Voor het beschikbaar stellen van deze website en de goede werking ervan maken we gebruik van cookies. Indien we cookies ook voor andere doeleinden mogen gebruiken, klik dan hier. Informatie over het deactiveren van cookies en gegevensbescherming
Bias-generator met stabiel spanningsbeheer en snel vlamboogbeheer
Bias-generator met stabiel spanningsbeheer en snel vlamboogbeheer
Plasma-opwekkingen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias-serie 3000

Stabiel en veelzijdig

Universele generatoren voor uw sputterproces

De generatoren uit de TruPlasma Bias-serie 3000 ondersteunen met name optische en metaalcoatingtoepassingen die bijvoorbeeld worden gebruikt in de halfgeleidertechniek of bij hardmateriaalcoating. Bovendien zijn ze geschikt voor iedere toepassing met vergelijkbare eisen aan spanning en stroom.

Hoog- en laagspanningsmodus

1200 V voor substraat-etsprocessen,
300 V voor bias-ondersteunde coatingprocessen.

Snel vlamboogbeheer

Zeer lage vlamboogrestenergie, dus minder substraatbeschadigingen en stabielere processen.

Stabiele en reproduceerbare procesresultaten

Unieke precisie dankzij moderne DSP-techniek en FPGA-signaalanalyse.

Ideaal voor het coaten van grote oppervlakken

Decoratieve coating

Coatings op grote oppervlakken stellen in het plasmaproces bijzonder hoge eisen aan de processtroomtoevoer. De generatoren uit de TruPlasma Bias-serie 3000 bieden alle voorwaarden voor een stabiele en optimaal aan het betreffende proces aangepaste stroomtoevoer, zodat uitstekende, reproduceerbare resultaten bereikt worden.

Uitermate geschikt voor ets- en coatingprocessen

Halfgeleidertechniek

De generatoren uit de TruPlasma Bias-serie 3000 bewijzen zichzelf in alle kritische PVD- en PECVD-processen en bieden alle voorwaarden voor een stabiele en optimaal aan het betreffende proces aangepaste stroomtoevoer, zodat u uitstekende, reproduceerbare resultaten bereikt.

- / -
Generator uit de TruPlasma Bias-serie 3000 in gebruik

Garandeert aanhoudend goede procesvoorwaarden

Het speciale vermogens- en besturingsontwerp zorgt voor een gefundeerde spanningsstabiliteit, die beslissend is voor de laagkwaliteit en een stabiel proces is. De TruPlasma Bias Serie 3000 is ontworpen met DSP-techniek en FPGA-signaalanalyse en beschikt over een modern vlamboogbeheer dat unieke precisie en herhalingsnauwkeurigheid biedt. De indrukwekkende waarden van beide parameters zorgen voor een optimale processtabilisatie.

Gebruikelijk toepassingsgebied van de TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2): fabricage van slijtvaste lagen

Vereenvoudigde omgang met het systeem met slechts één apparaat voor meerdere processen

De TruPlasma Bias-serie 3000 beschikt over twee aparte spanningsmodi: een hoogspanningsmodus met max. 1200 volt en een laagspanningsmodus met max. 300 volt. De modi ondersteunen met name optische en metaalcoatingtoepassingen die bijvoorbeeld in de halfgeleidertechniek en bij hardmateriaalcoating worden gebruikt. Bovendien zijn ze geschikt voor iedere toepassing met vergelijkbare eisen aan spanning en stroom.

Typisch toepassingsgebied van de TruPlasma Bias Serie 3000: fabricage van zonnecellen

Optimale coatingkwaliteit door soepel lopende processen

De generatoren uit de TruPlasma Bias-serie 3000 zijn uitgerust met volledig digitaal vlamboogbeheer met zeer weinig vlamboogenergie en CompensateLine en maken daardoor hoge coatingkwaliteit en afscheidingssnelheden mogelijk. Daardoor vinden nog minder substraatbeschadigingen plaats; het proces en het eindproduct worden verbeterd.

Gebruiksvriendelijke software PVD Power

PVD Power

De gebruiksvriendelijke, meertalige software PVD Power biedt u allerlei bedienings-, configuratie- en diagnosemogelijkheden om de proceskwaliteit en het effectief verhelpen van fouten te optimaliseren: weergave van werkelijke waarden van alle relevante procesparameters en van waarschuwingen en alarmmeldingen, instelling van gewenste waarden door de bediener en registratie en visualisatie van belangrijke bedrijfsparameters met hoge resolutie in de tijd (oscilloscoopfunctie).

Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.

Deze onderwerpen vindt u misschien ook interessant

Contact

Klaus Nock
Verkoop plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Downloads

Brochure
Brochure TruPlasma Bias Serie 3000/4000
Brochure TruPlasma Bias Serie 3000/4000
pdf - 1 MB
Service & contact

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Netherlands . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Netherlands
United States

Or select a country or region.