Voor het beschikbaar stellen van deze website en de goede werking ervan maken we gebruik van cookies. Indien we cookies ook voor andere doeleinden mogen gebruiken, klik dan hier. Informatie over het deactiveren van cookies en gegevensbescherming
TruPlasma MF-serie 7000 (G2)
Nieuw
TruPlasma MF-serie 7000 (G2)
Plasma-opwekkingen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma MF-serie 7000

De beste in hun klasse

Volledige controle over het proces

Met de TruPlasma-serie MF 7000 (G2) hebt u uw proces altijd onder controle: met hun superieure vlamboogbeheer en ontstekingsgedrag zijn de generatoren ideaal als stroomtoevoer voor coating op grote oppervlakken (Large Area Coating) en veeleisende reactieve processen bij duale magnetron sputtering. Met een rendement van meer dan 90% en een bijzonder efficiënt koelwaterbeheer zijn ze tegelijkertijd uiterst zuinig in bedrijf.

Optimale coatingkwaliteit en productiviteit

Uitmuntende resultaten en hoge coatingsnelheden, zelfs in de moeilijkste reactieve processen.

Maximale efficiëntie

Met een toprendement
van meer dan 90% worden bedrijfsrendementen van meer dan 80% bereikt.

Stabiele stroomtoevoer bij elk klimaat

Betrouwbare werking, ook bij hoge koelwatertemperaturen en kleine drukverschillen.

Wereldwijd te gebruiken

Variabele aansluitspanning, daardoor geen technische aanpassingen nodig.

Eersteklas MF-stroomtoevoer ideaal voor het coaten van grote oppervlakken

Eersteklas MF-stroomtoevoer

Coating van grote oppervlakken (large area coating) van architecturaal glas: veeleisende materialen zoals SiOx stellen hoge eisen aan de stabiliteit van de stroomtoevoer.

Eersteklas MF-stroomtoevoer voor het coaten van platte beeldschermen

Aanbrengen van dunst mogelijke lagen

Coating van flatscreens en touchscreens: met behulp van duaal magnetronsputteren worden uiterst dunne (nm), hoogvaste en homogene AlxOx-coatings aangebracht.

MF-generator uit de TruPlasma MF-serie 7000 (G2) voor het aanbrengen van ultradunne coatings

Fabricage van zonnecellen

Coating van solarglas: de stabiele stroomtoevoer van de TruPlasma MF Serie 7000 (G2) maakt het homogeen aanbrengen van uiterst dunne TCO-coatings door middel van MF-sputteren mogelijk.

- / -
Uitgang                    
Nominaal vermogen 50 kW 75 kW 100 kW 120 kW 150 kW 50 kW 75 kW 100 kW 120 kW 150 kW
Maximale uitgangsstroom 110 A eff 200 A eff 225 A eff 300 A eff 350 A eff 110 A eff 200 A eff 225 A eff 300 A eff 350 A eff
Maximale uitgangsspanning 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff
Nominale bedrijfsfrequentie 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz
Arc-parameter                    
Maximale Arc-rate 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s
Arc-energie 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW
Arc-behandeltijd 50 µs 50 µs 50 µs 50 µs 50 µs 25 µs 25 µs 25 µs 25 µs 25 µs
Ontstekingsspanningen                    
met hulpontsteking 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V
zonder hulpontsteking 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V
Netaansluitgegevens                    
Netspanning (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V
Netfrequentie 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
Opnamevermogen net 61 kVA 93 kVA 124 kVA 149 kVA 186 kVA 61 kVA 93 kVA 124 kVA 149 kVA 186 kVA
Vermogensfactor 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95
Behuizing                    
Gewicht 560 kg 610 kg 610 kg 660 kg 660 kg 560 kg 610 kg 610 kg 660 kg 660 kg
Beschermingsgraad IP 54 54 54 54 54 54 54 54 54 54
Koelingsvereisten                    
Koelmedium Water Water Water Water Water Water Water Water Water Water
Max. waterdruk 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar
Min. drukverschil 2,2 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,5 bar 2,5 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,5 bar 2,5 bar
Min. doorstroomhoeveelheid 28 l/min 30 l/min 30 l/min 34 l/min 34 l/min 30 l/min 31 l/min 31 l/min 36 l/min 36 l/min
Temperatuur koelmiddel 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
Algemeen                    
Totaal rendement 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 %
Certificaten/standaards CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18
Omgevingsvoorwaarden                    
Buitentemperatuur 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
PDF <1MB
Technisch informatieblad

De technische gegevens van alle productvarianten als download.

De generatoren uit de TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garanderen de hoogste efficiëntie

Optimale zuinigheid en flexibiliteit

Het hoge bedrijfsrendement en het flexibele koelconcept van de TruPlasma MF-serie 7000 (G2) garanderen optimale zuinigheid gedurende de gehele levensduur. Ook onder moeilijke klimaat- en installatievoorwaarden blijft de stroomtoevoer altijd stabiel - hoge koelwatertemperaturen, lage waterdruk en hoge luchtvochtigheid beïnvloeden de proceskwaliteit niet. Dankzij zijn brede bedrijfsspanningsbereik kunt u de MF-generator zonder technische aanpassingen wereldwijd gebruiken.

MF-generator uit de TruPlasma MF-serie 7000 (G2)

Nauwkeurige procesregeling

Met slechts een paar parameterinstellingen kunt u de coatingkwaliteit en productiviteit exact regelen. Zo vindt u de optimale balans tussen de gevoeligheid van de vlamboogbehandeling en de gewenste doorvoer. Bovendien garanderen een groot aantal interfaces en de comfortabele besturingssoftware TruControl Power een effectieve configuratie en diagnose.

Arc-beheer

Superieur vlamboogbeheer

Hoge reactiesnelheden en bijbehorende gereduceerde restenergie zorgen voor stabiele processen en hoge sputtersnelheden. De generator herkent en voorkomt vlambogen en thermische stress op het target op betrouwbare wijze – het resultaat zijn absoluut homogene lagen over het totale substraatoppervlak. Bovendien is door het snelle en betrouwbare vlamboogbeheer een probleemloos bedrijf van de generator in het spanningsgeregelde overgangsgebied (transition mode) mogelijk.

Voor de TruPlasma MF-serie 7000 (G2) zijn uitgebreide opties beschikbaar waarmee u de MF-generator aan de eisen van uw toepassing kunt aanpassen.

Uitgebreid frequentiebereik

De MF-generatoren met een vermogen tot 100 kW zijn optioneel beschikbaar met een uitgebreid frequentiebereik van 20-70 kHz (standaard is 20-50 kHz).

Hulpontsteking

Hierdoor worden vlambogen en thermische stress verminderd. Ontsteekspanning en aanlooptijd kunnen individueel worden geregeld.

Ultrasnel vlamboogbeheer

De TruPlasma MF Serie 7000 (G2) kan worden voorzien van een bijzonder gevoelig vlamboogbeheer (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW, standaard is ≤ 10 mJ/kW). Voor UltraFastTreatment is veiligheidscategorie 3 nodig.

Voorbereid op elke situatie

Profinet, profibus, EtherCAT en analoge en digitale interfaces maken een eenvoudige integratie van de TruPlasma MF Serie 7000 in bestaande installaties mogelijk.

Schakelkastdeur

De schakelkastdeur is naar keuze verkrijgbaar met een bijzonder grote openingshoek van 180° (standaard is 130°).

Actieve schakelkastontvochtiging

Voor omgevingen met een zeer hoge luchtvochtigheid kan de generatorschakelkast worden voorzien van een actieve ontvochtigingseenheid. Voor het gebruik hiervan is een koelwaterregeling nodig.

Gebruiksvriendelijke software TruControl Power

TruControl Power

De gebruiksvriendelijke, meertalige besturingssoftware TruControl Power biedt u allerlei bedienings-, configuratie- en diagnosemogelijkheden.

Door selectie van de juiste systeemcomponenten kunt u de TruPlasma MF-serie 7000 (G2) perfect aan uw systeemomgeving aanpassen.

MF-voedingskabels
MF-voedingskabels

Voor de TruPlasma MF-serie 7000 (G2) ontvangt u geoptimaliseerde TRUMPF Hüttinger MF-voedingskabels. Deze zorgen te allen tijde voor optimale systeemprestaties.

Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.

Deze onderwerpen vindt u misschien ook interessant

Contact

Klaus Nock
Verkoop plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Downloads

Brochure TruPlasma MF Serie 7000 (G2)
Brochure TruPlasma MF Serie 7000 (G2)
pdf - 1 MB
Service & contact

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Netherlands . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Netherlands
United States

Or select a country or region.