Voor het beschikbaar stellen van deze website en de goede werking ervan maken we gebruik van cookies. Indien we cookies ook voor andere doeleinden mogen gebruiken, klik dan hier. Informatie over het deactiveren van cookies en gegevensbescherming
TruPlasma DC 4040 (G2)
TruPlasma DC 4040 (G2)
Plasma-opwekkingen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma DC-serie 4000 (G2)

Pulserende processen voor briljante oppervlakken

Soevereine handling van veeleisende processen

De TruPlasma DC-serie 4000 (G2) is speciaal ontwikkeld voor reactief DC-sputteren met moeilijke materialen. De met pulserende gelijkstroom werkende generatoren hebben zichzelf met name bewezen in kritische PVD- en PECVD-processen, waarbij tegelijkertijd maximale coatingkwaliteit en productiviteit verlangd worden. De compacte DC-processtroomtoevoer is zowel te gebruiken bij pulserend als bij biasbedrijf, zo hebt u twee apparaten in één behuizing!

Hoge coatingkwaliteit en productiviteit

Digitale signaalverwerking garandeert stabiele processen en minimaal tijdverlies door vlambogen.

De beste resultaten, ook bij kritische processen

Snelle vlamboogbehandeling in combinatie met DC-pulstechnologie minimaliseert substraatbeschadigingen.

Eenvoudige procesaanpassing

Dankzij een breed frequentiespectrum en aanpasbare sperspanning.

Compacte en robuuste bouwwijze

De geïntegreerde waterkoeling bespaart ruimte en reduceert onderhoudstijden.

Hardmateriaalcoating

Hardmateriaalcoating

Door het aanbrengen van een functionele coating krijgen veeleisende werkstukken een verhoogde randhardheid en statische frictie en een betere thermische en chemische stabiliteit. De pulsgeneratoren uit de TruPlasma DC-serie 4000 (G2) zorgen voor een stabiel plasmaproces en dus voor een optimale coatingkwaliteit.

Bijzonder geschikt voor het aanbrengen van zeer dunne metaallagen

Metalisering

Door middel van een PVD-proces kunnen heel dunne metalen coatings worden aangebracht op verschillende materialen, om ze zo optimale optische en elektrische eigenschappen te geven. Een optimaal aan de procesparameters aangepaste stroomtoevoer maakt afscheiding van absoluut homogene, defectloze coatings mogelijk.

Productie van zonnecellen

Productie van zonnecellen

Ter beïnvloeding van hun elektrische eigenschappen worden zonnecellen, maar ook flatscreens en touchscreens, gecoat met elektrisch geleidend materiaal (TCO). Door hun zeer lage vlamboogenergie zijn de pulsgeneratoren uit de TruPlasma DC-serie 4000 (G2) hiervoor perfect geschikt.

Architecturaal glas

Architecturaal glas

Het coaten van grote oppervlakken architecturaal glas in een PVD-plasmaproces stelt zeer hoge eisen aan de processtroomtoevoer. De pulsgeneratoren uit de TruPlasma DC-serie 4000 (G2) bieden de ideale voorwaarden voor een hoogwaardig coatingresultaat.

- / -
TruPlasma DC 4010 (G2)
TruPlasma DC 4020 (G2)
TruPlasma DC 4040 (G2)
Uitgang      
Nominaal vermogen 10 kW 20 kW 40 kW
Maximale uitgangsstroom 33 A eff 67 A eff 133 A eff
Maximale uitgangsspanning 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
Nominale bedrijfsfrequentie 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
Arc-parameter      
Maximale Arc-rate 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s
Arc-energie <0,3 mJ/kW <0,3 mJ/kW <0,3 mJ/kW
Arc-behandeltijd <0,1 µs <0,1 µs <0,1 µs
Ontstekingsspanningen      
met hulpontsteking 1750 V 1750 V 1750 V
zonder hulpontsteking 1250 V 1250 V 1250 V
Netaansluitgegevens      
Netspanning 3x 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V
Netfrequentie 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Communicatie-interfaces      
Analoog/digitaal Ja Ja Ja
RS 232/RS 485 Ja Ja Ja
PROFIBUS Ja Ja Ja
EtherCAT Nee Nee Nee
DeviceNet Ja Ja Ja
Behuizing      
Gewicht 65 kg 75 kg 150 kg
Beschermingsgraad IP 40 40 40
Koelingsvereisten      
Koelmedium Water Water Water
Max. waterdruk 7 bar 7 bar 7 bar
Min. drukverschil 3 bar 3 bar 3 bar
Min. doorstroomhoeveelheid 8 l/min 8 l/min 16 l/min
Temperatuur koelmiddel 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C
DC aansluitgegevens      
Aantal terminals 3 3 3
Nominale stroom/terminal 25 A 45 A 85 A
Algemeen      
Totaal rendement 90 % 90 % 90 %
Certificaten/standaards CE CE CE
Omgevingsvoorwaarden      
Buitentemperatuur 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
Luchtvochtigheid 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometrische druk 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Technisch informatieblad

De technische gegevens van alle productvarianten als download.

Arc-beheer

Hoge coatingkwaliteit en productiviteit

De combinatie van snelle vlamboogbehandeling en DC-pulstechnologie leidt tot een lagere druppelratio en minder oppervlaktedefecten. Procesonderbrekingen door vlambogen worden geminimaliseerd, de afscheidingssnelheid wordt aanzienlijk verhoogd.

Geoptimaliseerde bewakingshulpmiddelen ter ondersteuning van uw processen

Flexibele aanpassing aan het proces

De pulsfrequentie kan in een breed bereik worden aangepast, bovendien is een biasbedrijf van de DC-generator mogelijk. Zo kunt u hetzelfde apparaat gebruiken voor veel verschillende toepassingen. Geperfectioneerde monitoringhulpmiddelen ondersteunen u bij de optimalisatie van uw proces.

Verschillende opties maken een optimale aanpassing van de DC-pulsgenerator aan uw toepassing mogelijk.

Parallel bedrijf en synchronisatie

Meerdere gelijkstroomgeneratoren uit de TruPlasma DC-serie 4000 (G2) kunnen synchroon worden gebruikt. In deze modus is het mogelijk de vlamboogherkenning van meerdere generatoren die op verschillende targets zijn uitgelijnd te synchroniseren. Ook de pulsmodus kan worden gesynchroniseerd.

Gebruiksvriendelijke software PVD Power

PVD Power

De gebruiksvriendelijke, meertalige software PVD Power biedt u allerlei bedienings-, configuratie- en diagnosemogelijkheden om de proceskwaliteit en het effectief verhelpen van fouten te optimaliseren: weergave van werkelijke waarden van alle relevante procesparameters en van waarschuwingen en alarmmeldingen, instelling van gewenste waarden door de bediener en registratie en visualisatie van belangrijke bedrijfsparameters met hoge resolutie in de tijd (oscilloscoopfunctie).

Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.

Deze onderwerpen vindt u misschien ook interessant

Contact

Klaus Nock
Verkoop plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Downloads

Folder TruPlasma DC Serie 4000 (G2)
Folder TruPlasma DC Serie 4000 (G2)
pdf - 258 KB
Service & contact

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Netherlands . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Netherlands
United States

Or select a country or region.