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TruPlasma 고펄스 시리즈 4000 발진기
TruPlasma 고펄스 시리즈 4000 발진기
플라즈마 여기
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Highpulse 시리즈 4000

우수한 코팅 결과를 위한 고밀도 플라즈마

HiPIMS 어플리케이션을 위한 최상의 선택

TruPlasma Highpulse 4000 시리즈의 발진기들은 직류 스퍼터링 발진기에 대한 대안으로서 기존의 마그네트론 시스템에서 별도의 변경 없이 사용될 수 있습니다.

우수한 층 특성

최대 8 MW의 펄스는 최고의 코팅 결과를 위한 초고밀도 플라즈마를 생성합니다.

무결점 코팅 및 부착

고출력 펄스 마그네트론 스퍼터링(HIPIMS)에서 우수한 공정 결과

다양한 출력 등급

펄스 출력은 1 - 8 MW, 평균 출력은 10 - 20 kW.

TruPlasma 고펄스 시리즈 4000 발진기 사용

HIPIMS-어플리케이션

TruPlasma 고펄스 4000 시리즈의 발진기는 HIPIMS-어플리케이션을 위한 최상의 선택입니다. HIPIMS는 펄스 PVD 스퍼터링 공정을 위한 최신 개발 기술로서 부식에 매우 강하고 마모가 적은 경질재 코팅을 제공합니다.

에칭 및 코팅 프로세스에 이상적으로 적합함

에칭, 표면 전처리 및 트렌치 필링

최대 8 MW의 피크 출력은 높은 이온 유동성과 함께 극한의 플라즈마 밀도를 생성합니다. 물론, HIPIMS-기술은 원칙적으로 아크 방전과 유사하여 물질 액적(droplets)을 생성하지 않습니다. TruPlasma 고펄스 4000 시리즈가 분극된 기판과 함께 사용되면, 반도체 어플리케이션에 사용될 수 있습니다(예: 에칭, 표면 전처리, 트렌치 필링)

대면적 코팅을 위해 이상적

대면적 코팅을 위해 이상적

플라즈마 프로세스로 대면적 코팅하는 것은 공정 전류 공급 요건이 매우 까다롭습니다. TruPlasma 고펄스 시리즈 4000 발진기는 각 프로세스에 따라 안정적 및 최적으로 조정된 전원 공급을 위한 모든 전제 조건을 제공하므로, 재현 가능한 우수한 성과를 달성할 수 있습니다.

TruPlasma 고펄스 시리즈 4000의 적용 범위: 고도 요건의 솔라셀 산업 프로세스

솔라셀 제조

광전 기술의 분야에는 적합한 프로세스 에너지를 위한 수많은 사용 분야가 존재합니다. TruPlasma 고펄스 4000 시리즈의 발진기는 각 프로세스에 따라 최적으로 조정될 수 있어서, 우수한 코팅 파라미터 및 높은 생산성을 제공합니다.

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TruPlasma 고펄스 시리즈 4000 발진기 사용

최적의 공정 성과

TruPlasma 고펄스 시리즈 4000 발진기는 연구 및 산업 프로세스에서 뛰어난 유연성을 제공하고, 무액적 스퍼터링 및 최소 표면 결함을 구현합니다. 실시간 전류 측정에 기반하여 매우 낮은 아크 에너지를 이용한 완전 디지털 아크 관리는 높은 층 품질 및 증착율을 구현합니다.

최적의 장비 연결을 가능하게 함: TruPlasma 고펄스 4000 시리즈의 발진기

유연한 사용 가능성

TruPlasma 고펄스 시리즈 4000 발진기는 기존의 캐소드 시스템 및 프로세스 조건에 따라 용이하게 조정될 수 있어서 장비 편입이 최적으로 이루어집니다.

다양한 옵션을 이용하여, TruPlasma 고펄스 시리즈 4000은 귀사 어플리케이션에 따라 최적으로 조정될 수 있습니다.

아크 관리 보상 라인(CLC)

매우 낮은 아크 에너지를 이용하는 완전 디지털 아크 관리를 통해 높은 층 품질 및 증착율을 구현합니다.

그래픽 운영 소프트웨어 PVD Power

PVD Power

운영 친화적 다언어 소프트웨어 PVD Power는 프로세스 품질 최적화 및 효과적 고장 처리를 위한 다양한 조작, 설정 및 진단 옵션을 제공합니다: 모든 공정 관련 파라미터의 실제값, 경고 및 경보 알림의 표시, 조작자에 의한 목표값 설정 내용, 중요 운영 파라미터를 높은 시분해능으로 기록 및 시각화 (오실로코프 기능)

국가에 따라 이 제품 분류 및 기재 사항이 다를 수 있습니다. 기술, 사양, 가격 및 액세서리 제공 품목이 변경될 수 있습니다. 귀하의 국가에서 사용할 수 있는 기계에 대해서는 현지 담당자에게 문의하십시오.

본 주제에 흥미를 가질 수 있습니다.

연락처

Klaus Nock
세일즈 플라즈마
팩스: +49 761 89711150
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TruPlasma Highpulse 시리즈 4000 브로셔
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