Voor het beschikbaar stellen van deze website en de goede werking ervan maken we gebruik van cookies. Indien we cookies ook voor andere doeleinden mogen gebruiken, klik dan hier. Informatie over het deactiveren van cookies en gegevensbescherming
VHF Generator-serie 3000
VHF Generator-serie 3000
Plasma-opwekkingen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma VHF-serie 3000

Bestand tegen elke eis

Innovatief, modulair, schaalbaar: het nieuwe generatorplatform van TRUMPF Hüttinger

De generatoren uit de TruPlasma VHF-serie 3000 zijn gebaseerd op een innovatief platformconcept dat maximale vermogensdichtheid mogelijk maakt en voldoet aan hoge proceseisen. De modulaire en zuiver watergekoelde opbouw maakt verschaling van het uitgangsvermogen tot 80 kW mogelijk. Bovendien overtuigen de compacte VHF-generatoren door hun zuinigheid en robuust ontwerp.

Nauwkeurige en snelle arbitraire pulsvorming

Voor de aanwezige single en multi level pulsing biedt dit de beste controle over het plasmaproces.

Minimale aanlooptijd < 150 ns

Daardoor is een zeer flexibele besturing van het ontstekingsgedrag van de generator mogelijk.

Slimme auto frequency tuning

Automatische frequentieaanpassing voor een optimaal samenspel tussen generator en aanpassingsnetwerk.

Betrouwbare en verfijnde procescontrole

Uitstekende reproduceerbare procesresultaten dankzij een uiterst nauwkeurige digitale frequentiemodulatie.

Onafhankelijkheid van de kabellengte

Geen lengteaanpassing van de HF-kabel bij proceswijzigingen nodig, daardoor korte insteltijden.

Robuust ontwerp

Betrouwbare werking van de generator ook bij verkeerde aanpassing dankzij CombineLine-technologie.

Typisch toepassingsgebied van de TruPlasma VHF Serie 3000: fabricage van zonnecellen

Productie van zonnecellen

Op het gebied van fotovoltaïsche energie zijn er veel toepassingsgebieden voor op maat gemaakte procesenergie. Hierbij worden verschillende plasmaprocessen voor het aanbrengen en afnemen van materiaal gebruikt, bijvoorbeeld sputter-, PECVD- en etsprocessen. De generatoren van de TruPlasma VHF-serie 3000 kunnen optimaal worden aangepast aan het betreffende proces, waarbij het snelle vlamboogbeheer een stabiele beheersing van het plasma mogelijk maakt. Zo zijn uitstekende procesresultaten en een hoge productiviteit gegarandeerd.

Uitermate geschikt voor ets- en coatingprocessen

Halfgeleiderproductie

Bij de productie van halfgeleiders worden verschillende plasmaprocessen gebruikt, van afneemprocessen met behulp van droogetsen tot vloeibarezonesmeltprocessen bij de productie van zuiver silicium. De generatoren uit de TruPlasma VHF-serie 3000 bieden alle voorwaarden voor een stabiele en optimaal aan het betreffende proces aangepaste stroomtoevoer, zodat u uitstekende, reproduceerbare resultaten bereikt.

Eersteklas MF-stroomtoevoer voor het coaten van flatscreens

Ideaal voor het coaten van flatscreens

De HF-generatoren uit de TruPlasma VHF Serie 3000 zijn ideaal voor plasmaprocessen zoals RIE, ALD, PECVD en RF-sputteren. Deze processen worden onder andere gebruikt bij de productie van halfgeleidercomponenten en micromechanische systemen (MEMS) en bij de coating van flatscreens en zonnecellen.

- / -
TruPlasma VHF 3005
RF uitgang  
Uitgangsvermogen 5 kW
Nominaal vermogen 5 kW
Nominale lastimpedantie 50 Ω
Uitgangsfrequentie 40,68 MHz
Netaansluitgegevens  
Netspanning 200 - 480 V
Netfrequentie 50-60 Hz
Opnamevermogen net 18 kVA
Vermogensfactor 0,95
Communicatie-interfaces  
Sync interfaces Ja
Analoog/digitaal Ja
RS 232/RS 485 Ja
PROFIBUS Ja
EtherCAT Ja
DeviceNet Ja
Behuizing  
Gewicht 55 kg
Beschermingsgraad IP 30
Koelingsvereisten  
Max. waterdruk 7 bar
Min. drukverschil 2 bar
Min. doorstroomhoeveelheid 8 l/min
Temperatuur koelmiddel 5 °C - 35 °C 1
Algemeen  
Totaal rendement 75 %
Certificaten/standaards Semi S2, SEMI F47, UL, CE, RoHs
Omgevingsvoorwaarden  
Buitentemperatuur 5 °C - 40 °C
Luchtvochtigheid 5 % - 85 %
Barometrische druk 79,5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Technisch informatieblad

De technische gegevens van alle productvarianten als download.

CombineLine-technologie van de TruPlasma VHF Serie 3000

Flexibele aanpassing aan het proces

Het modulaire platformconcept van de TruPlasma VHF-serie 3000 maakt een verschaling van het uitgangsvermogen tot 80 kW mogelijk. Dankzij de geïmplementeerde CombineLine-technologie gedraagt de generator zich ook bij een verkeerde aanpassing heel robuust. Zijn brede frequentiebereik en de variabele netspanning en kabellengte maken een flexibele aanpassing aan verschillende toepassingen en gebruikslanden mogelijk.

HF-generator voor parallelle trillingskringen

Maximale efficiëntie en zuinigheid

De HF-generators uit de TruPlasma VHF-serie 3000 zijn volledig opgebouwd met de modernste halfgeleidertechniek met LDMOS-vermogenstransformators. De hooggeïntegreerde planaire opbouwtechniek maakt maximale vermogensdichtheden mogelijk bij tegelijkertijd hoge energie-efficiëntie en bijbehorend verlaagd koelvermogen. Daardoor biedt deze serie een in dit frequentiebereik tot nu toe ongeëvenaarde zuinigheid en verlaagt het de op de markt gebruikelijke bedrijfskosten.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

De SystemPort maakt een gesloten regelcircuit mogelijk door het meten van het RF-signaal rechtstreeks op de in- en uitgang van het aanpassingsnetwerk. Voor de RF-generator zijn alle meetwaarden beschikbaar. Daardoor kunnen procesparameters beter worden bewaakt, het aanpassingsnetwerk worden beschermd en een tijdige vlamboogherkenning worden gewaarborgd. Het volledige RF-systeem kan daardoor via een enkele generatorinterface worden bediend.

Verschillende opties maken de optimale aanpassing van de VHF-generator aan uw toepassing mogelijk.

Slimme auto frequency tuning

De gepatenteerde oplossing Auto Frequency Tuning maakt een gelijktijdige en snelle frequentieaanpassing mogelijk en garandeert een optimaal samenspel tussen generator en aanpassingsnetwerk. Door deze gepatenteerde techniek vormt een plaatselijk minimum geen hindernis meer: het RF-systeem wordt optimaal gehouden en maakt daardoor de beste procesresultaten en een hoge reproduceerbaarheid mogelijk.

Vlamboogbeheer

Het doordachte vlamboogbeheer is de ideale module voor de beste controle van het plasmaproces. Een gerichte vlamboogherkenning garandeert de beste productiviteit en beschermt tegelijkertijd het product en de installatie.

Flexibele pulsvorming

Flexibele pulsvorming: de vorm van het uitgangssignaal kan naar wens worden aangepast aan de actuele proceseisen.

Gebruiksvriendelijke software TruControl Power

TruControl Power

De gebruiksvriendelijke besturingssoftware TruControl Power maakt een comfortabele inbedrijfstelling en veilige bewaking van de HF-generator of van het totale TRUMPF RF-systeem in het lopende proces mogelijk.

Door selectie van de juiste systeemcomponenten kunt u de VHF-generator optimaal aan de eisen van uw toepassing aanpassen.

RF-systeemoplossing: aanpassingsnetwerk voor optimale processtabiliteit
Aanpassingsnetwerk

TruPlasma Match-aanpassingsnetwerken zorgen voor een optimale vermogensoverdracht van de generator naar de plasmaontlading. Het gebruik van het aanpassingsnetwerk kan zelfstandig of via een slimme verbinding tussen generator en aanpassingsnetwerk, de zogenaamde SystemPort, plaatsvinden.

Toebehoren voor de TruPlasma VHF Serie
Accessoireset

Deze bestaat uit een adapter voor wateraansluitingen, een set voor HARTING AC-voeding, jumper voor interlockfunctie, adapter van LEMO EPL op BNC-vrouwtje (voor klok- en pulssynchronisatiestekker).

Masteroscillator voor stabilisatie van kritische synchrone plasmaprocessen
Masteroscillators

Met behulp van masteroscillatoren kunnen kritische synchrone plasmaprocessen worden gestabiliseerd en geoptimaliseerd. Een geïntegreerde digitale frequentie- en fasesynthesizer zorgt voor een hoge frequentie- en fasestabiliteit en maakt het instellen van de faseverhouding met een heel klein increment mogelijk. Voor de frequentie 13,56 MHz en voor verschillende combinaties van frequenties kan worden gekozen uit verschillende uitvoeringen van de masteroscillator.

VHF Generator-serie 3000
HF-omschakelaars

Een HF-omschakelaar maakt het meervoudig gebruik van een HF-generator voor verschillende plasmaprocesstations mogelijk, bijvoorbeeld voor de stroomtoevoer van sequentiële processen of voor systemen met verschillende toegangspunten. Er zijn verschillende HF-shifts in twee vermogensklassen en met 2, 3 of 4 uitgangen beschikbaar.

Coaxkabels voor overdracht van het gespecificeerde vermogen
Coaxkabels

Voor de HF-vermogensoverdracht biedt TRUMPF Hüttinger-coaxkabels aan, die speciaal zijn ontwikkeld voor gebruik in 50 Ohm-systemen.

Generator en aanpassingsnetwerk: een perfect op elkaar afgestemde systeemoplossing

Perfect op elkaar afgestemd: het TRUMPF-RF-systeem

Plasmaprocessen gedragen zich als een complexe, variabele belasting die constant moet worden gevoed door de generator. Hier zorgen actieve aanpassingsnetwerken voor, die op elk moment een nauwkeurige aanpassing aan de optimale impedantie van 50 Ohm waarborgen. Zo ontstaat een perfect op elkaar afgestemde systeemoplossing; het TRUMPF RF-systeem. Via diverse interfaces, waaronder EtherCAT, kunt u de generator en het aanpassingsnetwerk heel eenvoudig in uw bestaande procesomgeving integreren en door een intelligente verbinding tussen generator en aanpassingsnetwerken, de zgn. SystemPort, bereikt u een optimale systeemoplossing.

Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.

Voetnoten
  • De koelwatertemperatuur moet het dauwpunt van de kamertemperatuur overschrijden om condensatie te voorkomen.

Deze onderwerpen vindt u misschien ook interessant

Contact

Klaus Nock
Verkoop plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Downloads

Brochure TruPlasma RF-systeem
Brochure TruPlasma RF-systeem
pdf - 6 MB
Folder TruPlasma VHF Serie 3000
pdf - 1 MB
Service & contact

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Netherlands . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Netherlands
United States

Or select a country or region.