Voor het beschikbaar stellen van deze website en de goede werking ervan maken we gebruik van cookies. Indien we cookies ook voor andere doeleinden mogen gebruiken, klik dan hier. Informatie over het deactiveren van cookies en gegevensbescherming
Bipolaire generator TruPlasma Bipolar 4040
Bipolaire generator TruPlasma Bipolar 4040
Plasma-opwekkingen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar-serie 4000 (G2)

Optimaal vermogen met flexibele golven

Bipolaire technologie voor de hoogste eisen

De processtroomtoevoer van de TruPlasma Bipolar-serie 4000 (G2) is speciaal ontwikkeld voor plasmaondersteunde coating met behulp van PVD-, PECVD- en reactieve sputterprocessen. Dankzij hun flexibel vormbare uitgangssignaal en het geperfectioneerde vlamboogbeheer zijn deze bipolaire pulsgeneratoren van de nieuwste generatie zeer veelzijdig inzetbaar. Of het nu gaat om de productie van halfgeleiders en zonnecellen of om het coaten van architecturaal glas: u kunt in elk geval de beste prestaties met betrekking tot coatingkwaliteit en afscheidingssnelheden verwachten.

Uiterst geringe vlamboogenergie

Volledig digitaal vlamboogbeheer voor optimale coatingkwaliteit en productiviteit.

Instelbare golfvormen

Eenvoudige aanpassing aan verschillende processen door variatie van het uitgangssignaal.

Eén generator, veel toepassingen

DC, pulserend DC en bipolair: kostenbesparing dankzij verschillende instelopties.

Geïntegreerde waterkoeling

Geen externe componenten nodig, neemt daardoor slechts weinig ruimte in.

Gebruikelijk toepassingsgebied van de TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2): fabricage van slijtvaste lagen

Eersteklas stroomtoevoer

Typische toepassingsgebieden zijn de productie van halfgeleiders en zonnecellen, de coating van architecturaal glas en de productie van decoratieve en slijtvaste coatings van optimale kwaliteit. Daarbij worden met name PVD- en PECVD-processen gebruikt.

Uitgang          
Nominaal vermogen 10 kW 20 kW 30 kW 40 kW 60 kW
Maximale uitgangsstroom 25 A eff 50 A eff 75 A eff 100 A eff 150 A eff
Maximale uitgangsspanning 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff
Nominale bedrijfsfrequentie 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz
Arc-parameter          
Maximale Arc-rate 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s
Arc-energie 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW
Ontstekingsspanningen          
met hulpontsteking 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V
Netaansluitgegevens          
Netspanning 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V
Netfrequentie 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Vermogensfactor 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95
Communicatie-interfaces          
Analoog/digitaal Ja Ja Ja Ja Ja
RS 232/RS 485 Ja Ja Ja Ja Ja
PROFIBUS Ja Ja Ja Ja Ja
EtherCAT Ja Ja Ja
-
Ja Ja
DeviceNet Ja Ja Ja
-
Ja Ja
Behuizing          
Breedte 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm
Hoogte 178 mm 266 mm 355 mm 355 mm 622 mm
Diepte 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm
Gewicht 60 kg 60 kg 100 kg 100 kg 160 kg
Beschermingsgraad IP IP40 IP40 IP40 IP40 IP40
Koelingsvereisten          
Koelmedium Water Water Water Water Water
Max. waterdruk 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar
Min. drukverschil 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar
Min. doorstroomhoeveelheid 4 l/min 8 l/min 8 l/min 12 l/min 12 l/min
Temperatuur koelmiddel 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C
Algemeen          
Totaal rendement 90 % 90 % 90 % 90 % 90 %
Omgevingsvoorwaarden          
Buitentemperatuur 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
Luchtvochtigheid 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometrische druk 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Technisch informatieblad

De technische gegevens van alle productvarianten als download.

Arc-beheer

Perfecte coatings, hoge productiviteit

Het volledig digitale vlamboogbeheer met zeer lage vlamboogenergie maakt hoge coatingkwaliteit en afscheidingssnelheden mogelijk. Ook bij veeleisende reactieve processen garandeert de TruPlasma Bipolar-serie 4000 (G2) steeds een gelijkmatige processtroomtoevoer en dus een stabiele plasmatoestand.

Door flexibele keuze van de uitgangssignalen veelzijdig inzetbaar

Meer flexibiliteit, lagere kosten

Met instelbare golfvormen kunt u de generatoren uit de TruPlasma Bipolar-serie 4000 (G2) heel eenvoudig aanpassen aan verschillende proceseisen. Dankzij de flexibele keuze van het uitgangssignaal (DC, pulserend DC of bipolair) kunnen ze op allerlei manieren worden gebruikt en dragen ze er dus aan bij dat uw totale bedrijfskosten (TCO) dalen.

Bipolaire generator TruPlasma Bipolar 4060

Alles in één behuizing

Dankzij de volledig in de tegen invloeden van buitenaf beschermde generatorbehuizing geïntegreerde waterkoeling zijn geen externe componenten nodig.

Gebruiksvriendelijke software PVD Power

PVD Power

De gebruiksvriendelijke, meertalige software PVD Power biedt u allerlei bedienings-, configuratie- en diagnosemogelijkheden om de proceskwaliteit en het effectief verhelpen van fouten te optimaliseren: weergave van werkelijke waarden van alle relevante procesparameters en waarschuwingen en alarmmeldingen, instelling van gewenste waarden door de bediener en registratie en visualisatie van belangrijke bedrijfsparameters met hoge tijdresolutie (oscilloscoopfunctie).

Door selectie van verschillende systeemcomponenten kunt u de bipolaire pulsgenerator perfect aan uw systeemomgeving aanpassen.

Achteraanzicht van een generator uit de TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)
Netkabel

Er zijn verschillende kabel- en stekkeruitvoeringen beschikbaar voor verschillende aansluitingen.

Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.

Deze onderwerpen vindt u misschien ook interessant

Contact

Klaus Nock
Verkoop plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Downloads

Brochure
Brochure TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)
Brochure TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)
pdf - 1 MB
Service & contact

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Netherlands . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Netherlands
United States

Or select a country or region.