Wij maken op deze website gebruik van cookies. Als u deze website blijft gebruiken, zonder de instellingen voor cookies te wijzigen, gaan wij ervan uit dat u akkoord gaat met het gebruik van cookies.
Pulsgenerator uit de TruPlasma DC-serie 4000
Pulsgenerator uit de TruPlasma DC-serie 4000
Plasma-opwekkingen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma DC-serie 4000

Glashelder: pulserende processen voor onberispelijke oppervlakken

De eerste keuze voor veeleisende plasmaprocessen

De generatoren uit de TruPlasma DC-serie 4000 zijn de eerste keuze voor veeleisende plasmaprocessen. Ze leveren vol vermogen over een breed lastaanpassingsbereik. Zo kwalificeren ze zich voor hightech-sputtertoepassingen en extra standaard- of pulserende DC-plasmatoepassingen. Ze beschikken net als de niet-pulsgeneratoren over een uitstekend vlamboogbeheer.

Stabiele processen voor consistente resultaten

Dankzij uiterst moderne DSP-regeltechniek worden tijdverliezen door vlambogen geminimaliseerd.

Excellent vlamboogbeheer

Betere resultaten door minder druppelafscheidingen en substraatbeschadigingen.

Eén generator voor veel processen

Flexibel gebruik dankzij breed vermogensbereik en pulsfrequenties van max. 100 kHz.

Pulsgenerator uit de TruPlasma DC-serie 4000

Reactief sputteren van moeilijke materialen

De pulsgeneratoren uit de TruPlasma DC-serie 4000 zijn speciaal ontwikkeld voor reactief sputteren van moeilijke materialen. De generatoren bewijzen zich in alle kritische PVD- en PECVD-processen, bijvoorbeeld bij de productie van zonnecellen en halfgeleiders of bij hardmateriaalcoatings.

Bijzonder geschikt voor het coaten van metalen werkstukken

Veeleisende plasmaprocessen

De generatoren uit de TruPlasma DC-serie 4000 zijn de eerste keuze voor veeleisende plasmaprocessen. Ze leveren vol vermogen over een breed lastaanpassingsbereik. Zo kwalificeren ze zich voor hightech-sputtertoepassingen en extra standaard- of pulserende DC-plasmatoepassingen. Ze beschikken net als de niet-pulsgeneratoren over een uitstekend vlamboogbeheer.

- / -
Arc-beheer

Hoge efficiëntie

Het volledig digitale vlamboogbeheer met zeer lage vlamboogenergie maakt hoge coatingkwaliteit en afscheidingssnelheden mogelijk. Daardoor vinden nog minder druppelafscheidingen en substraatbeschadigingen plaats. Samen met de zeer lage vlamboogrestenergie verbetert dit direct het proces en het eindproduct. Een hoge productiviteit wordt geborgd door stabiele en constante proceslooptijden met zeer korte procesonderbrekingen.

Pulsgenerator uit de TruPlasma DC-serie 4000

Gebruiksvriendelijke procesaanpassing

De generatoren uit de TruPlasma DC-serie 4000 beschikken over gesynchroniseerd vlamboogbeheer, pulsfrequentie en faseverschuiving. De frequentie- en pulsparameters zijn variabel aanpasbaar, zo kunnen allerlei processen worden bediend met één apparaat. Ook is synchroon pulsen met meerdere TruPlasma DC 4000-generatoren mogelijk.

Gebruiksvriendelijke software PVD Power

PVD Power

De gebruiksvriendelijke, meertalige software PVD Power biedt u allerlei bedienings-, configuratie- en diagnosemogelijkheden om de proceskwaliteit en het effectief verhelpen van fouten te optimaliseren: weergave van werkelijke waarden van alle relevante procesparameters en van waarschuwingen en alarmmeldingen, instelling van gewenste waarden door de bediener en registratie en visualisatie van belangrijke bedrijfsparameters met hoge resolutie in de tijd (oscilloscoopfunctie).

Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.

Deze onderwerpen vindt u misschien ook interessant

TruPlasma DC 4040 (G2)
Ideaal voor kritieke PVD- en PECVD-processen

De TruPlasma DC Serie 4000 (G2) van TRUMPF Hüttinger kan in zowel pulserend als biasbedrijf gebruikt worden; het zijn eigenlijk 2 apparaten in 1 behuizing!

Services_Electronics_Technical_Support
Service als geen ander

Met een servicecontract op maat bereikt u de hoogste beschikbaarheid van generatoren met tegelijkertijd voorzienbare onderhouds- en bedrijfskosten.

Services_Electronics_Training
Individuele scholing voor klanten is een van onze sterkste punten

Ervaren servicemonteurs verzorgen cursussen waarvan de inhoud op de deelnemers is afgestemd.

Contact

Klaus Nock
Verkoop plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Downloads

Folder TruPlasma DC Serie 4000
Folder TruPlasma DC Serie 4000
pdf - 243 KB
Service & contact