Wij maken op deze website gebruik van cookies. Als u deze website blijft gebruiken, zonder de instellingen voor cookies te wijzigen, gaan wij ervan uit dat u akkoord gaat met het gebruik van cookies.
Bias-generator met stabiel spanningsbeheer en snel vlamboogbeheer
Bias-generator met stabiel spanningsbeheer en snel vlamboogbeheer
Plasma-opwekkingen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias-serie 3000

Stabiel en veelzijdig

    - / -
    • Overzicht
    • Toepassingen
    • Klantvoordeel
    • Software
    • Meer Minder
    Universele generatoren voor uw sputterproces

    De generatoren uit de TruPlasma Bias-serie 3000 ondersteunen met name optische en metaalcoatingtoepassingen die bijvoorbeeld worden gebruikt in de halfgeleidertechniek of bij hardmateriaalcoating. Bovendien zijn ze geschikt voor iedere toepassing met vergelijkbare eisen aan spanning en stroom.

    Hoog- en laagspanningsmodus

    1200 V voor substraat-etsprocessen,
    300 V voor bias-ondersteunde coatingprocessen.

    Snel vlamboogbeheer

    Zeer lage vlamboogrestenergie, dus minder substraatbeschadigingen en stabielere processen.

    Stabiele en reproduceerbare procesresultaten

    Unieke precisie dankzij moderne DSP-techniek en FPGA-signaalanalyse.

    Ideaal voor het coaten van grote oppervlakken

    Decoratieve coating

    Coatings op grote oppervlakken stellen in het plasmaproces bijzonder hoge eisen aan de processtroomtoevoer. De generatoren uit de TruPlasma Bias-serie 3000 bieden alle voorwaarden voor een stabiele en optimaal aan het betreffende proces aangepaste stroomtoevoer, zodat uitstekende, reproduceerbare resultaten bereikt worden.

    Uitermate geschikt voor ets- en coatingprocessen

    Halfgeleidertechniek

    De generatoren uit de TruPlasma Bias-serie 3000 bewijzen zichzelf in alle kritische PVD- en PECVD-processen en bieden alle voorwaarden voor een stabiele en optimaal aan het betreffende proces aangepaste stroomtoevoer, zodat u uitstekende, reproduceerbare resultaten bereikt.

    Generator uit de TruPlasma Bias-serie 3000 in gebruik

    Garandeert aanhoudend goede procesvoorwaarden

    Het speciale vermogens- en besturingsontwerp zorgt voor een gefundeerde spanningsstabiliteit, die beslissend is voor de laagkwaliteit en een stabiel proces is. De TruPlasma Bias Serie 3000 is ontworpen met DSP-techniek en FPGA-signaalanalyse en beschikt over een modern vlamboogbeheer dat unieke precisie en herhalingsnauwkeurigheid biedt. De indrukwekkende waarden van beide parameters zorgen voor een optimale processtabilisatie.

    Gebruikelijk toepassingsgebied van de TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2): fabricage van slijtvaste lagen

    Vereenvoudigde omgang met het systeem met slechts één apparaat voor meerdere processen

    De TruPlasma Bias-serie 3000 beschikt over twee aparte spanningsmodi: een hoogspanningsmodus met max. 1200 volt en een laagspanningsmodus met max. 300 volt. De modi ondersteunen met name optische en metaalcoatingtoepassingen die bijvoorbeeld in de halfgeleidertechniek en bij hardmateriaalcoating worden gebruikt. Bovendien zijn ze geschikt voor iedere toepassing met vergelijkbare eisen aan spanning en stroom.

    Typisch toepassingsgebied van de TruPlasma Bias Serie 3000: fabricage van zonnecellen

    Optimale coatingkwaliteit door soepel lopende processen

    De generatoren uit de TruPlasma Bias-serie 3000 zijn uitgerust met volledig digitaal vlamboogbeheer met zeer weinig vlamboogenergie en CompensateLine en maken daardoor hoge coatingkwaliteit en afscheidingssnelheden mogelijk. Daardoor vinden nog minder substraatbeschadigingen plaats; het proces en het eindproduct worden verbeterd.

    Gebruiksvriendelijke software PVD Power

    PVD Power

    De gebruiksvriendelijke, meertalige software PVD Power biedt u allerlei bedienings-, configuratie- en diagnosemogelijkheden om de proceskwaliteit en het effectief verhelpen van fouten te optimaliseren: weergave van werkelijke waarden van alle relevante procesparameters en van waarschuwingen en alarmmeldingen, instelling van gewenste waarden door de bediener en registratie en visualisatie van belangrijke bedrijfsparameters met hoge resolutie in de tijd (oscilloscoopfunctie).

    Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.

    Deze onderwerpen vindt u misschien ook interessant

    Bias Generator mit stabilem Spannungs- und schnellem Arc-Management
    Bewezen pulserende DC-bias-generatoren

    De generatoren van de TruPlasma Bias Serie 4000 ondersteunen vooral optische en metallische coatingtoepassingen die bijvoorbeeld in de halfgeleiderindustrie worden gebruikt.

    Services_Electronics_Technical_Support
    Service als geen ander

    Met een servicecontract op maat bereikt u de hoogste beschikbaarheid van generatoren met tegelijkertijd voorzienbare onderhouds- en bedrijfskosten.

    Services_Electronics_Training
    Individuele scholing voor klanten is een van onze sterkste punten

    Ervaren servicemonteurs verzorgen cursussen waarvan de inhoud op de deelnemers is afgestemd.

    Contact

    Klaus Nock
    Verkoop plasma
    Fax: +49 761 89711150
    E-mail

    Downloads

    Brochure
    Brochure TruPlasma Bias Serie 3000/4000
    Brochure TruPlasma Bias Serie 3000/4000
    pdf - 1 MB
    Service & contact