Wij maken op deze website gebruik van cookies. Als u deze website blijft gebruiken, zonder de instellingen voor cookies te wijzigen, gaan wij ervan uit dat u akkoord gaat met het gebruik van cookies.
Bias-generator met stabiel spanningsbeheer en snel vlamboogbeheer
Bias-generator met stabiel spanningsbeheer en snel vlamboogbeheer
Plasma-opwekkingen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias-serie 4000

Stabiel en veelzijdig

    - / -
    • Overzicht
    • Toepassingen
    • Technische gegevens
    • Klantvoordeel
    • Software
    • Meer Minder
    Universele generatoren voor uw sputterproces

    De TruPlasma Bias-serie 4000 is een productfamilie met de modernste DC-Bias-pulsgeneratoren. Pulsfrequenties tot 100 kHz en continue bias-output zijn mogelijk. De generatoren ondersteunen met name optische en metaalcoatingtoepassingen die bijvoorbeeld in de halfgeleidertechniek en bij hardmateriaalcoating worden gebruikt. Bovendien zijn ze geschikt voor iedere toepassing met vergelijkbare eisen aan spanning en stroom.

    Hoog- en laagspanningsmodus

    1200 V voor substraat-etsprocessen,
    300 V voor bias-ondersteunde coatingprocessen.

    Snel vlamboogbeheer

    Daardoor beduidend minder druppelafscheidingen en substraatbeschadigingen.

    Stabiele en reproduceerbare procesresultaten

    Uitstekend vlamboogbeheer dankzij moderne DSP-techniek en FPGA-signaalanalyse.

    Gebruikelijk toepassingsgebied van de TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2): fabricage van slijtvaste lagen

    Fabricage van slijtbestendige lagen

    De generatoren uit de TruPlasma Bias-serie 4000 zorgen voor een stabiel plasmaproces en dus voor een optimale coatingkwaliteit.

    Ideaal voor het coaten van grote oppervlakken

    Coaten van grote oppervlakken

    Coatings op grote oppervlakken stellen in het plasmaproces bijzonder hoge eisen aan de processtroomtoevoer. De generatoren uit de TruPlasma Bias-serie 4000 bieden alle voorwaarden voor een stabiele en optimaal aan het betreffende proces aangepaste stroomtoevoer, zodat uitstekende, reproduceerbare resultaten bereikt worden.

    Generator uit de TruPlasma Bias-serie 4000

    Fabricage van zonnecellen

    De generatoren uit de TruPlasma Bias-serie 4000 bewijzen zichzelf in alle kritische PVD- en PECVD-processen en bieden alle voorwaarden voor een stabiele en optimaal aan het betreffende proces aangepaste stroomtoevoer, zodat u uitstekende, reproduceerbare resultaten bereikt.

    TruPlasma Bias 4012
    TruPlasma Bias 4018
    TruPlasma Bias 4026
    Uitgang      
    Nominaal vermogen 12 kW 18 kW 26 kW
    Maximale uitgangsstroom 40 A eff 60 A eff 87 A eff
    Maximale uitgangsspanning 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
    Nominale bedrijfsfrequentie 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
    Arc-parameter      
    Maximale Arc-rate 50 1/s 50 1/s 50 1/s
    Arc-behandeltijd <0,5 µs <0,5 µs <0,5 µs
    Netaansluitgegevens      
    Netspanning 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V
    Netfrequentie 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
    Communicatie-interfaces      
    Analoog/digitaal Ja Ja Ja
    RS 232/RS 485 - Ja -
    PROFIBUS Ja - Ja
    EtherCAT Nee Nee Nee
    Behuizing      
    Gewicht 70 kg 70 kg 71 kg
    Beschermingsgraad IP IP 20 IP 20 IP 20
    Koelingsvereisten      
    Koelmedium Lucht Lucht Lucht
    Temperatuur koelmiddel 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
    Algemeen      
    Totaal rendement 90 % 90 % 90 %
    Certificaten/standaards CE CE CE
    Omgevingsvoorwaarden      
    Buitentemperatuur 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
    Luchtvochtigheid 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Barometrische druk 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa
    PDF <1MB
    Technisch informatieblad

    De technische gegevens van alle productvarianten als download.

    Architecturaal glas

    Garandeert aanhoudend goede procesvoorwaarden

    Het speciale vermogens- en besturingsontwerp zorgt voor een gefundeerde spanningsstabiliteit, die beslissend is voor de laagkwaliteit en een stabiel proces is. De TruPlasma Bias Serie 4000 is ontworpen met DSP-techniek en FPGA-signaalanalyse en beschikt over een modern vlamboogbeheer dat unieke precisie en herhalingsnauwkeurigheid biedt. De indrukwekkende waarden van beide parameters zorgen voor een optimale processtabilisatie.

    Harde coating

    Vereenvoudigde omgang met het systeem met slechts één apparaat voor meerdere processen

    De TruPlasma Bias-serie 4000 beschikt over twee aparte spanningsmodi: een hoogspanningsmodus met tot 1200 volt en een laagspanningsmodus met tot 300 volt. De modi ondersteunen met name optische en metaalachtige coatingtoepassingen die bijvoorbeeld bij de halfgeleidertechniek en de hardmateriaalcoating worden gebruikt. Bovendien zijn ze geschikt voor iedere toepassing met vergelijkbare eisen aan spanning en stroom.

    Arc-beheer

    Optimale coatingkwaliteit door soepel lopende processen

    De generatoren uit de TruPlasma Bias-serie 4000 zijn uitgerust met volledig digitaal vlamboogbeheer met zeer weinig vlamboogenergie en CompensateLine en maken daardoor hoge coatingkwaliteit en afscheidingssnelheden mogelijk. Daardoor vinden nog minder druppelafscheidingen en substraatbeschadigingen plaats; proces en product worden verbeterd.

    Gebruiksvriendelijke software PVD Power

    PVD Power

    De gebruiksvriendelijke, meertalige software PVD Power biedt u allerlei bedienings-, configuratie- en diagnosemogelijkheden om de proceskwaliteit en het effectief verhelpen van fouten te optimaliseren: weergave van werkelijke waarden van alle relevante procesparameters en van waarschuwingen en alarmmeldingen, instelling van gewenste waarden door de bediener en registratie en visualisatie van belangrijke bedrijfsparameters met hoge resolutie in de tijd (oscilloscoopfunctie).

    Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.

    Deze onderwerpen vindt u misschien ook interessant

    Services_Electronics_Technical_Support
    Service als geen ander

    Met een servicecontract op maat bereikt u de hoogste beschikbaarheid van generatoren met tegelijkertijd voorzienbare onderhouds- en bedrijfskosten.

    Bias Generator mit stabilem Spannungs- und schnellem Arc-Management
    Geoptimaliseerde pulserende processen

    De generatoren van de TruPlasma Bias Serie 3000 met hun twee bedrijfsmodi en het volledig digitale vlamboogbeheer maken hoge coatingkwaliteiten en afscheidingssnelheden mogelijk.

    Services_Electronics_Training
    Individuele scholing voor klanten is een van onze sterkste punten

    Ervaren servicemonteurs verzorgen cursussen waarvan de inhoud op de deelnemers is afgestemd.

    Contact

    Klaus Nock
    Verkoop plasma
    Fax: +49 761 89711150
    E-mail

    Downloads

    Brochure
    Brochure TruPlasma Bias Serie 3000/4000
    Brochure TruPlasma Bias Serie 3000/4000
    pdf - 1 MB
    Service & contact