Wij maken op deze website gebruik van cookies. Als u deze website blijft gebruiken, zonder de instellingen voor cookies te wijzigen, gaan wij ervan uit dat u akkoord gaat met het gebruik van cookies.
HF-generatoren TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006
HF-generatoren TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006
Plasma-opwekkingen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Serie 3000

HF-technologie zonder compromissen

    - / -
    • Overzicht
    • Toepassingen
    • Technische gegevens
    • Klantvoordeel
    • Opties
    • Software
    • Systeemcomponenten
    • HF-systeem
    • Meer Minder
    Garantie voor excellente procesresultaten

    Met deze HF-generatoren speelt u op safe: de TruPlasma RF Serie 3000 onderscheidt zich door een robuust ontwerp en hoge efficiëntie. Daardoor zijn deze generatoren uitermate geschikt voor stabiele, reproduceerbare plasmaprocessen, zoals bijvoorbeeld bij de productie van flatscreens, zonnecellen of halfgeleiders. Deze generators zijn geïnstalleerd in duizenden toepassingen wereldwijd en garanderen een grote productiviteit en uitstekende procesresultaten.

    Efficiëntie en zuinigheid

    Rendementen tot 80% maken een verlaging van de energiekosten met max. 50% mogelijk.

    Excellent RF-vlamboogbeheer

    Veilige uitvoering, ook bij veeleisende en nieuwe processen.

    Hoge robuustheid en processtabiliteit

    CombineLine-technologie: betrouwbare bescherming tegen gereflecteerd vermogen bij slechte aanpassingen.

    Maximale flexibiliteit

    Continue of pulserende vermogensafdracht, daardoor zeer veelzijdig te gebruiken.

    Uitermate geschikt voor ets- en coatingprocessen

    Ets- en coatingprocessen

    De HF-generators uit de TruPlasma RF-serie 3000 zijn vooral geschikt voor ets- en coatingsprocessen, bijvoorbeeld plasmaetsen, reactief ionenetsen, ALD en PECVD.

    Bijzonder geschikt voor het coaten van metalen werkstukken

    Coating van metalen werkstukken

    Met behulp van plasmaprocessen kan zowel materiaal op oppervlakken worden aangebracht als verwijderd, bijvoorbeeld bij het coaten van metalen werkstukken met een slijtagebestendige laag of bij het structureren van elektronische componenten met behulp van plasma-etsen of fotolak-plasmaverbranding.

    Eersteklas stroomtoevoer voor het coaten van flatscreens

    Coating van flatscreens en zonnecellen

    De HF-generatoren van de TruPlasma Serie RF 3000 zijn ideaal voor plasmaprocessen zoals RIE, ALD, PECVD en RF-sputteren. Deze processen worden onder andere gebruikt bij het coaten van flatscreens en zonnecellen.

    RF uitgang          
    Uitgangsvermogen 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
    Nominaal vermogen 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
    Nominale lastimpedantie 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω
    Uitgangsfrequentie 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
    Netaansluitgegevens          
    Netspanning 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V
    Netfrequentie 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
    Opnamevermogen net 16,6 kVA 28,1 kVA 33,3 kVA 80 kVA 100 kVA
    Vermogensfactor 0,93 0,93 0,93 - -
    Communicatie-interfaces          
    Sync interfaces Ja Ja Ja Ja Ja
    Analoog/digitaal Ja Ja Ja Ja Ja
    RS 232/RS 485 Ja Ja Ja Ja Ja
    PROFIBUS Ja Ja Ja Ja Ja
    EtherCAT Ja Ja Ja Nee Nee
    DeviceNet Ja Ja Ja Ja Ja
    Behuizing          
    Gewicht 57 kg 117 kg 117 kg 1000 kg 1200 kg
    Beschermingsgraad IP 20 20 20 54 54
    Koelingsvereisten          
    Max. waterdruk 7 bar 7 bar 7 bar 6 bar 6 bar
    Min. drukverschil 2 bar 2 bar 2 bar 2,5 bar 2,5 bar
    Min. doorstroomhoeveelheid 10 l/min 20 l/min 20 l/min 46 l/min 56 l/min
    Temperatuur koelmiddel 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1
    Algemeen          
    Totaal rendement 78 % 75 % 75 % - -
    Certificaten/standaards SEMI F47,CE, RoHs SEMI F47,CE, RoHs SEMI F47,CE, RoHs CE, SEMI F47 CE, SEMI F47
    Omgevingsvoorwaarden          
    Buitentemperatuur 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
    Luchtvochtigheid 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Barometrische druk 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
    PDF <1MB
    Technisch informatieblad

    De technische gegevens van alle productvarianten als download.

    Geïntegreerde CombineLine-technologie

    Maximale efficiëntie en processtabiliteit

    Halveren van energieverlies en daling van het koelwatergebruik door het excellente rendement, zo minimaliseert u uw bedrijfskosten. Het zeer robuuste ontwerp van de generatoren maakt een langere bedrijfsduur en daardoor grotere coatingsnelheden mogelijk, zelfs bij kritieke processen. Plasmaschommelingen worden effectief voorkomen door de CombineLine-technologie met echte 50 Ohm-uitgangsimpedantie, hierdoor zijn absoluut stabiel processen mogelijk.

    HF-generator TruPlasma RF 3012

    Veiligheid onder alle omstandigheden

    Het robuuste ontwerp zorgt voor een maximale betrouwbaarheid en productiviteit van uw proces. Een 100% bescherming tegen verkeerde aanpassing garandeert een veilig bedrijf, ook bij kritische belasting. De naar keuze continue of pulserende vermogensafdracht ondersteunt een groot aantal proceseisen. Wereldwijd zijn al meer dan 20.000 eenheden geïnstalleerd - meer dan van enige andere plasmastroomvoorziening.

    TruPlasma RF_Systemport

    TRUMPF SystemPort

    De SystemPort maakt een gesloten regelcircuit mogelijk door het meten van het RF-signaal rechtstreeks op de in- en uitgang van het aanpassingsnetwerk. Voor de RF-generator zijn alle meetwaarden beschikbaar. Daardoor kunnen procesparameters beter worden bewaakt, het aanpassingsnetwerk worden beschermd en een tijdige vlamboogherkenning worden gewaarborgd. Het volledige RF-systeem kan daardoor via een enkele generatorinterface worden bediend.

    Verschillende opties maken een optimale aanpassing van de HF-generator aan uw toepassing mogelijk.

    Vlamboogbeheer

    Het doordachte vlamboogbeheer is de ideale module voor de beste controle van het plasmaproces. Een gerichte vlamboogherkenning garandeert de beste productiviteit en beschermt tegelijkertijd het product en de installatie.

    Gebruiksvriendelijke software TruControl Power

    TruControl Power

    De gebruiksvriendelijke besturingssoftware TruControl Power maakt een comfortabele inbedrijfstelling en veilige bewaking van de HF-generator of van het totale TRUMPF RF-systeem in het lopende proces mogelijk.

    Alle componenten van het TRUMPF RF-systeem zijn optimaal op elkaar afgestemd.

    RF-systeemoplossing: aanpassingsnetwerk voor optimale processtabiliteit
    TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

    TruPlasma Match-aanpassingsnetwerken zorgen voor een optimale vermogensoverdracht van de generator naar de plasmaontlading. Het gebruik van het aanpassingsnetwerk kan zelfstandig of via een slimme verbinding tussen generator en aanpassingsnetwerk, de zogenaamde SystemPort, plaatsvinden.

    Masteroscillator voor stabilisatie van kritische synchrone plasmaprocessen
    Masteroscillators

    Met behulp van masteroscillatoren kunnen kritische synchrone plasmaprocessen worden gestabiliseerd en geoptimaliseerd. Een geïntegreerde digitale frequentie- en fasesynthesizer zorgt voor een hoge frequentie- en fasestabiliteit en maakt het instellen van de faseverhouding met een heel klein increment mogelijk. Voor de frequentie 13,56 MHz en voor verschillende combinaties van frequenties kan worden gekozen uit verschillende uitvoeringen van de masteroscillator.

    HF-omschakelaars voor het gebruik van een HF-generator bij flexibele plasmasystemen
    HF-omschakelaars

    Een HF-omschakelaar maakt het meervoudig gebruik van een HF-generator voor verschillende plasmaprocesstations mogelijk, bijvoorbeeld voor de stroomtoevoer van sequentiële processen of voor systemen met verschillende toegangspunten. Er zijn verschillende HF-shifts in twee vermogensklassen en met 2, 3 of 4 uitgangen beschikbaar.

    Coaxkabels voor overdracht van het gespecificeerde vermogen
    Coaxkabels

    Voor de HF-vermogensoverdracht biedt TRUMPF Hüttinger-coaxkabels aan, die speciaal zijn ontwikkeld voor gebruik in 50 Ohm-systemen.

    Generator en aanpassingsnetwerk: een perfect op elkaar afgestemde systeemoplossing

    Perfect op elkaar afgestemd: generator en aanpassingsnetwerk

    Plasmaprocessen gedragen zich als een complexe, variabele belasting die constant moet worden gevoed door de generator. Hier zorgen actieve aanpassingsnetwerken voor, die op elk moment een nauwkeurige aanpassing aan de optimale impedantie van 50 Ohm waarborgen. Zo ontstaat een perfect op elkaar afgestemde systeemoplossing; het TRUMPF RF-systeem. Via diverse interfaces, waaronder EtherCAT, kunt u de generator en het aanpassingsnetwerk heel eenvoudig in uw bestaande procesomgeving integreren en door een intelligente verbinding tussen generator en aanpassingsnetwerken, de zgn. SystemPort, bereikt u een optimale systeemoplossing.

    Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.

    Voetnoten
    • De koelwatertemperatuur moet het dauwpunt van de kamertemperatuur overschrijden om condensatie te voorkomen.

    Deze onderwerpen vindt u misschien ook interessant

    Services_Electronics_TQZ_TRUMPF_Tower
    Test- en kwalificatiecentrum

    In ons test- en kwalificatiecentrum waarborgen onze technici elke dag dat de kwaliteit van onze producten optimaal is.

    TruPlasma RF 1003: Hochfrequenzgenerator für maximale Produktivität
    Laagste kosten bij maximaal resultaat

    De TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) bestaat uit HF-generatoren van de nieuwste generatie en bieden de beste voorwaarden voor stabiele stroomtoevoer voor uw plasmatoepassingen.

    Services_Electronics_Training
    Individuele scholing voor klanten is een van onze sterkste punten

    Ervaren servicemonteurs verzorgen cursussen waarvan de inhoud op de deelnemers is afgestemd.

    Contact

    Klaus Nock
    Verkoop plasma
    Fax: +49 761 89711150
    E-mail

    Downloads

    Brochure TruPlasma RF Serie 3000
    Brochure TruPlasma RF Serie 3000
    pdf - 1 MB
    Brochure TruPlasma RF-systeem
    pdf - 6 MB
    Service & contact