Voor het beschikbaar stellen van deze website en de goede werking ervan maken we gebruik van cookies. Indien we cookies ook voor andere doeleinden mogen gebruiken, klik dan hier. Informatie over het deactiveren van cookies en gegevensbescherming
Bias-generator met stabiel spanningsbeheer en snel vlamboogbeheer
Bias-generator met stabiel spanningsbeheer en snel vlamboogbeheer
Plasma-opwekkingen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias-serie 4000

Stabiel en veelzijdig

Universele generatoren voor uw sputterproces

De TruPlasma Bias-serie 4000 is een productfamilie met de modernste DC-Bias-pulsgeneratoren. Pulsfrequenties tot 100 kHz en continue bias-output zijn mogelijk. De generatoren ondersteunen met name optische en metaalcoatingtoepassingen die bijvoorbeeld in de halfgeleidertechniek en bij hardmateriaalcoating worden gebruikt. Bovendien zijn ze geschikt voor iedere toepassing met vergelijkbare eisen aan spanning en stroom.

Hoog- en laagspanningsmodus

1200 V voor substraat-etsprocessen,
300 V voor bias-ondersteunde coatingprocessen.

Snel vlamboogbeheer

Daardoor beduidend minder druppelafscheidingen en substraatbeschadigingen.

Stabiele en reproduceerbare procesresultaten

Uitstekend vlamboogbeheer dankzij moderne DSP-techniek en FPGA-signaalanalyse.

Gebruikelijk toepassingsgebied van de TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2): fabricage van slijtvaste lagen

Fabricage van slijtbestendige lagen

De generatoren uit de TruPlasma Bias-serie 4000 zorgen voor een stabiel plasmaproces en dus voor een optimale coatingkwaliteit.

Ideaal voor het coaten van grote oppervlakken

Coaten van grote oppervlakken

Coatings op grote oppervlakken stellen in het plasmaproces bijzonder hoge eisen aan de processtroomtoevoer. De generatoren uit de TruPlasma Bias-serie 4000 bieden alle voorwaarden voor een stabiele en optimaal aan het betreffende proces aangepaste stroomtoevoer, zodat uitstekende, reproduceerbare resultaten bereikt worden.

Generator uit de TruPlasma Bias-serie 4000

Fabricage van zonnecellen

De generatoren uit de TruPlasma Bias-serie 4000 bewijzen zichzelf in alle kritische PVD- en PECVD-processen en bieden alle voorwaarden voor een stabiele en optimaal aan het betreffende proces aangepaste stroomtoevoer, zodat u uitstekende, reproduceerbare resultaten bereikt.

- / -
TruPlasma Bias 4012
TruPlasma Bias 4018
TruPlasma Bias 4026
Uitgang      
Nominaal vermogen 12 kW 18 kW 26 kW
Maximale uitgangsstroom 40 A eff 60 A eff 87 A eff
Maximale uitgangsspanning 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
Nominale bedrijfsfrequentie 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
Arc-parameter      
Maximale Arc-rate 50 1/s 50 1/s 50 1/s
Arc-behandeltijd <0,5 µs <0,5 µs <0,5 µs
Netaansluitgegevens      
Netspanning 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V
Netfrequentie 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Communicatie-interfaces      
Analoog/digitaal Ja Ja Ja
RS 232/RS 485 - Ja -
PROFIBUS Ja - Ja
EtherCAT Nee Nee Nee
Behuizing      
Gewicht 70 kg 70 kg 71 kg
Beschermingsgraad IP IP 20 IP 20 IP 20
Koelingsvereisten      
Koelmedium Lucht Lucht Lucht
Temperatuur koelmiddel 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
Algemeen      
Totaal rendement 90 % 90 % 90 %
Certificaten/standaards CE CE CE
Omgevingsvoorwaarden      
Buitentemperatuur 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
Luchtvochtigheid 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometrische druk 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa
PDF <1MB
Technisch informatieblad

De technische gegevens van alle productvarianten als download.

Architecturaal glas

Garandeert aanhoudend goede procesvoorwaarden

Het speciale vermogens- en besturingsontwerp zorgt voor een gefundeerde spanningsstabiliteit, die beslissend is voor de laagkwaliteit en een stabiel proces is. De TruPlasma Bias Serie 4000 is ontworpen met DSP-techniek en FPGA-signaalanalyse en beschikt over een modern vlamboogbeheer dat unieke precisie en herhalingsnauwkeurigheid biedt. De indrukwekkende waarden van beide parameters zorgen voor een optimale processtabilisatie.

Harde coating

Vereenvoudigde omgang met het systeem met slechts één apparaat voor meerdere processen

De TruPlasma Bias-serie 4000 beschikt over twee aparte spanningsmodi: een hoogspanningsmodus met tot 1200 volt en een laagspanningsmodus met tot 300 volt. De modi ondersteunen met name optische en metaalachtige coatingtoepassingen die bijvoorbeeld bij de halfgeleidertechniek en de hardmateriaalcoating worden gebruikt. Bovendien zijn ze geschikt voor iedere toepassing met vergelijkbare eisen aan spanning en stroom.

Arc-beheer

Optimale coatingkwaliteit door soepel lopende processen

De generatoren uit de TruPlasma Bias-serie 4000 zijn uitgerust met volledig digitaal vlamboogbeheer met zeer weinig vlamboogenergie en CompensateLine en maken daardoor hoge coatingkwaliteit en afscheidingssnelheden mogelijk. Daardoor vinden nog minder druppelafscheidingen en substraatbeschadigingen plaats; proces en product worden verbeterd.

Gebruiksvriendelijke software PVD Power

PVD Power

De gebruiksvriendelijke, meertalige software PVD Power biedt u allerlei bedienings-, configuratie- en diagnosemogelijkheden om de proceskwaliteit en het effectief verhelpen van fouten te optimaliseren: weergave van werkelijke waarden van alle relevante procesparameters en van waarschuwingen en alarmmeldingen, instelling van gewenste waarden door de bediener en registratie en visualisatie van belangrijke bedrijfsparameters met hoge resolutie in de tijd (oscilloscoopfunctie).

Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.

Deze onderwerpen vindt u misschien ook interessant

Contact

Klaus Nock
Verkoop plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Downloads

Brochure
Brochure TruPlasma Bias Serie 3000/4000
Brochure TruPlasma Bias Serie 3000/4000
pdf - 1 MB
Service & contact

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Netherlands . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Netherlands
United States

Or select a country or region.