목요연하게 파악할 수 있습니다.

    Bias Generator mit stabilem Spannungs- und schnellem Arc-Management
    최적화된 펄싱 프로세스

    TruPlasma Bias 3000 시리즈 발진기와 두 개의 작업 모드 및 풀디지털 아크 관리는 높은 코팅 품질과 필터링 효율성을 약속합니다.

    Services_Electronics_Training
    개별적인 고객 교육 프로그램이야 말로 당사의 강점입니다.

    숙련된 서비스 기술자가 참가자의 니즈에 적합하게 구성된 내용의 기본 지식을 전달합니다.

    접점

    Klaus Nock
    세일즈 플라즈마
    팩스: +49 761 89711150
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