Volledige controle over het proces
Met de TruPlasma-serie MF 7000 (G2) hebt u uw proces altijd onder controle: met hun superieure vlamboogbeheer en ontstekingsgedrag zijn de generatoren ideaal als stroomtoevoer voor coating op grote oppervlakken (Large Area Coating) en veeleisende reactieve processen bij duale magnetron sputtering. Met een rendement van meer dan 90% en een bijzonder efficiënt koelwaterbeheer zijn ze tegelijkertijd uiterst zuinig in bedrijf.
Uitmuntende resultaten en hoge coatingsnelheden, zelfs in de moeilijkste reactieve processen.
Met een toprendement
van meer dan 90% worden bedrijfsrendementen van meer dan 80% bereikt.
Betrouwbare werking, ook bij hoge koelwatertemperaturen en kleine drukverschillen.
Variabele aansluitspanning, daardoor geen technische aanpassingen nodig.
Eersteklas MF-stroomtoevoer
Coating van grote oppervlakken (large area coating) van architecturaal glas: veeleisende materialen zoals SiOx stellen hoge eisen aan de stabiliteit van de stroomtoevoer.
Aanbrengen van dunst mogelijke lagen
Coating van flatscreens en touchscreens: met behulp van duaal magnetronsputteren worden uiterst dunne (nm), hoogvaste en homogene AlxOx-coatings aangebracht.
Fabricage van zonnecellen
Coating van solarglas: de stabiele stroomtoevoer van de TruPlasma MF Serie 7000 (G2) maakt het homogeen aanbrengen van uiterst dunne TCO-coatings door middel van MF-sputteren mogelijk.
TruPlasma MF 7050 (G2) UltraFast Product vergelijken |
TruPlasma MF 7075 (G2) UltraFast Product vergelijken |
TruPlasma MF 7100 (G2) UltraFast Product vergelijken |
TruPlasma MF 7120 (G2) UltraFast Product vergelijken |
TruPlasma MF 7150 (G2) UltraFast Product vergelijken |
TruPlasma MF 7050 (G2) Product vergelijken |
TruPlasma MF 7075 (G2) Product vergelijken |
TruPlasma MF 7100 (G2) Product vergelijken |
TruPlasma MF 7120 (G2) Product vergelijken |
TruPlasma MF 7150 (G2) Product vergelijken | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Uitgang | ||||||||||
| Nominaal vermogen | 50 kW | 75 kW | 100 kW | 120 kW | 150 kW | 50 kW | 75 kW | 100 kW | 120 kW | 150 kW |
| Maximale uitgangsstroom | 110 A eff | 200 A eff | 225 A eff | 300 A eff | 350 A eff | 110 A eff | 200 A eff | 225 A eff | 300 A eff | 350 A eff |
| Maximale uitgangsspanning | 1100 V eff | 1100 V eff | 1100 V eff | 1100 V eff | 1100 V eff | 1100 V eff | 1100 V eff | 1100 V eff | 1100 V eff | 1100 V eff |
| Nominale bedrijfsfrequentie | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz |
| Arc-parameter | ||||||||||
| Maximale Arc-rate | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s |
| Arc-energie | 1 mJ/kW | 1 mJ/kW | 1 mJ/kW | 1 mJ/kW | 1 mJ/kW | 10 mJ/kW | 10 mJ/kW | 10 mJ/kW | 10 mJ/kW | 10 mJ/kW |
| Arc-behandeltijd | 25 µs | 25 µs | 25 µs | 25 µs | 25 µs | 50 µs | 50 µs | 50 µs | 50 µs | 50 µs |
| Ontstekingsspanningen | ||||||||||
| met hulpontsteking | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V |
| zonder hulpontsteking | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V |
| Netaansluitgegevens | ||||||||||
| Netspanning | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V |
| Netfrequentie | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz |
| Opnamevermogen net | 61 kVA | 93 kVA | 124 kVA | 149 kVA | 186 kVA | 61 kVA | 93 kVA | 124 kVA | 149 kVA | 186 kVA |
| Vermogensfactor | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Behuizing | ||||||||||
| Gewicht | 560 kg | 610 kg | 610 kg | 660 kg | 660 kg | 560 kg | 610 kg | 610 kg | 660 kg | 660 kg |
| Beschermingsgraad IP | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 |
| Koelingsvereisten | ||||||||||
| Koelmedium | Water | Water | Water | Water | Water | Water | Water | Water | Water | Water |
| Max. waterdruk | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar |
| Min. drukverschil | 2,2 bar | 2,2 bar | 2,2 bar | 2,5 bar | 2,5 bar | 2,2 bar | 2,2 bar | 2,2 bar | 2,5 bar | 2,5 bar |
| Min. doorstroomhoeveelheid | 30 l/min | 31 l/min | 31 l/min | 36 l/min | 36 l/min | 28 l/min | 30 l/min | 30 l/min | 34 l/min | 34 l/min |
| Temperatuur koelmiddel | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Algemeen | ||||||||||
| Totaal rendement | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % |
| Certificaten/standaards | CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 |
| Omgevingsvoorwaarden | ||||||||||
| Buitentemperatuur | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
TruPlasma MF 7050 (G2) UltraFast
|
TruPlasma MF 7075 (G2) UltraFast
|
TruPlasma MF 7100 (G2) UltraFast
|
TruPlasma MF 7120 (G2) UltraFast
|
TruPlasma MF 7150 (G2) UltraFast
|
TruPlasma MF 7050 (G2)
|
TruPlasma MF 7075 (G2)
|
TruPlasma MF 7100 (G2)
|
TruPlasma MF 7120 (G2)
|
TruPlasma MF 7150 (G2)
| |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Uitgang | ||||||||||
| Nominaal vermogen | 50 kW | 75 kW | 100 kW | 120 kW | 150 kW | 50 kW | 75 kW | 100 kW | 120 kW | 150 kW |
| Maximale uitgangsstroom | 110 A eff | 200 A eff | 225 A eff | 300 A eff | 350 A eff | 110 A eff | 200 A eff | 225 A eff | 300 A eff | 350 A eff |
| Maximale uitgangsspanning | 1100 V eff | 1100 V eff | 1100 V eff | 1100 V eff | 1100 V eff | 1100 V eff | 1100 V eff | 1100 V eff | 1100 V eff | 1100 V eff |
| Nominale bedrijfsfrequentie | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz |
| Arc-parameter | ||||||||||
| Maximale Arc-rate | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s |
| Arc-energie | 1 mJ/kW | 1 mJ/kW | 1 mJ/kW | 1 mJ/kW | 1 mJ/kW | 10 mJ/kW | 10 mJ/kW | 10 mJ/kW | 10 mJ/kW | 10 mJ/kW |
| Arc-behandeltijd | 25 µs | 25 µs | 25 µs | 25 µs | 25 µs | 50 µs | 50 µs | 50 µs | 50 µs | 50 µs |
| Ontstekingsspanningen | ||||||||||
| met hulpontsteking | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V |
| zonder hulpontsteking | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V |
| Netaansluitgegevens | ||||||||||
| Netspanning | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V |
| Netfrequentie | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz |
| Opnamevermogen net | 61 kVA | 93 kVA | 124 kVA | 149 kVA | 186 kVA | 61 kVA | 93 kVA | 124 kVA | 149 kVA | 186 kVA |
| Vermogensfactor | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Behuizing | ||||||||||
| Gewicht | 560 kg | 610 kg | 610 kg | 660 kg | 660 kg | 560 kg | 610 kg | 610 kg | 660 kg | 660 kg |
| Beschermingsgraad IP | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 |
| Koelingsvereisten | ||||||||||
| Koelmedium | Water | Water | Water | Water | Water | Water | Water | Water | Water | Water |
| Max. waterdruk | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar |
| Min. drukverschil | 2,2 bar | 2,2 bar | 2,2 bar | 2,5 bar | 2,5 bar | 2,2 bar | 2,2 bar | 2,2 bar | 2,5 bar | 2,5 bar |
| Min. doorstroomhoeveelheid | 30 l/min | 31 l/min | 31 l/min | 36 l/min | 36 l/min | 28 l/min | 30 l/min | 30 l/min | 34 l/min | 34 l/min |
| Temperatuur koelmiddel | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Algemeen | ||||||||||
| Totaal rendement | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % |
| Certificaten/standaards | CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 | CE, SEMI S2-0709, FCC-standaard deel 18 |
| Omgevingsvoorwaarden | ||||||||||
| Buitentemperatuur | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
De technische gegevens van alle productvarianten als download.
Optimale zuinigheid en flexibiliteit
Het hoge bedrijfsrendement en het flexibele koelconcept van de TruPlasma MF-serie 7000 (G2) garanderen optimale zuinigheid gedurende de gehele levensduur. Ook onder moeilijke klimaat- en installatievoorwaarden blijft de stroomtoevoer altijd stabiel - hoge koelwatertemperaturen, lage waterdruk en hoge luchtvochtigheid beïnvloeden de proceskwaliteit niet. Dankzij zijn brede bedrijfsspanningsbereik kunt u de MF-generator zonder technische aanpassingen wereldwijd gebruiken.
Nauwkeurige procesregeling
Met slechts een paar parameterinstellingen kunt u de coatingkwaliteit en productiviteit exact regelen. Zo vindt u de optimale balans tussen de gevoeligheid van de vlamboogbehandeling en de gewenste doorvoer. Bovendien garanderen een groot aantal interfaces en de comfortabele besturingssoftware TruControl Power een effectieve configuratie en diagnose.
Superieur vlamboogbeheer
Hoge reactiesnelheden en bijbehorende gereduceerde restenergie zorgen voor stabiele processen en hoge sputtersnelheden. De generator herkent en voorkomt vlambogen en thermische stress op het target op betrouwbare wijze – het resultaat zijn absoluut homogene lagen over het totale substraatoppervlak. Bovendien is door het snelle en betrouwbare vlamboogbeheer een probleemloos bedrijf van de generator in het spanningsgeregelde overgangsgebied (transition mode) mogelijk.
Voor de TruPlasma MF-serie 7000 (G2) zijn uitgebreide opties beschikbaar waarmee u de MF-generator aan de eisen van uw toepassing kunt aanpassen.
De MF-generatoren met een vermogen tot 100 kW zijn optioneel beschikbaar met een uitgebreid frequentiebereik van 20-70 kHz (standaard is 20-50 kHz).
Hierdoor worden vlambogen en thermische stress verminderd. Ontsteekspanning en aanlooptijd kunnen individueel worden geregeld.
De TruPlasma MF Serie 7000 (G2) kan worden voorzien van een bijzonder gevoelig vlamboogbeheer (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW, standaard is ≤ 10 mJ/kW). Voor UltraFastTreatment is veiligheidscategorie 3 nodig.
Profinet, profibus, EtherCAT en analoge en digitale interfaces maken een eenvoudige integratie van de TruPlasma MF Serie 7000 in bestaande installaties mogelijk.
De schakelkastdeur is naar keuze verkrijgbaar met een bijzonder grote openingshoek van 180° (standaard is 130°).
Voor omgevingen met een zeer hoge luchtvochtigheid kan de generatorschakelkast worden voorzien van een actieve ontvochtigingseenheid. Voor het gebruik hiervan is een koelwaterregeling nodig.
TruControl Power
De gebruiksvriendelijke, meertalige besturingssoftware TruControl Power biedt u allerlei bedienings-, configuratie- en diagnosemogelijkheden.
Door selectie van de juiste systeemcomponenten kunt u de TruPlasma MF-serie 7000 (G2) perfect aan uw systeemomgeving aanpassen.
Voor de TruPlasma MF-serie 7000 (G2) ontvangt u geoptimaliseerde TRUMPF Hüttinger MF-voedingskabels. Deze zorgen te allen tijde voor optimale systeemprestaties.
Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.
