Aby udostępniać treści i zapewnić funkcjonalność tej witryny, wykorzystujemy pliki cookies. Aby zezwolić na wykorzystywanie przez nas plików cookies także w innych celach, kliknij tutaj. Informacje dotyczące dezaktywacji plików "cookies" i ochrony danych
Zasilacz Bias ze stabilnym napięciem i szybkim systemem detekcji łuków
Zasilacz Bias ze stabilnym napięciem i szybkim systemem detekcji łuków
Wzbudzanie plazmy
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias Seria 3000

Stabilny i wszechstronny

Uniwersalne zasilacze do procesów rozpylania magnetronowego

Zasilacze TruPlasma Bias Serii 3000 wspierają procesy nanoszenia powłok optycznych i metalicznych, używanych na przykład w przemyśle półprzewodnikowym czy utwardzania powierzchni materiałów. Ponadto nadają się do wszystkich zastosowań o podobnych wymaganiach dla wartości napięcia i prądu.

Tryb wysokiego i niskiego napięcia

1200 V dla procesów wytrawiania podłoża,
300 V dla procesów powlekania z zastosowaniem polaryzacji podłoża (Bias).

Szybki system detekcji łuków

Bardzo niska energia resztkowa łuku, a dzięki temu mniejsze uszkodzenia podłoża i stabilniejsze procesy.

Stabilne i powtarzalne wyniki procesu

Wyjątkowa dokładność dzięki nowoczesnej technologii DSP i analizie sygnału FPGA.

Idealne do pokrywania dużych powierzchni

Powłoka dekoracyjna

Powlekanie dużych powierzchni w procesie plazmowym stawia szczególnie wysokie wymogi względem mocy procesowej. Zasilacze TruPlasma Bias Serii 3000 spełniają wszystkie wymagania dla stabilnego i optymalnego w każdych warunkach procesowych zasilania prądowego. Pozwala to uzyskać doskonałe, powtarzalne wyniki.

Idealne do procesów wytrawiania i powlekania

Technologia półprzewodnikowa

Zasilacze TruPlasma Bias Serii 3000 znajdują zastosowanie we wszystkich krytycznych procesach PVD i PECVD, zapewniając stabilne zasilanie prądowe. Optymalne dostosowanie do danego procesu pozwala uzyskać doskonałe, powtarzalne wyniki.

- / -
Generator TruPlasma Bias serii 3000 w użyciu

Zapewnia konsekwentnie dobre warunki procesowe

Specjalna konstrukcja zasilania i sterowania zapewnia stabilność napięcia, co ma kluczowe znaczenie dla jakości powierzchni i stabilnego procesu. Zaprojektowany w technologii DSP i wyposażony w analizę sygnału FPGA, TruPlasma Bias Serii 3000 posiada nowoczesny system detekcji łuków, który gwarantuje niespotykaną dokładność i powtarzalność pracy. Imponujące wartości obu parametrów zapewniają optymalną stabilizację procesu.

Typowy obszar zastosowania TruPlasma Bipolar Serii 4000 (G2): Produkcja powłok odpornych na zużycie

Uproszczona obsługa systemu za pomocą jednego urządzenia do wielu procesów

TruPlasma Bias Serii 3000 posiada dwa oddzielne tryby napięcia: tryb wysokiego napięcia do 1200 woltów i tryb niskiego napięcia do 300 woltów. Tryby wspierają procesy nanoszenia powłok optycznych i metalicznych, używanych na przykład w przemyśle półprzewodnikowym czy utwardzania powierzchni materiałów. Ponadto nadają się do wszystkich zastosowań o podobnych wymaganiach dla wartości napięcia i prądu.

Typowe zastosowanie TruPlasma Bias Serii 3000: Produkcja ogniw fotowoltaicznych

Optymalna jakość warstwy dzięki stabilnemu procesowi

Zasilacze TruPlasma Bias Serii 3000 posiadają w pełni cyfrowy system detekcji łuków o bardzo małej energii łuku, pozwalający uzyskać wysokiej jakości powłoki i dużą szybkość osadzania. Pozwala to na większe ograniczenie uszkodzeń podłoża. Proces i produkt końcowy ulegają poprawie.

Łatwe w obsłudze oprogramowanie PVD Power

PVDPower

Przyjazne dla użytkownika, wielojęzyczne oprogramowanie PVD Power oferuje różne możliwości działania, konfiguracji i diagnostyki w celu optymalizacji jakości procesu i skutecznego rozwiązywania problemów: wyświetlanie rzeczywistych wartości wszystkich istotnych parametrów procesu, jak również ostrzeżeń i alarmów, ustawianie żądanej wartości przez operatora, nagrywanie i wizualizacja ważnych parametrów pracy z wysoką rozdzielczością czasową (oscyloskop).

W zależności od kraju możliwe są odstępstwa od podanego asortymentu i tych informacji. Zastrzega się możliwość zmian w technologii, wyposażeniu, cenie lub ofercie akcesoriów. Skontaktuj się z lokalną osobą kontaktową, aby ustalić, czy produkt jest dostępny w Twoim kraju.

Także te tematy mogą Państwa zainteresować

Kontakt

TRUMPF Huettinger Sp. z o.o.
Faks +48 22 761 38 01
E-mail

Pliki do pobrania

Broszura
Broszura dotycząca TruPlasma Bias Seria 3000 / 4000
Broszura dotycząca TruPlasma Bias Seria 3000 / 4000
pdf - 1 MB
Serwis i kontakt

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Poland . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Poland
United States

Or select a country or region.