Voor het beschikbaar stellen van deze website en de goede werking ervan maken we gebruik van cookies. Indien we cookies ook voor andere doeleinden mogen gebruiken, klik dan hier. Informatie over het deactiveren van cookies en gegevensbescherming

Nieuw

Plasma-opwekkingen

TRUMPF Hüttinger

TruPlasma MF-serie 7000

De beste in hun klasse

Volledige controle over het proces

Met de TruPlasma-serie MF 7000 (G2) hebt u uw proces altijd onder controle: met hun superieure vlamboogbeheer en ontstekingsgedrag zijn de generatoren ideaal als stroomtoevoer voor coating op grote oppervlakken (Large Area Coating) en veeleisende reactieve processen bij duale magnetron sputtering. Met een rendement van meer dan 90% en een bijzonder efficiënt koelwaterbeheer zijn ze tegelijkertijd uiterst zuinig in bedrijf.

Optimale coatingkwaliteit en productiviteit

Uitmuntende resultaten en hoge coatingsnelheden, zelfs in de moeilijkste reactieve processen.

Maximale efficiëntie

Met een toprendement
van meer dan 90% worden bedrijfsrendementen van meer dan 80% bereikt.

Stabiele stroomtoevoer bij elk klimaat

Betrouwbare werking, ook bij hoge koelwatertemperaturen en kleine drukverschillen.

Wereldwijd te gebruiken

Variabele aansluitspanning, daardoor geen technische aanpassingen nodig.

Eersteklas MF-stroomtoevoer

Coating van grote oppervlakken (large area coating) van architecturaal glas: veeleisende materialen zoals SiOx stellen hoge eisen aan de stabiliteit van de stroomtoevoer.

Aanbrengen van dunst mogelijke lagen

Coating van flatscreens en touchscreens: met behulp van duaal magnetronsputteren worden uiterst dunne (nm), hoogvaste en homogene AlxOx-coatings aangebracht.

MF-generator uit de TruPlasma MF-serie 7000 (G2) voor het aanbrengen van ultradunne coatings

Fabricage van zonnecellen

Coating van solarglas: de stabiele stroomtoevoer van de TruPlasma MF Serie 7000 (G2) maakt het homogeen aanbrengen van uiterst dunne TCO-coatings door middel van MF-sputteren mogelijk.

Afbreken

Producten vergelijken

Basisproduct Uw basisproduct

1. Vergelijkingsmodel 2. Vergelijkingsmodel (optioneel)

Nu vergelijken

	TruPlasma MF 7050 (G2) UltraFast Product vergelijken	TruPlasma MF 7075 (G2) UltraFast Product vergelijken	TruPlasma MF 7100 (G2) UltraFast Product vergelijken	TruPlasma MF 7120 (G2) UltraFast Product vergelijken	TruPlasma MF 7150 (G2) UltraFast Product vergelijken	TruPlasma MF 7050 (G2) Product vergelijken	TruPlasma MF 7075 (G2) Product vergelijken	TruPlasma MF 7100 (G2) Product vergelijken	TruPlasma MF 7120 (G2) Product vergelijken	TruPlasma MF 7150 (G2) Product vergelijken
Uitgang
Nominaal vermogen	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW
Maximale uitgangsstroom	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff
Maximale uitgangsspanning	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff
Nominale bedrijfsfrequentie	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz
Arc-parameter
Maximale Arc-rate	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s
Arc-energie	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW
Arc-behandeltijd	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs
Ontstekingsspanningen
met hulpontsteking	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V
zonder hulpontsteking	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V
Netaansluitgegevens
Netspanning	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V
Netfrequentie	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz
Opnamevermogen net	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA
Vermogensfactor	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95
Behuizing
Gewicht	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg
Beschermingsgraad IP	54	54	54	54	54	54	54	54	54	54
Koelingsvereisten
Koelmedium	Water	Water	Water	Water	Water	Water	Water	Water	Water	Water
Max. waterdruk	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar
Min. drukverschil	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar
Min. doorstroomhoeveelheid	30 l/min	31 l/min	31 l/min	36 l/min	36 l/min	28 l/min	30 l/min	30 l/min	34 l/min	34 l/min
Temperatuur koelmiddel	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
Algemeen
Totaal rendement	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %
Certificaten/standaards	CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18	CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18	CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18	CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18	CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18	CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18	CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18	CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18	CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18	CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18
Omgevingsvoorwaarden
Buitentemperatuur	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C

Producten vergelijken Vergelijking beëindigen Vergelijking beëindigen	TruPlasma MF 7050 (G2) UltraFast	TruPlasma MF 7075 (G2) UltraFast	TruPlasma MF 7100 (G2) UltraFast	TruPlasma MF 7120 (G2) UltraFast	TruPlasma MF 7150 (G2) UltraFast	TruPlasma MF 7050 (G2)	TruPlasma MF 7075 (G2)	TruPlasma MF 7100 (G2)	TruPlasma MF 7120 (G2)	TruPlasma MF 7150 (G2)
Uitgang
Nominaal vermogen	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW
Maximale uitgangsstroom	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff
Maximale uitgangsspanning	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff
Nominale bedrijfsfrequentie	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz
Arc-parameter
Maximale Arc-rate	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s
Arc-energie	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW
Arc-behandeltijd	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs
Ontstekingsspanningen
met hulpontsteking	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V
zonder hulpontsteking	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V
Netaansluitgegevens
Netspanning	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V
Netfrequentie	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz
Opnamevermogen net	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA
Vermogensfactor	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95
Behuizing
Gewicht	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg
Beschermingsgraad IP	54	54	54	54	54	54	54	54	54	54
Koelingsvereisten
Koelmedium	Water	Water	Water	Water	Water	Water	Water	Water	Water	Water
Max. waterdruk	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar
Min. drukverschil	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar
Min. doorstroomhoeveelheid	30 l/min	31 l/min	31 l/min	36 l/min	36 l/min	28 l/min	30 l/min	30 l/min	34 l/min	34 l/min
Temperatuur koelmiddel	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
Algemeen
Totaal rendement	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %
Certificaten/standaards	CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18	CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18	CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18	CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18	CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18	CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18	CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18	CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18	CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18	CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18
Omgevingsvoorwaarden
Buitentemperatuur	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C

PDF <1MB

Technisch informatieblad

De technische gegevens van alle productvarianten als download.

De generatoren uit de TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garanderen de hoogste efficiëntie

Optimale zuinigheid en flexibiliteit

Het hoge bedrijfsrendement en het flexibele koelconcept van de TruPlasma MF-serie 7000 (G2) garanderen optimale zuinigheid gedurende de gehele levensduur. Ook onder moeilijke klimaat- en installatievoorwaarden blijft de stroomtoevoer altijd stabiel - hoge koelwatertemperaturen, lage waterdruk en hoge luchtvochtigheid beïnvloeden de proceskwaliteit niet. Dankzij zijn brede bedrijfsspanningsbereik kunt u de MF-generator zonder technische aanpassingen wereldwijd gebruiken.

MF-generator uit de TruPlasma MF-serie 7000 (G2)

Nauwkeurige procesregeling

Met slechts een paar parameterinstellingen kunt u de coatingkwaliteit en productiviteit exact regelen. Zo vindt u de optimale balans tussen de gevoeligheid van de vlamboogbehandeling en de gewenste doorvoer. Bovendien garanderen een groot aantal interfaces en de comfortabele besturingssoftware TruControl Power een effectieve configuratie en diagnose.

Superieur vlamboogbeheer

Hoge reactiesnelheden en bijbehorende gereduceerde restenergie zorgen voor stabiele processen en hoge sputtersnelheden. De generator herkent en voorkomt vlambogen en thermische stress op het target op betrouwbare wijze – het resultaat zijn absoluut homogene lagen over het totale substraatoppervlak. Bovendien is door het snelle en betrouwbare vlamboogbeheer een probleemloos bedrijf van de generator in het spanningsgeregelde overgangsgebied (transition mode) mogelijk.

Voor de TruPlasma MF-serie 7000 (G2) zijn uitgebreide opties beschikbaar waarmee u de MF-generator aan de eisen van uw toepassing kunt aanpassen.

Uitgebreid frequentiebereik

De MF-generatoren met een vermogen tot 100 kW zijn optioneel beschikbaar met een uitgebreid frequentiebereik van 20-70 kHz (standaard is 20-50 kHz).

Hulpontsteking

Hierdoor worden vlambogen en thermische stress verminderd. Ontsteekspanning en aanlooptijd kunnen individueel worden geregeld.

Ultrasnel vlamboogbeheer

De TruPlasma MF Serie 7000 (G2) kan worden voorzien van een bijzonder gevoelig vlamboogbeheer (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW, standaard is ≤ 10 mJ/kW). Voor UltraFastTreatment is veiligheidscategorie 3 nodig.

Voorbereid op elke situatie

Profinet, profibus, EtherCAT en analoge en digitale interfaces maken een eenvoudige integratie van de TruPlasma MF Serie 7000 in bestaande installaties mogelijk.

Schakelkastdeur

De schakelkastdeur is naar keuze verkrijgbaar met een bijzonder grote openingshoek van 180° (standaard is 130°).

Actieve schakelkastontvochtiging

Voor omgevingen met een zeer hoge luchtvochtigheid kan de generatorschakelkast worden voorzien van een actieve ontvochtigingseenheid. Voor het gebruik hiervan is een koelwaterregeling nodig.

TruControl Power

De gebruiksvriendelijke, meertalige besturingssoftware TruControl Power biedt u allerlei bedienings-, configuratie- en diagnosemogelijkheden.

Door selectie van de juiste systeemcomponenten kunt u de TruPlasma MF-serie 7000 (G2) perfect aan uw systeemomgeving aanpassen.

MF-voedingskabels

Voor de TruPlasma MF-serie 7000 (G2) ontvangt u geoptimaliseerde TRUMPF Hüttinger MF-voedingskabels. Deze zorgen te allen tijde voor optimale systeemprestaties.

Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.