Voor het beschikbaar stellen van deze website en de goede werking ervan maken we gebruik van cookies. Indien we cookies ook voor andere doeleinden mogen gebruiken, klik dan hier. Informatie over het deactiveren van cookies en gegevensbescherming
Technologiebild DC gepulste Plasmageneratoren

DC-plasmageneratoren

DC-pulsplasmageneratoren van TRUMPF Hüttinger zijn uitermate geschikt voor het gebruik in talrijke reactieve processen. Pulserende gelijkstroom maakt het mogelijk om, in tegenstelling tot eenvoudige gelijkstroomgeneratoren, ook half- en niet-geleidende materialen, zoals oxiden, te bewerken. Pulsgeneratoren worden vooral gebruikt bij hardmateriaalcoating en in ets- en coatingprocessen bij de productie van halfgeleiders.

Generator uit de TruPlasma Highpulse-serie 4000

TruPlasma Highpulse-serie 4000

De generatoren uit de TruPlasma Highpulse-serie 4000 zijn de eerste keuze voor HIPIMS-toepassingen en leveren zeer corrosiebestendige en slijtvaste hardmateriaalcoatings. In combinatie met gepolariseerde substraten kan de TruPlasma Highpulse-serie 4000 ook halfgeleidertoepassingen bedienen, bijvoorbeeld etsen, voorbehandeling van oppervlakken en trench filling.

TruPlasma DC 4000 (G2)

TruPlasma DC-serie 4000 (G2)

De TruPlasma DC-serie 4000 (G2) verenigt de excellente vlamboogbehandeling van TRUMPF Hüttinger met de voordelen van DC-pulstechnologie. Zo bereikt u betere coatingresultaten met minder defecten bij een tegelijk hogere afscheidingssnelheid. Het resultaat zijn briljante oppervlakken met een groot productievermogen.

Pulsgenerator uit de TruPlasma DC-serie 4000

TruPlasma DC-serie 4000

De generatoren uit de TruPlasma DC-serie 4000 zijn de eerste keuze voor veeleisende plasmaprocessen. Ze leveren vol vermogen over een breed lastaanpassingsbereik. Zo kwalificeren ze zich voor hightech-sputtertoepassingen en extra standaard- of pulserende DC-plasmatoepassingen. Ze beschikken net als de niet-pulsgeneratoren over een uitstekend vlamboogbeheer.

Bias-generators met stabiel spanningsbeheer en snel Arc-beheer

TruPlasma Bias-serie 4000

De TruPlasma Bias-serie 4000 is een productfamilie met de modernste DC-Bias-pulsgeneratoren. Pulsfrequenties tot 100 kHz en continue bias-output zijn mogelijk.
Elk apparaat uit de serie beschikt over twee bedrijfsmodi: een hoogspanningsmodus met 1200 volt voor substraat-etsprocessen en een laagspanningsmodus met 300 volt voor bias-ondersteunde coatingprocessen die bijvoorbeeld in de halfgeleidertechniek of bij hardmateriaalcoating worden gebruikt.

Service & contact

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Netherlands . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Netherlands
United States

Or select a country or region.