Universele generatoren voor uw sputterproces
De TruPlasma Bias-serie 4000 is een productfamilie met de modernste DC-Bias-pulsgeneratoren. Pulsfrequenties tot 100 kHz en continue bias-output zijn mogelijk. De generatoren ondersteunen met name optische en metaalcoatingtoepassingen die bijvoorbeeld in de halfgeleidertechniek en bij hardmateriaalcoating worden gebruikt. Bovendien zijn ze geschikt voor iedere toepassing met vergelijkbare eisen aan spanning en stroom.
1200 V voor substraat-etsprocessen,
300 V voor bias-ondersteunde coatingprocessen.
Daardoor beduidend minder druppelafscheidingen en substraatbeschadigingen.
Uitstekend vlamboogbeheer dankzij moderne DSP-techniek en FPGA-signaalanalyse.
Fabricage van slijtbestendige lagen
De generatoren uit de TruPlasma Bias-serie 4000 zorgen voor een stabiel plasmaproces en dus voor een optimale coatingkwaliteit.
Coaten van grote oppervlakken
Coatings op grote oppervlakken stellen in het plasmaproces bijzonder hoge eisen aan de processtroomtoevoer. De generatoren uit de TruPlasma Bias-serie 4000 bieden alle voorwaarden voor een stabiele en optimaal aan het betreffende proces aangepaste stroomtoevoer, zodat uitstekende, reproduceerbare resultaten bereikt worden.
Fabricage van zonnecellen
De generatoren uit de TruPlasma Bias-serie 4000 bewijzen zichzelf in alle kritische PVD- en PECVD-processen en bieden alle voorwaarden voor een stabiele en optimaal aan het betreffende proces aangepaste stroomtoevoer, zodat u uitstekende, reproduceerbare resultaten bereikt.
TruPlasma Bias 4012
|
TruPlasma Bias 4018
|
TruPlasma Bias 4026
| |
|---|---|---|---|
| Uitgang | |||
| Nominaal vermogen | 12 kW | 18 kW | 26 kW |
| Maximale uitgangsstroom | 40 A eff | 60 A eff | 87 A eff |
| Maximale uitgangsspanning | 1200 V eff | 1200 V eff | 1200 V eff |
| Nominale bedrijfsfrequentie | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz |
| Arc-parameter | |||
| Maximale Arc-rate | 50 1/s | 50 1/s | 50 1/s |
| Arc-behandeltijd | <0,5 µs | <0,5 µs | <0,5 µs |
| Netaansluitgegevens | |||
| Netspanning | 3x 360 V - 440 V | 3x 360 V - 440 V | 3x 360 V - 440 V |
| Netfrequentie | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Communicatie-interfaces | |||
| Analoog/digitaal | Ja | Ja | Ja |
| RS 232/RS 485 | - | Ja | - |
| PROFIBUS | Ja | - | Ja |
| EtherCAT | Nee | Nee | Nee |
| Behuizing | |||
| Gewicht | 70 kg | 70 kg | 71 kg |
| Beschermingsgraad IP | IP 20 | IP 20 | IP 20 |
| Koelingsvereisten | |||
| Koelmedium | Lucht | Lucht | Lucht |
| Temperatuur koelmiddel | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
| Algemeen | |||
| Totaal rendement | 90 % | 90 % | 90 % |
| Certificaten/standaards | CE | CE | CE |
| Omgevingsvoorwaarden | |||
| Buitentemperatuur | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
| Luchtvochtigheid | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrische druk | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa |
De technische gegevens van alle productvarianten als download.
Garandeert aanhoudend goede procesvoorwaarden
Het speciale vermogens- en besturingsontwerp zorgt voor een gefundeerde spanningsstabiliteit, die beslissend is voor de laagkwaliteit en een stabiel proces is. De TruPlasma Bias Serie 4000 is ontworpen met DSP-techniek en FPGA-signaalanalyse en beschikt over een modern vlamboogbeheer dat unieke precisie en herhalingsnauwkeurigheid biedt. De indrukwekkende waarden van beide parameters zorgen voor een optimale processtabilisatie.
Vereenvoudigde omgang met het systeem met slechts één apparaat voor meerdere processen
De TruPlasma Bias-serie 4000 beschikt over twee aparte spanningsmodi: een hoogspanningsmodus met tot 1200 volt en een laagspanningsmodus met tot 300 volt. De modi ondersteunen met name optische en metaalachtige coatingtoepassingen die bijvoorbeeld bij de halfgeleidertechniek en de hardmateriaalcoating worden gebruikt. Bovendien zijn ze geschikt voor iedere toepassing met vergelijkbare eisen aan spanning en stroom.
Optimale coatingkwaliteit door soepel lopende processen
De generatoren uit de TruPlasma Bias-serie 4000 zijn uitgerust met volledig digitaal vlamboogbeheer met zeer weinig vlamboogenergie en CompensateLine en maken daardoor hoge coatingkwaliteit en afscheidingssnelheden mogelijk. Daardoor vinden nog minder druppelafscheidingen en substraatbeschadigingen plaats; proces en product worden verbeterd.
PVD Power
De gebruiksvriendelijke, meertalige software PVD Power biedt u allerlei bedienings-, configuratie- en diagnosemogelijkheden om de proceskwaliteit en het effectief verhelpen van fouten te optimaliseren: weergave van werkelijke waarden van alle relevante procesparameters en van waarschuwingen en alarmmeldingen, instelling van gewenste waarden door de bediener en registratie en visualisatie van belangrijke bedrijfsparameters met hoge resolutie in de tijd (oscilloscoopfunctie).
Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.
