Voor de beschikbaarstelling en functionaliteit van deze website maken wij gebruik van cookies. Klik hier als wij ook cookies voor andere doeleinden mogen gebruiken. Informatie over het deactiveren van cookies en gegevensbescherming
.NEW
Plasma-opwekkingen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Air Serie 1000

Accuracy you can rely on

De luchtgekoelde HF-generator TruPlasma RF 1001 Air levert max. 1000 watt uiterst nauwkeurige, reproduceerbare HF-energie met een extreem fijne dosering – in stappen van 100 mW – en is daarmee ideaal voor de meest uiteenlopende plasmatoepassingen. Of het nu gaat om de productie van halfgeleiders, zonnecellen of displays, de gepatenteerde technologie van TRUMPF Hüttinger garandeert overal een optimale betrouwbaarheid en de beste procesresultaten dankzij moderne procesfuncties.

Slimme auto frequency tuning

Garandeert een optimale en zeer snelle aanpassing van de frequentie en daarmee een optimaal samenspel tussen generator en aanpassingsnetwerk.

Uiterst nauwkeurig vlamboogbeheer

Veilige uitvoering van veeleisende en nieuwe processen garandeert de bescherming van uw product.

Pulseren op meerdere niveaus

Flexibele, meertrapse aansturing van de pulsvorm voor betere procesresultaten in moderne plasmaprocessen.

Plug-and-play

Flexibel gebruiken en vervangen van generatoren mogelijk bij procesveranderingen of retrofit.

Stabiele plasmaprocessen

De gepatenteerde CombineLine-technologie garandeert gelijkmatige procesprestaties dankzij een echte 50 ohm-uitgangsimpedantie.

Uniforme generatortechnologie

Met verschillende vermogensklassen binnen de HF-productfamilie wordt aan alle procesvereisten voldaan.

Onafhankelijkheid van de HF-kabellengte

Bij proceswijzigingen of veranderingen aan het systeem hoeft de lengte van de kabel niet meer aangepast te worden.

Eersteklas stroomtoevoer voor het coaten van flatscreens

De HF-generatoren van de TruPlasma RF Air Serie 1000 zijn ideaal voor plasmaprocessen zoals RIE, ALD, PECVD en RF-sputteren. Deze processen worden onder andere gebruikt bij de productie van halfgeleidercomponenten en micromechanische systemen (MEMS) en bij de coating van flatscreens en zonnecellen.

Fabricage van zonnecellen

Typische toepassingsgebieden van de TruPlasma RF Air Serie 1000 zijn veeleisende PECVD-, ets- en HF-sputterprocessen bij de productie van zonnecellen.

Technologiebeeld RF-plasmageneratoren

Bij de productie van halfgeleiders worden verschillende plasmaprocessen gebruikt, van afneemprocessen en droogetsen tot vloeibarezonesmeltprocessen bij de productie van zuiver silicium. De generatoren uit de TruPlasma RF Air Serie 1000 bieden alle voorwaarden voor een stabiele en optimaal op het betreffende proces aangepaste stroomtoevoer, zodat u uitstekende, reproduceerbare resultaten bereikt.

-/-
TruPlasma RF 1001 Air
RF uitgang  
Uitgangsvermogen 1 kW
Nominaal vermogen 1 kW
Nominale lastimpedantie 50 Ω
Uitgangsfrequentie 13,56 MHz
Netaansluitgegevens  
Netspanning 110 - 230 V
Netfrequentie 50-60 Hz
Opnamevermogen net 1,8 kVA
Vermogensfactor 0,9
Communicatie-interfaces  
Sync interfaces Ja
Analoog/digitaal Ja
RS 232/RS 485 Ja
PROFIBUS Ja
EtherCAT Ja
DeviceNet Ja
Behuizing  
Gewicht 15 kg
Beschermingsgraad IP 20
Koelingsvereisten  
Max. waterdruk N/A bar
Min. drukverschil N/A bar
Min. doorstroomhoeveelheid N/A l/min
Temperatuur koelmiddel 5 °C - 35 °C
Algemeen  
Totaal rendement 70 %
Certificaten/standaards Semi S2, SEMI F47, UL, CE, RoHs
Omgevingsvoorwaarden  
Buitentemperatuur 5 °C - 40 °C
Luchtvochtigheid 5 % - 85 %
Barometrische druk 79,5 kPa - 106 kPa
Hoogste productiviteit en beschikbaarheid

Hoogste productiviteit en beschikbaarheid

Het flexibele, robuuste design van de HF-generatoren maakt een stijging van de productie en een reductie van de bedrijfskosten mogelijk.

Geïntegreerde CombineLine-technologie

Stabiele processen, reproduceerbare resultaten

De gepatenteerde CombineLine-technologie met intelligente real-time matching garandeert een optimale beschikbaarheid van de TruPlasma RF 1001 Air en voorkomt op betrouwbare wijze plasmaschommelingen en verontreinigingen.

Compact en flexibel te gebruiken

Dankzij de compacte constructie (insteekmodule van ½-19") is de HF-generator zeer plaatsbesparend – ideaal voor nieuwe installaties en als retrofitoplossing in bestaande installaties. De integratie is dankzij de talrijke beschikbare interfaces (configureerbare analoge interface, ethernet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) zeer eenvoudig.

Uitermate geschikt voor ets- en coatingprocessen

Tot op de decimaal nauwkeurig

Dankzij de precieze energiedosering in stappen van 100 mW kunnen met de TruPlasma RF 1001 Air ook in de modernste, meest veeleisende toepassingen zoals ALD de beste resultaten behaald worden. De uiterst nauwkeurige vermogensregeling van de HF-generator garandeert de beste wafer-naar-wafer-herhaalbaarheid.

Architecturaal glas

De beste procesresultaten dankzij moderne procesfuncties

Digitale besturingsfuncties als Auto Frequency Tuning 2.0, vlamboogbeheer en pulseren op meerdere niveaus maken een optimale aanpassing van de HF-generator aan het betreffende proces mogelijk.

TruPlasma RF 1003: HF-generator voor maximale productiviteit

Flexibele aanpassing aan de eisen van de klant

Er zijn verschillende vermogensklassen en frequenties in een uniform generatorontwerp beschikbaar, waardoor een eenvoudige vervanging bij proceswijzigingen mogelijk is. Ook het aanpassen van de kabellengte is niet meer nodig.

Aansturing van het complete HF-systeem via de TRUMPF SystemPort

De SystemPort maakt een gesloten regelcircuit mogelijk door het meten van het RF-signaal rechtstreeks op de in- en uitgang van het aanpassingsnetwerk, zodat de HF-generator altijd alle meetwaarden ter beschikking stelt. De procesparameters worden continu bewaakt, het aanpassingsnetwerk wordt beschermd en een tijdige vlamboogherkenning wordt gewaarborgd.

Auto frequency tuning
Slimme Auto Frequency Tuning (AFT)

De gepatenteerde Auto Frequency Tuning maakt een gelijktijdige en snelle frequentieaanpassing mogelijk tussen generator en aanpassingsnetwerk. De beste procesresultaten en de hoogste reproduceerbaarheid zijn daarmee gegarandeerd.

Snel en nauwkeurig vlamboogbeheer

Het doordachte vlamboogbeheer waarborgt een optimale controle van het plasmaproces. Door een gerichte vlamboogherkenning neemt de productiviteit toe en worden product en installatie tegelijkertijd tegen schade beschermd.

Pulseren op meerdere niveaus

De nieuwste plasmaprocessen vereisen meer flexibiliteit bij de pulswerking. Elke soort pulsvorm kan met de meertrapse, vrij te kiezen pulswerking bereikt worden. Dit leidt tot een nieuw besturingsmechanisme in de plasmafysica en tot betere procesresultaten.

Synchronisatiemodule (puls, CEX, vlamboog)

De synchronisatiemodule maakt de flexibele en veilige synchronisatie van meerdere generatoren in complexe plasmasystemen mogelijk.

TruControl Power

De gebruiksvriendelijke regelsoftware maakt een comfortabele inbedrijfname en veilige bewaking van de HF-generator of van het totale TRUMPF RF-systeem in het lopende proces mogelijk.

Web-GUI

De geïntegreerde webserver maakt zowel het bedrijf van het HF-systeem als software-updates via een webbrowser mogelijk.

Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.

Deze onderwerpen vindt u misschien ook interessant

Contact
Klaus Nock
Verkoop plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail
Downloads
Service & contact

Close

Country/region and language selection

Please take note of

You have selected Netherlands. Based on your configuration, United States might be more suitable. Would you like to keep or change the selection?

Netherlands
United States

Or, select a country or a region.