고도 요건의 플라즈마 프로세스를 위한 직류 발진기
폭 넓은 출력 스펙트럼 및 신속한 아크 인식을 통하여 TruPlasma DC 3000 시리즈발진기는 결함 없는 표면 및 높은 코팅율을 중요 물질을 포함하는 매우 고도 요건의 직류 스퍼터링 프로세스에서도 보장합니다. 이러한 발진기는 에어 쿨링을 이용하여 매우 콤팩트하며 각 설비에 문제 없이 통합될 수 있습니다.
2 kW - 120 kW, 이를 통해 매우 다양한 프로세스 및 어플리케이션에 적합합니다.
이 직류 발진기는 좁은 공간에서 많은 출력을 제공하며, 유효 수명이 매우 길고 고장에 덜 취약합니다.
매우 얇은 층들이 절대적으로 균일하게 적층될 수 있습니다.
또한 다양한 데이터 인터페이스 덕분에 기존 시스템에서도 마찬가지입니다.
경질재 코팅
DC 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 기능층들이 적층됨으로써, 부하가 심한 공작물의 표면 경도 및 마찰 점착력이 증대되고, 열적 및 화학적 안정성이 개선됩니다. TruPlasma DC 3000 시리즈 직류 발진기는 최적의 층 품질을 보장합니다.
메탈리제이션 (Metallization)
PVD 프로세스를 이용하여 매우 얇은 금속층들은 다양한 물질들 상에 적층될 수 있어서, 이러한 금속층들은 최상의 광학적 및 전기적 특성을 얻게 됩니다. 공정 파라미터에 따라 최적으로 조정된 전원 공급에 의해, 결함 없는 층들이 매우 균일하게 증착될 수 있습니다.
솔라셀 제조
전도성 물질(TCO)의 코팅은 솔라셀, 평면 스크린 및 터치스크린의 전기적 특성에 영향을 미칩니다. 이를 위해 아크 잔여 에너지가 낮은 TruPlasma DC 3000 시리즈 직류 발진기가 매우 적합합니다.
건축 유리
건축 유리의 대면적 코팅에서의 공정 전원 공급에 대하여 DC 스퍼터링의 수요가 특히 높습니다. TruPlasma DC 3000 시리즈 직류 발진기는 고품질의 코팅 결과를위한 이상적인 조건을 제공합니다.
고도 요건의 플라즈마 프로세스를 위해 최상으로 적합
낮은 잔여 에너지를 이용하는 신속한 아크 관리를 통하여, TruPlasma DC 3000 시리즈 직류 발진기는 DC 스퍼터링을 이용한 코팅을 위해 올바른 선택입니다. 이러한 발진기는 고도 요건의 프로세스에서도 최상으로 동작하여 매우 얇은 층들이 절대적으로 균일하게 적층될 수 있게 합니다.
중요 물질들에서도 높은 생산성
중요 물질의 DC 스퍼터링 시 높은 코팅율이 달성됩니다. 따라서 솔라셀의 코팅, 건축 유리 코팅, 및 경질재 소재의 장식적인 시각 효과적 층들의 적층 시 생산성이 최적화됩니다.
고장 및 유지 보수의 최소화
직류 발진기는 가혹한, 산업적 운용을 위해 설계되며 고장 및 유지 보수 없이 장시간 운용이 가능합니다. 에어 쿨링 장치는 매우 컴팩트하여 설비 내 필요 공간이 매우 작습니다.
다양한 옵션을 이용하여 직류 발진기를 귀사의 어플리케이션에 따라 최적으로 조정할 수 있습니다.
TruPlasma DC 3000 시리즈은 점화 보조 장치를 구비하고, 이는 최대 1500V의 높은 전압 수요를 갖는 어플리케이션에서 플라즈마 점화를 보조합니다.
TruPlasma DC 3000 시리즈의 아크 관리율은 8000 Arcs/s입니다.
아날로그 및 디지털 인터페이스는 기존 설비에 TruPlasma DC 3000 시리즈의 간단한 통합을 가능하게 합니다.
PVD Power
운영 친화적 다언어 소프트웨어 PVD Power는 프로세스 품질 최적화 및 효과적 고장 처리를 위한 다양한 조작, 컨피규레이션 및 진단 가능성을 제공합니다: 모든 관련 공정 파라미터의 실제값, 경고 및 경보 알림의 표시, 조작자에 의한 목표값 설정 내용, 중요 운영 파라미터를 높은 시분해능으로 기록 및 시각화(오실로코프 기능)
국가에 따라 이 제품 분류 및 기재 사항이 다를 수 있습니다. 기술, 사양, 가격 및 액세서리 제공 품목이 변경될 수 있습니다. 제품이 귀하의 국가에서 사용 가능한지에 대한 여부는 현지 담당자에게 문의하십시오.
