Wij maken op deze website gebruik van cookies. Als u deze website blijft gebruiken, zonder de instellingen voor cookies te wijzigen, gaan wij ervan uit dat u akkoord gaat met het gebruik van cookies.
RF-systeemoplossing: aanpassingsnetwerk voor optimale processtabiliteit
RF-systeemoplossing: aanpassingsnetwerk voor optimale processtabiliteit
Plasma-opwekkingen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

Intelligent matchen door realtimemeting

RF-systeemoplossing uit één stuk

De nieuwe aanpassingsnetwerken van de TruPlasma Match-serie 1000 (G2/13) zijn de ideale aanvulling op HF-generatoren van TRUMPF Hüttinger. Dankzij het intelligente matching-algoritme en het digitale besturingsplatform voor de procesbewaking ontstaat een totaaloplossing waarbij alle componenten optimaal samenwerken – het TRUMPF RF-systeem.

Intelligent matching-algoritme

Snelle, stabiele en reproduceerbare impedantieaanpassing van 50 ohm, zelfs bij kritische processen.

Optimaal samenspel van het hele systeem

Geavanceerde software en verbeterde communicatie tussen generator en aanpassingsnetwerk.

Realtimemeting van het HF-vermogen

Het systeem houdt elke impedantieverandering van het aanpassingsnetwerk en de belasting direct bij.

Gesloten regelcircuit

Optimale bewaking van de procesparameters en vroegtijdige vlamboogherkenning.

Gebruiksvriendelijke procescontrole

Grafische gebruikersinterface en effectieve tools (Smith-diagram, realtime-oscilloscoop).

RF-systeemoplossing: aanpassingsnetwerk voor optimale processtabiliteit

Productie van halfgeleiders, zonnecellen en flatscreens

Bij de productie van halfgeleiders, zonnecellen en flatscreens zijn stabiele plasmaprocessen essentieel. In combinatie met de TRUMPF Hüttinger HF-generatoren bieden de aanpassingsnetwerken van de TruPlasma Match-serie 1000 (G2/13) een totaaloplossing voor optimale processtabiliteit en productiviteit.

Ondersteuning bij hardmateriaalcoating: ondersteuningen van de TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

Aanbrengen van hardmateriaal- en slijtvaste coatings

Door aanbrenging van een functionele coating krijgen veeleisende werkstukken een verhoogde mechanische hardheid en een betere thermische en chemische stabiliteit. De aanpassingsnetwerken van de TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) zorgen in combinatie met een HF-generator van TRUMPF Hüttinger voor een perfecte coatingkwaliteit.

Uitermate geschikt voor het coaten van grote oppervlakken: aanpassingsnetwerken van de TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

Afnemen en coaten van oppervlakken

De aanpassingsnetwerken van de TruPlasma Match-serie 1000 (G2/13) kunnen in alle gebruikelijke plasmaprocessen voor het coaten of afnemen van oppervlakken worden gebruikt, bijvoorbeeld bij plasma-etsen, reactief ionenetsen, ALD, PECVD, RF-sputtering of fotolak-plasma-etsen. In combinatie met een HF-generator van TRUMPF Hüttinger worden zo optimale procesresultaten bereikt.

- / -
RF uitgang        
Uitgangsvermogen 6 kW 12 kW 24 kW 3 kW
Nominaal vermogen 6 kW 12 kW 24 kW 3 kW
Uitgangsfrequentie 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
Netaansluitgegevens        
Netspanning (±10%) 23,5 V - 24,5 V (±10%) 87 V - 264 V (±10%) 87 V - 264 V (±10%) 23,5 V - 24,5 V
Netfrequentie 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz 50 Hz - 60 Hz
Communicatie-interfaces        
Sync interfaces Ja Ja Ja Ja
Analoog/digitaal Ja Ja Ja Ja
RS 232/RS 485 Ja Ja Ja Ja
PROFIBUS Ja Ja Ja Ja
EtherCAT Ja Ja Ja Ja
DeviceNet Nee Nee Nee Nee
Behuizing        
Gewicht 8 kg 27 kg 30 kg 15 kg
Beschermingsgraad IP 21 21 21 21
Koelingsvereisten        
Max. waterdruk - 6 bar 6 bar -
Min. drukverschil - 1,5 bar 1,5 bar -
Min. doorstroomhoeveelheid - 3,5 l/min 5 l/min -
Temperatuur koelmiddel - 10 °C - 30 °C 1 10 °C - 30 °C 1 -
Algemeen        
Certificaten/standaards CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47
Omgevingsvoorwaarden        
Buitentemperatuur 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C
Luchtvochtigheid 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 %
Barometrische druk 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa
PDF <1MB
Technisch informatieblad

De technische gegevens van alle productvarianten als download.

Garandeert altijd de volledige vermogensafgifte van de HF-generator

Altijd perfecte procescontrole

Het aanpassingsnetwerk zorgt te allen tijde voor een snelle en directe impedantieaanpassing aan 50 Ohm. Zo is altijd de volledige prestatieafgifte van de HF-generator in het proces gegarandeerd. De naadloze communicatie tussen aanpassingsnetwerk en generator maakt een optimale procesbewaking en vroegtijdige vlamboogherkenning mogelijk.

Gebruiksvriendelijke software TruControl Power

Alle parameters in één oogopslag

De realtimemeting van het HF-in- en -uitgangsvermogen signaliseert dynamische impedantiewijzigingen, koelsensoren maken een betrouwbare voorspelling van het energieverlies mogelijk. Dankzij de grafische besturingssoftware met complexe weergaveopties (Smith-diagram, realtime-oscilloscoop) hebt u altijd zicht op alle relevante procesparameters.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

De SystemPort maakt een gesloten regelcircuit mogelijk door het meten van het RF-signaal rechtstreeks op de in- en uitgang van het aanpassingsnetwerk. Voor de RF-generator zijn alle meetwaarden beschikbaar. Daardoor kunnen procesparameters beter worden bewaakt, het aanpassingsnetwerk worden beschermd en een tijdige vlamboogherkenning worden gewaarborgd. Het volledige RF-systeem kan daardoor via een enkele generatorinterface worden bediend.

Verschillende opties maken optimale aanpassing van het TRUMPF RF-systeem aan uw toepassing mogelijk.

HF-ampèremeting

Uiterst nauwkeurige AC-ampèremeting voor het detecteren van plasma-afwijkingen, geplaatst in het aanpassingsnetwerk dicht bij het proces, direct bij de kamer.

Arc-beheer

Het doordachte vlamboogbeheer is de ideale module voor de beste controle van het plasmaproces. Een gerichte vlamboogherkenning garandeert de beste productiviteit en beschermt tegelijkertijd het product en de installatie.

Interfaces

Als optionele interfaces zijn analoog/digitaal, PROFIBUS en EtherCAT beschikbaar. Standaard zijn ethernet, SystemPort en RS232/485.

Gebruiksvriendelijke software TruControl Power

TruControl Power

De gebruikersvriendelijke regelsoftware TruControl Power maakt een comfortabele inbedrijfname en veilige bewaking van de HF-generator of van het totale TRUMPF RF-systeem in het lopende proces mogelijk.

Gebruiksvriendelijke software TruControl Power

Grafische besturingssoftware

Complexe grafische weergaves maken een uitgebreide bewaking van alle relevante procesparameters mogelijk. Last- en aanpassingsnetwerkimpedantie worden met behulp van een Smith-diagram gevisualiseerd, de HF-in- en -uitgangsvermogens inclusief frequentie- en fasenlengte met behulp van een realtime-oscilloscoop.

Het TRUMPF RF-systeem, dat bestaat uit HF-generator en aanpassingsnetwerk, vormt een perfect op elkaar afgestemd totaalsysteem voor de beste procesresultaten.

Gebruiksvriendelijke software TruControl Power
Grafische besturingssoftware

Complexe grafische weergaven maken een uitgebreide bewaking van alle relevante procesparameters mogelijk. Last- en aanpassingsnetwerkimpedantie worden met behulp van een Smith-diagram gevisualiseerd, het HF-in- en -uitgangsvermogen inclusief frequentie en fasehoek met behulp van een realtime-oscilloscoop.

Masteroscillator voor stabilisatie van kritische synchrone plasmaprocessen
Masteroscillators

Met behulp van masteroscillatoren kunnen kritische synchrone plasmaprocessen worden gestabiliseerd en geoptimaliseerd. Een geïntegreerde digitale frequentie- en fasesynthesizer zorgt voor een hoge frequentie- en fasestabiliteit en maakt het instellen van de faseverhouding met een heel klein increment mogelijk. Voor de frequentie 13,56 MHz en voor verschillende combinaties van frequenties kan worden gekozen uit verschillende uitvoeringen van de masteroscillator.

HF-omschakelaars voor het gebruik van een HF-generator bij flexibele plasmasystemen
HF-omschakelaars

Een HF-omschakelaar maakt het meervoudig gebruik van een HF-generator voor verschillende plasmaprocesstations mogelijk, bijvoorbeeld voor de stroomtoevoer van sequentiële processen of voor systemen met verschillende toegangspunten. Er zijn verschillende HF-shifts in twee vermogensklassen en met 2, 3 of 4 uitgangen beschikbaar.

Coaxkabels voor overdracht van het gespecificeerde vermogen
Coaxkabels

Voor de HF-vermogensoverdracht biedt TRUMPF Hüttinger-coaxkabels aan, die speciaal zijn ontwikkeld voor gebruik in 50 Ohm-systemen.

Generator en aanpassingsnetwerk: een perfect op elkaar afgestemde systeemoplossing

Optimale beheersing van het plasmaproces

Plasmaprocessen gedragen zich als een complexe, variabele belasting die constant moet worden gevoed door de generator. Hier zorgen actieve aanpassingsnetwerken voor, die op elk moment een nauwkeurige aanpassing aan de optimale impedantie van 50 Ohm waarborgen. Zo ontstaat een perfect op elkaar afgestemde systeemoplossing; het TRUMPF RF-systeem. Via diverse interfaces, waaronder EtherCAT, kunt u de generator en het aanpassingsnetwerk heel eenvoudig in uw bestaande procesomgeving integreren en door een intelligente verbinding tussen generator en aanpassingsnetwerken, de zgn. SystemPort, bereikt u een optimale systeemoplossing.

Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.

Voetnoten
  • De koelwatertemperatuur moet het dauwpunt van de kamertemperatuur overschrijden om condensatie te voorkomen.

Deze onderwerpen vindt u misschien ook interessant

TruPlasma RF 1003: Hochfrequenzgenerator für maximale Produktivität
Laagste kosten bij maximaal resultaat

De TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) bestaat uit HF-generatoren van de nieuwste generatie en bieden de beste voorwaarden voor stabiele stroomtoevoer voor uw plasmatoepassingen.

VHF Generator Serie 3000
Hoge efficiëntie in robuust ontwerp

Innovatief, modulair, schaalbaar: de nieuwe compacte VHF-generatoren van TRUMPF Hüttinger overtuigen door hun hoge efficiëntie en een robuust ontwerp.

Services_Electronics_Training
Individuele scholing voor klanten is een van onze sterkste punten

Ervaren servicemonteurs verzorgen cursussen waarvan de inhoud op de deelnemers is afgestemd.

Contact

Klaus Nock
Verkoop plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Downloads

Brochure TruPlasma RF-systeem
Brochure TruPlasma RF-systeem
pdf - 6 MB
Service & contact