Wij maken op deze website gebruik van cookies. Als u deze website blijft gebruiken, zonder de instellingen voor cookies te wijzigen, gaan wij ervan uit dat u akkoord gaat met het gebruik van cookies.
RF-systeemoplossing: aanpassingsnetwerk voor optimale processtabiliteit
RF-systeemoplossing: aanpassingsnetwerk voor optimale processtabiliteit
Plasma-opwekkingen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

Intelligent matchen door realtimemeting

    - / -
    • Overzicht
    • Toepassingen
    • Technische gegevens
    • Klantvoordeel
    • Opties
    • Software
    • Systeemcomponenten
    • HF-systeem
    • Meer Minder
    RF-systeemoplossing uit één stuk

    De nieuwe aanpassingsnetwerken van de TruPlasma Match-serie 1000 (G2/13) zijn de ideale aanvulling op HF-generatoren van TRUMPF Hüttinger. Dankzij het intelligente matching-algoritme en het digitale besturingsplatform voor de procesbewaking ontstaat een totaaloplossing waarbij alle componenten optimaal samenwerken – het TRUMPF RF-systeem.

    Intelligent matching-algoritme

    Snelle, stabiele en reproduceerbare impedantieaanpassing van 50 ohm, zelfs bij kritische processen.

    Optimaal samenspel van het hele systeem

    Geavanceerde software en verbeterde communicatie tussen generator en aanpassingsnetwerk.

    Realtimemeting van het HF-vermogen

    Het systeem houdt elke impedantieverandering van het aanpassingsnetwerk en de belasting direct bij.

    Gesloten regelcircuit

    Optimale bewaking van de procesparameters en vroegtijdige vlamboogherkenning.

    Gebruiksvriendelijke procescontrole

    Grafische gebruikersinterface en effectieve tools (Smith-diagram, realtime-oscilloscoop).

    RF-systeemoplossing: aanpassingsnetwerk voor optimale processtabiliteit

    Productie van halfgeleiders, zonnecellen en flatscreens

    Bij de productie van halfgeleiders, zonnecellen en flatscreens zijn stabiele plasmaprocessen essentieel. In combinatie met de TRUMPF Hüttinger HF-generatoren bieden de aanpassingsnetwerken van de TruPlasma Match-serie 1000 (G2/13) een totaaloplossing voor optimale processtabiliteit en productiviteit.

    Ondersteuning bij hardmateriaalcoating: ondersteuningen van de TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

    Aanbrengen van hardmateriaal- en slijtvaste coatings

    Door aanbrenging van een functionele coating krijgen veeleisende werkstukken een verhoogde mechanische hardheid en een betere thermische en chemische stabiliteit. De aanpassingsnetwerken van de TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) zorgen in combinatie met een HF-generator van TRUMPF Hüttinger voor een perfecte coatingkwaliteit.

    Uitermate geschikt voor het coaten van grote oppervlakken: aanpassingsnetwerken van de TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

    Afnemen en coaten van oppervlakken

    De aanpassingsnetwerken van de TruPlasma Match-serie 1000 (G2/13) kunnen in alle gebruikelijke plasmaprocessen voor het coaten of afnemen van oppervlakken worden gebruikt, bijvoorbeeld bij plasma-etsen, reactief ionenetsen, ALD, PECVD, RF-sputtering of fotolak-plasma-etsen. In combinatie met een HF-generator van TRUMPF Hüttinger worden zo optimale procesresultaten bereikt.

    RF uitgang        
    Uitgangsvermogen 6 kW 12 kW 24 kW 3 kW
    Nominaal vermogen 6 kW 12 kW 24 kW 3 kW
    Uitgangsfrequentie 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
    Netaansluitgegevens        
    Netspanning (±10%) 23,5 V - 24,5 V (±10%) 87 V - 264 V (±10%) 87 V - 264 V (±10%) 23,5 V - 24,5 V
    Netfrequentie 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz 50 Hz - 60 Hz
    Communicatie-interfaces        
    Sync interfaces Ja Ja Ja Ja
    Analoog/digitaal Ja Ja Ja Ja
    RS 232/RS 485 Ja Ja Ja Ja
    PROFIBUS Ja Ja Ja Ja
    EtherCAT Ja Ja Ja Ja
    DeviceNet Nee Nee Nee Nee
    Behuizing        
    Gewicht 8 kg 27 kg 30 kg 15 kg
    Beschermingsgraad IP 21 21 21 21
    Koelingsvereisten        
    Max. waterdruk - 6 bar 6 bar -
    Min. drukverschil - 1,5 bar 1,5 bar -
    Min. doorstroomhoeveelheid - 3,5 l/min 5 l/min -
    Temperatuur koelmiddel - 10 °C - 30 °C 1 10 °C - 30 °C 1 -
    Algemeen        
    Certificaten/standaards CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47
    Omgevingsvoorwaarden        
    Buitentemperatuur 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C
    Luchtvochtigheid 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 %
    Barometrische druk 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa
    PDF <1MB
    Technisch informatieblad

    De technische gegevens van alle productvarianten als download.

    Garandeert altijd de volledige vermogensafgifte van de HF-generator

    Altijd perfecte procescontrole

    Het aanpassingsnetwerk zorgt te allen tijde voor een snelle en directe impedantieaanpassing aan 50 Ohm. Zo is altijd de volledige prestatieafgifte van de HF-generator in het proces gegarandeerd. De naadloze communicatie tussen aanpassingsnetwerk en generator maakt een optimale procesbewaking en vroegtijdige vlamboogherkenning mogelijk.

    Gebruiksvriendelijke software TruControl Power

    Alle parameters in één oogopslag

    De realtimemeting van het HF-in- en -uitgangsvermogen signaliseert dynamische impedantiewijzigingen, koelsensoren maken een betrouwbare voorspelling van het energieverlies mogelijk. Dankzij de grafische besturingssoftware met complexe weergaveopties (Smith-diagram, realtime-oscilloscoop) hebt u altijd zicht op alle relevante procesparameters.

    TruPlasma RF_Systemport

    TRUMPF SystemPort

    De SystemPort maakt een gesloten regelcircuit mogelijk door het meten van het RF-signaal rechtstreeks op de in- en uitgang van het aanpassingsnetwerk. Voor de RF-generator zijn alle meetwaarden beschikbaar. Daardoor kunnen procesparameters beter worden bewaakt, het aanpassingsnetwerk worden beschermd en een tijdige vlamboogherkenning worden gewaarborgd. Het volledige RF-systeem kan daardoor via een enkele generatorinterface worden bediend.

    Verschillende opties maken optimale aanpassing van het TRUMPF RF-systeem aan uw toepassing mogelijk.

    HF-ampèremeting

    Uiterst nauwkeurige AC-ampèremeting voor het detecteren van plasma-afwijkingen, geplaatst in het aanpassingsnetwerk dicht bij het proces, direct bij de kamer.

    Arc-beheer

    Het doordachte vlamboogbeheer is de ideale module voor de beste controle van het plasmaproces. Een gerichte vlamboogherkenning garandeert de beste productiviteit en beschermt tegelijkertijd het product en de installatie.

    Interfaces

    Als optionele interfaces zijn analoog/digitaal, PROFIBUS en EtherCAT beschikbaar. Standaard zijn ethernet, SystemPort en RS232/485.

    Gebruiksvriendelijke software TruControl Power

    TruControl Power

    De gebruikersvriendelijke regelsoftware TruControl Power maakt een comfortabele inbedrijfname en veilige bewaking van de HF-generator of van het totale TRUMPF RF-systeem in het lopende proces mogelijk.

    Gebruiksvriendelijke software TruControl Power

    Grafische besturingssoftware

    Complexe grafische weergaves maken een uitgebreide bewaking van alle relevante procesparameters mogelijk. Last- en aanpassingsnetwerkimpedantie worden met behulp van een Smith-diagram gevisualiseerd, de HF-in- en -uitgangsvermogens inclusief frequentie- en fasenlengte met behulp van een realtime-oscilloscoop.

    Het TRUMPF RF-systeem, dat bestaat uit HF-generator en aanpassingsnetwerk, vormt een perfect op elkaar afgestemd totaalsysteem voor de beste procesresultaten.

    Gebruiksvriendelijke software TruControl Power
    Grafische besturingssoftware

    Complexe grafische weergaven maken een uitgebreide bewaking van alle relevante procesparameters mogelijk. Last- en aanpassingsnetwerkimpedantie worden met behulp van een Smith-diagram gevisualiseerd, het HF-in- en -uitgangsvermogen inclusief frequentie en fasehoek met behulp van een realtime-oscilloscoop.

    Masteroscillator voor stabilisatie van kritische synchrone plasmaprocessen
    Masteroscillators

    Met behulp van masteroscillatoren kunnen kritische synchrone plasmaprocessen worden gestabiliseerd en geoptimaliseerd. Een geïntegreerde digitale frequentie- en fasesynthesizer zorgt voor een hoge frequentie- en fasestabiliteit en maakt het instellen van de faseverhouding met een heel klein increment mogelijk. Voor de frequentie 13,56 MHz en voor verschillende combinaties van frequenties kan worden gekozen uit verschillende uitvoeringen van de masteroscillator.

    HF-omschakelaars voor het gebruik van een HF-generator bij flexibele plasmasystemen
    HF-omschakelaars

    Een HF-omschakelaar maakt het meervoudig gebruik van een HF-generator voor verschillende plasmaprocesstations mogelijk, bijvoorbeeld voor de stroomtoevoer van sequentiële processen of voor systemen met verschillende toegangspunten. Er zijn verschillende HF-shifts in twee vermogensklassen en met 2, 3 of 4 uitgangen beschikbaar.

    Coaxkabels voor overdracht van het gespecificeerde vermogen
    Coaxkabels

    Voor de HF-vermogensoverdracht biedt TRUMPF Hüttinger-coaxkabels aan, die speciaal zijn ontwikkeld voor gebruik in 50 Ohm-systemen.

    Generator en aanpassingsnetwerk: een perfect op elkaar afgestemde systeemoplossing

    Optimale beheersing van het plasmaproces

    Plasmaprocessen gedragen zich als een complexe, variabele belasting die constant moet worden gevoed door de generator. Hier zorgen actieve aanpassingsnetwerken voor, die op elk moment een nauwkeurige aanpassing aan de optimale impedantie van 50 Ohm waarborgen. Zo ontstaat een perfect op elkaar afgestemde systeemoplossing; het TRUMPF RF-systeem. Via diverse interfaces, waaronder EtherCAT, kunt u de generator en het aanpassingsnetwerk heel eenvoudig in uw bestaande procesomgeving integreren en door een intelligente verbinding tussen generator en aanpassingsnetwerken, de zgn. SystemPort, bereikt u een optimale systeemoplossing.

    Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.

    Voetnoten
    • De koelwatertemperatuur moet het dauwpunt van de kamertemperatuur overschrijden om condensatie te voorkomen.

    Deze onderwerpen vindt u misschien ook interessant

    TruPlasma RF 1003: Hochfrequenzgenerator für maximale Produktivität
    Laagste kosten bij maximaal resultaat

    De TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) bestaat uit HF-generatoren van de nieuwste generatie en bieden de beste voorwaarden voor stabiele stroomtoevoer voor uw plasmatoepassingen.

    VHF Generator Serie 3000
    Hoge efficiëntie in robuust ontwerp

    Innovatief, modulair, schaalbaar: de nieuwe compacte VHF-generatoren van TRUMPF Hüttinger overtuigen door hun hoge efficiëntie en een robuust ontwerp.

    Services_Electronics_Training
    Individuele scholing voor klanten is een van onze sterkste punten

    Ervaren servicemonteurs verzorgen cursussen waarvan de inhoud op de deelnemers is afgestemd.

    Contact

    Klaus Nock
    Verkoop plasma
    Fax: +49 761 89711150
    E-mail

    Downloads

    Brochure TruPlasma RF-systeem
    Brochure TruPlasma RF-systeem
    pdf - 6 MB
    Service & contact