Wij maken op deze website gebruik van cookies. Als u deze website blijft gebruiken, zonder de instellingen voor cookies te wijzigen, gaan wij ervan uit dat u akkoord gaat met het gebruik van cookies.
Technologiebild DC gepulste Plasmageneratoren

DC-plasmageneratoren

DC-pulsplasmageneratoren van TRUMPF Hüttinger zijn uitermate geschikt voor het gebruik in talrijke reactieve processen. Pulserende gelijkstroom maakt het mogelijk om, in tegenstelling tot eenvoudige gelijkstroomgeneratoren, ook half- en niet-geleidende materialen, zoals oxiden, te bewerken. Pulsgeneratoren worden vooral gebruikt bij hardmateriaalcoating en in ets- en coatingprocessen bij de productie van halfgeleiders.

TruPlasma DC 4000 (G2)

TruPlasma DC-serie 4000 (G2)

De TruPlasma DC-serie 4000 (G2) verenigt de excellente vlamboogbehandeling van TRUMPF Hüttinger met de voordelen van DC-pulstechnologie. Zo bereikt u betere coatingresultaten met minder defecten bij een tegelijk hogere afscheidingssnelheid. Het resultaat zijn briljante oppervlakken met een groot productievermogen.

Pulsgenerator uit de TruPlasma DC-serie 4000

TruPlasma DC-serie 4000

De generatoren uit de TruPlasma DC-serie 4000 zijn de eerste keuze voor veeleisende plasmaprocessen. Ze leveren vol vermogen over een breed lastaanpassingsbereik. Zo kwalificeren ze zich voor hightech-sputtertoepassingen en extra standaard- of pulserende DC-plasmatoepassingen. Ze beschikken net als de niet-pulsgeneratoren over een uitstekend vlamboogbeheer.

Generator uit de TruPlasma Highpulse-serie 4000

TruPlasma Highpulse-serie 4000

De generatoren uit de TruPlasma Highpulse-serie 4000 zijn de eerste keuze voor HIPIMS-toepassingen en leveren zeer corrosiebestendige en slijtvaste hardmateriaalcoatings. In combinatie met gepolariseerde substraten kan de TruPlasma Highpulse-serie 4000 ook halfgeleidertoepassingen bedienen, bijvoorbeeld etsen, voorbehandeling van oppervlakken en trench filling.

Bias-generators met stabiel spanningsbeheer en snel Arc-beheer

TruPlasma Bias-serie 4000

De TruPlasma Bias-serie 4000 is een productfamilie met de modernste DC-Bias-pulsgeneratoren. Pulsfrequenties tot 100 kHz en continue bias-output zijn mogelijk.
Elk apparaat uit de serie beschikt over twee bedrijfsmodi: een hoogspanningsmodus met 1200 volt voor substraat-etsprocessen en een laagspanningsmodus met 300 volt voor bias-ondersteunde coatingprocessen die bijvoorbeeld in de halfgeleidertechniek of bij hardmateriaalcoating worden gebruikt.

Service & contact