Wij maken op deze website gebruik van cookies. Als u deze website blijft gebruiken, zonder de instellingen voor cookies te wijzigen, gaan wij ervan uit dat u akkoord gaat met het gebruik van cookies.
HF-generator TruPlasma RF 3006
HF-generator TruPlasma RF 3006
Plasma-opwekkingen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF-serie 1000 / 3000 (G2/13)

Stabiele processen voor de hoogste productiviteit

    - / -
    • Overzicht
    • Toepassingen
    • Technische gegevens
    • Klantvoordeel
    • Opties
    • Systeemcomponenten
    • HF-systeem
    • Meer Minder
    HF-generatoren van de nieuwste generatie

    Bij de coating of structurering van oppervlakken is een stabiele en reproduceerbare plasmastroomtoevoer van essentieel belang. Hiervoor bieden de met moderne vermogenselektronica uitgevoerde HF-generatoren van de TruPlasma RF-serie 1000 / 3000 (G2/13) de beste voorwaarden: dankzij hun stabiele uitgangsvermogen en hoge regelnauwkeurigheid verzekeren ze u van de beste resultaten bij een hoge productiviteit.

    Hoge nauwkeurigheid en reproduceerbaarheid

    CombineLine-technologie: optimale procesprestaties dankzij een echte 50 ohm-uitgangsimpedantie.

    Onafhankelijkheid van de HF-kabellengte

    Geen aanpassing van de kabellengte meer nodig – een absolute noviteit op het gebied van hoogfrequentie!

    Robuustheid en veiligheid

    CombineLine-technologie: betrouwbare bescherming tegen gereflecteerd vermogen bij slechte aanpassingen.

    Efficiëntie en zuinigheid

    Rendementen tot 80% maken een verlaging van de energiekosten met max. 50% mogelijk.

    Ventilatorloos koelconcept

    Geen verwarming of verontreiniging van de omgevingslucht, waardoor gebruik in een cleanroom mogelijk is.

    HF-generator TruPlasma RF 3006

    Ideaal voor het coaten van flatscreens

    De HF-generatoren uit de TruPlasma-serie RF 1000 / 3000 (G2/13) zijn ideaal voor plasmaprocessen zoals RIE, ALD, PECVD en RF-sputteren. Deze processen worden onder andere gebruikt bij de productie van halfgeleidercomponenten en micromechanische systemen (MEMS) en bij de coating van flatscreens en zonnecellen.

    Fabricage van zonnecellen

    Typisch toepassingsgebied: de zonne-industrie

    Typische toepassingsgebieden van de TruPlasma RF-serie 1000 / 3000 (G2/13) zijn veeleisende PECVD-, ets- en HF-sputterprocessen bij de productie van zonnecellen.

    Uitermate geschikt voor ets- en coatingprocessen

    Halfgeleiderproductie

    Bij de productie van halfgeleiders worden verschillende plasmaprocessen gebruikt, van afneemprocessen en droogetsen tot vloeibarezonesmeltprocessen bij de productie van zuiver silicium. De generatoren uit de TruPlasma RF-serie 1000 / 3000 (G2/13) bieden alle voorwaarden voor een stabiele en optimaal aan het betreffende proces aangepaste stroomtoevoer, zodat u uitstekende, reproduceerbare resultaten bereikt.

    TruPlasma RF 1002
    TruPlasma RF 1003
    TruPlasma RF 3006
    RF uitgang      
    Uitgangsvermogen 2 kW 3 kW 6 kW
    Nominaal vermogen 2 kW 3 kW 6 kW
    Nominale lastimpedantie 50 Ω 50 Ω 50 Ω
    Uitgangsfrequentie 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
    Netaansluitgegevens      
    Netspanning 200 - 480 V 200 - 480 V 200 - 480 V
    Netfrequentie 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz
    Opnamevermogen net 3,1 kVA 4,3 kVA 7,9 kVA
    Vermogensfactor 0,95 0,95 0,95
    Communicatie-interfaces      
    Sync interfaces Ja Ja Ja
    Analoog/digitaal Ja Ja Ja
    RS 232/RS 485 Ja Ja Ja
    PROFIBUS Ja Ja Ja
    EtherCAT Ja Ja Ja
    DeviceNet Ja Ja Ja
    Behuizing      
    Gewicht 18 kg 18 kg 38 kg
    Beschermingsgraad IP 30 30 30
    Koelingsvereisten      
    Max. waterdruk 7 bar 7 bar 7 bar
    Min. drukverschil 1,1 bar 1,1 bar 1,1 bar
    Min. doorstroomhoeveelheid 4 l/min 4 l/min 8 l/min
    Temperatuur koelmiddel 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1
    Algemeen      
    Totaal rendement 80 % 80 % 80 %
    Certificaten/standaards Semi S2, SEMI F47, UL, CSA, CE, RoHs Semi S2, SEMI F47, UL, CSA, CE, RoHs Semi S2, SEMI F47, UL, CSA, CE, RoHs
    Omgevingsvoorwaarden      
    Buitentemperatuur 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
    Luchtvochtigheid 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Barometrische druk 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
    PDF <1MB
    Technisch informatieblad

    De technische gegevens van alle productvarianten als download.

    Geïntegreerde CombineLine-technologie

    Optimale aanpassing aan uw proces

    Het efficiënte realtime matchen van de TruPlasma RF-serie 1000 / 3000 (G2/13) zorgt voor een snelle en directe impedantie-aanpassing aan 50 Ohm. Plasmaschommelingen en verontreinigingen worden door de gepatenteerde CombineLine-technologie op betrouwbare wijze voorkomen, het ventilatorloze koelconcept verlaagt het uitvalpercentage, verhoogt de efficiëntie en maakt gebruik in cleanrooms mogelijk.

    HF-generator voor parallelle trillingskringen

    Maximale efficiëntie en flexibiliteit

    Dankzij het hoge rendement van max. 80% dalen uw energiekosten in vergelijking met traditionele generatoren met max. 50%. De talrijke beschikbare interfaces (configureerbare analoge interface, RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) vereenvoudigen de integratie in bestaande installaties, technische aanpassingen zijn dankzij de geïntegreerde wereldstekkers (200 - 480 VAC) niet nodig. De ondanks de hoge energiedichtheid compacte bouwvorm (19 inch- of ½-19 inch-insteekeenheid) maakt plaatsbesparende integratie in elke productie-installatie mogelijk.

    TruPlasma RF_Systemport

    TRUMPF SystemPort

    De SystemPort maakt een gesloten regelcircuit mogelijk door het meten van het RF-signaal rechtstreeks op de in- en uitgang van het aanpassingsnetwerk. Voor de RF-generator zijn alle meetwaarden beschikbaar. Daardoor kunnen procesparameters beter worden bewaakt, het aanpassingsnetwerk worden beschermd en een tijdige vlamboogherkenning worden gewaarborgd. Het volledige RF-systeem kan daardoor via een enkele generatorinterface worden bediend.

    Verschillende opties maken een optimale aanpassing van de HF-generator aan uw toepassing mogelijk.

    HF-vlamboogbeheer

    Het doordachte vlamboogbeheer is de ideale module voor de beste controle van het plasmaproces. Een gerichte vlamboogherkenning garandeert de beste productiviteit en beschermt tegelijkertijd het product en de installatie.

    Auto frequency tuning

    De gepatenteerde oplossing Auto Frequency Tuning maakt een gelijktijdige en snelle frequentieaanpassing mogelijk en garandeert een optimaal samenspel tussen generator en aanpassingsnetwerk. Door deze gepatenteerde techniek vormt een plaatselijk minimum geen hindernis meer: het RF-systeem wordt optimaal gehouden en maakt daardoor de beste procesresultaten en een hoge reproduceerbaarheid mogelijk.

    Alle componenten van het TRUMPF-RF-systeem zijn optimaal op elkaar afgestemd.

    RF-systeemoplossing: aanpassingsnetwerk voor optimale processtabiliteit
    Aanpassingsnetwerk van de TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

    TruPlasma Match-aanpassingsnetwerken zorgen voor een optimale vermogensoverdracht van de generator naar de plasmaontlading. Het gebruik van het aanpassingsnetwerk kan zelfstandig of via een slimme verbinding tussen generator en aanpassingsnetwerk, de zogenaamde SystemPort, plaatsvinden.

    Masteroscillator voor stabilisatie van kritische synchrone plasmaprocessen
    Masteroscillatoren

    Met behulp van masteroscillatoren kunnen kritische synchrone plasmaprocessen worden gestabiliseerd en geoptimaliseerd. Een geïntegreerde digitale frequentie- en fasesynthesizer zorgt voor een hoge frequentie- en fasestabiliteit en maakt het instellen van de faseverhouding met een heel klein increment mogelijk. Voor de frequentie 13,56 MHz en voor verschillende combinaties van frequenties kan worden gekozen uit verschillende uitvoeringen van de masteroscillator.

    HF-omschakelaars voor het gebruik van een HF-generator bij flexibele plasmasystemen
    HF-omschakelaars

    Een HF-omschakelaar maakt het meervoudig gebruik van een HF-generator voor verschillende plasmaprocesstations mogelijk, bijvoorbeeld voor de stroomtoevoer van sequentiële processen of voor systemen met verschillende toegangspunten. Er zijn verschillende HF-shifts in twee vermogensklassen en met 2, 3 of 4 uitgangen beschikbaar.

    Coaxkabels voor overdracht van het gespecificeerde vermogen
    Coaxkabels

    Voor de HF-vermogensoverdracht biedt TRUMPF Hüttinger-coaxkabels aan, die speciaal zijn ontwikkeld voor gebruik in 50 Ohm-systemen.

    Generator en aanpassingsnetwerk: een perfect op elkaar afgestemde systeemoplossing

    Perfect op elkaar afgestemd: het TRUMPF-RF-systeem

    Plasmaprocessen gedragen zich als een complexe, variabele belasting die constant moet worden gevoed door de generator. Hier zorgen actieve aanpassingsnetwerken voor, die op elk moment een nauwkeurige aanpassing aan de optimale impedantie van 50 Ohm waarborgen. Zo ontstaat een perfect op elkaar afgestemde systeemoplossing; het TRUMPF RF-systeem. Via diverse interfaces, waaronder EtherCAT, kunt u de generator en het aanpassingsnetwerk heel eenvoudig in uw bestaande procesomgeving integreren en door een intelligente verbinding tussen generator en aanpassingsnetwerken, de zgn. SystemPort, bereikt u een optimale systeemoplossing.

    Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.

    Voetnoten
    • De koelwatertemperatuur moet het dauwpunt van de kamertemperatuur overschrijden om condensatie te voorkomen.

    Deze onderwerpen vindt u misschien ook interessant

    Ideal geeignet für Großflächenbeschichtung
    Stroomtoevoer voor uw plasmaproces

    Plasmageneratoren van TRUMPF Hüttinger beschikken over een breed vermogens- en frequentiespectrum. Lees hier meer informatie over onze producten.

    RF-Systemlösung : Matchbox für höchste Prozessstabilität
    Slimme matching door real-time metingen

    De nieuwe aanpassingsnetwerken van de TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) zijn de optimale uitbreiding voor onze RF-generatoren en leveren een totaaloplossing: het TRUMPF RF-systeem.

    Services_Electronics_Technical_Support
    Service als geen ander

    Met een servicecontract op maat bereikt u de hoogste beschikbaarheid van generatoren met tegelijkertijd voorzienbare onderhouds- en bedrijfskosten.

    Contact

    Klaus Nock
    Verkoop plasma
    Fax: +49 761 89711150
    E-mail

    Downloads

    Brochure TruPlasma RF Serie 1000 3000
    Brochure TruPlasma RF Serie 1000 3000
    pdf - 337 KB
    Brochure TruPlasma RF-systeem
    pdf - 6 MB
    Whitepaper Autofrequency Tuning
    pdf - 1 MB
    Whitepaper Precision in Processing
    pdf - 2 MB
    Service & contact