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TruPlasma 직류 시리즈 4000의 펄스 발진기
TruPlasma 직류 시리즈 4000의 펄스 발진기
플라즈마 여기
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma 직류 시리즈 4000

유리처럼 투명: 무결점 표면을 위한 펄스 프로세스

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    • 개요
    • 어플리케이션
    • 고객 이익
    • 소프트웨어
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    고도 요건의 플라즈마 프로세스를 위한 최상의 선택

    TruPlasma 직류 시리즈 4000 발진기는 고도 요건의 플라즈마 프로세스를 위한 최상의 선택입니다. 이러한 발진기는 폭넓은 부하 조정 범위에서 완전 출력을 제공할 수 있습니다. 따라서 하이테크 스퍼터링 어플리케이션 및 추가적 표준 어플리케이션 또는 펄스 직류 플라즈마 어플리케이션을 위해 적합합니다. 이러한 발진기는 비-펄스 발진기와 마찬가지로 우수한 아크 관리를 제공합니다.

    일관적인 결과를 위한 안정적인 프로세스

    가장 최신의 DSP 컨트롤 기술 덕분에 아크로 인한 시간 손실이 최소화됩니다.

    우수한 아크 관리

    액적 침전 및 기판 손상이 덜 발생함에 따른 향상된 결과.

    많은 프로세스를 위한 발진기

    폭 넓은 출력 범위 및 최대 100 kHz의 펄스 주파수 덕분에 유연한 사용

    TruPlasma 직류 시리즈 4000의 펄스 발진기

    난가공재의 반응 스퍼터링

    TruPlasma 직류 시리즈 4000의 펄스 발진기는 특히 난가공재의 반응 스퍼터링을 위해 개발되었습니다. 발진기는 모든 주요 PVD, PECVD 프로세스에서 그 효과가 입증되었습니다(예: 솔라셀 및 반도체의 제조 또는 경질재 코팅)

    금속 가공품 코팅에 이상적

    고도 요건의 플라즈마 프로세스

    TruPlasma 직류 시리즈 4000 발진기는 고도 요건의 플라즈마 프로세스를 위한 최상의 선택입니다. 이러한 발진기는 폭넓은 부하 조정 범위에서 완전 출력을 제공할 수 있습니다. 따라서 하이테크 스퍼터링 어플리케이션 및 추가적 표준 어플리케이션 또는 펄스 직류 플라즈마 어플리케이션을 위해 적합합니다. 이러한 발진기는 비-펄스 발진기와 마찬가지로 우수한 아크 관리를 제공합니다.

    아크 관리

    고효율

    매우 낮은 아크 에너지를 이용하는 완전 디지털 아크 관리를 통해 높은 층 품질 및 증착율을 구현합니다. 이를 통해 액적 침전 및 기판 손상이 덜 발생합니다. 이는 매우 낮은 아크 잔여 에너지와 함께 직접적으로 프로세스 및 최종 결과를 개선합니다. 프로세스 중단 시간이 매우짧은 안정적이고 일정한 프로세스 진행 시간에 의해 높은 생산성이 보장됩니다.

    TruPlasma 직류 시리즈 4000의 펄스 발진기

    사용자 친화 프로세스 조정

    TruPlasma 직류 시리즈 4000 발진기는 동기화된 아크 관리, 펄스 주파수 및 위상 이동을 제공합니다. 주파수 및 펄스 파라미터는 다양하게 조정될 수 있어서, 다수의 프로세스들을 하나의 장비로 조작할 수 있습니다. 또한, 복수의 TruPlasma 직류 4000 발진기를 이용하여 동기 펄스가 가능합니다.

    사용자 친화적인 소프트웨어 PVD POWER

    PVD Power

    운영 친화적 다언어 소프트웨어 PVD Power는 프로세스 품질 최적화 및 효과적 고장 처리를 위한 다양한 조작, 컨피규레이션 및 진단 가능성을 제공합니다: 모든 관련 공정 파라미터의 실제값, 경고 및 경보 알림의 표시, 조작자에 의한 목표값 설정 내용, 중요 운영 파라미터를 높은 시분해능으로 기록 및 시각화(오실로코프 기능)

    국가에 따라 이 제품 분류 및 기재 사항이 다를 수 있습니다. 기술, 사양, 가격 및 액세서리 제공 품목이 변경될 수 있습니다. 귀하의 국가에서 사용할 수 있는 기계에 대해서는 현지 담당자에게 문의하십시오.

    본 주제에 흥미를 가질 수 있습니다.

    TruPlasma DC 4040 (G2)
    임계적 PVD 프로세스와 PECVD 프로세스에 매우 적합합니다.

    TRUMPF Hüttinger의 TruPlasma DC 4000 시리즈(G2)는 펄스 가동 모드 뿐만 아니라 바이어스 가동 모드로 설정될 수 있습니다 - 말하자면 하나의 하우징에서 2개의 장비를 가동할 수 있게 됩니다!

    Services_Electronics_Technical_Support
    유일무이한 서비스

    발진기는 세세한 부분까지 규정한 유지보수 계약을 통해 최상의 가용성을 내며, 유지보수 및 운영 비용을 일목요연하게 파악할 수 있습니다.

    Services_Electronics_Training
    개별적인 고객 교육 프로그램이야 말로 당사의 강점입니다.

    숙련된 서비스 기술자가 참가자의 니즈에 적합하게 구성된 내용의 기본 지식을 전달합니다.

    접점

    Klaus Nock
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    팩스: +49 761 89711150
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    Flyer TruPlasma 4000 DC 시리즈
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