Udostępniając tę stronę internetową, używamy plików cookie w celu zapewnienia jej funkcjonalności. Jeżeli chcą Państwo zezwolić na używanie przez nas plików cookie również do innych celów, należy kliknąć tutaj. Informacje dotyczące wyłączenia plików cookie i ochrony danych osobowych
Zasilacz Bias ze stabilnym napięciem i szybkim systemem detekcji łuków
Zasilacz Bias ze stabilnym napięciem i szybkim systemem detekcji łuków
Wzbudzanie plazmy
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias Seria 3000

Stabilny i wszechstronny

Uniwersalne zasilacze do procesów rozpylania magnetronowego

Zasilacze TruPlasma Bias Serii 3000 wspierają procesy nanoszenia powłok optycznych i metalicznych, używanych na przykład w przemyśle półprzewodnikowym czy utwardzania powierzchni materiałów. Ponadto nadają się do wszystkich zastosowań o podobnych wymaganiach dla wartości napięcia i prądu.

Tryb wysokiego i niskiego napięcia

1200 V dla procesów wytrawiania podłoża,
300 V dla procesów powlekania z zastosowaniem polaryzacji podłoża (Bias).

Szybki system detekcji łuków

Bardzo niska energia resztkowa łuku, a dzięki temu mniejsze uszkodzenia podłoża i stabilniejsze procesy.

Stabilne i powtarzalne wyniki procesu

Wyjątkowa dokładność dzięki nowoczesnej technologii DSP i analizie sygnału FPGA.

Idealne do pokrywania dużych powierzchni

Powłoka dekoracyjna

Powlekanie dużych powierzchni w procesie plazmowym stawia szczególnie wysokie wymogi względem mocy procesowej. Zasilacze TruPlasma Bias Serii 3000 spełniają wszystkie wymagania dla stabilnego i optymalnego w każdych warunkach procesowych zasilania prądowego. Pozwala to uzyskać doskonałe, powtarzalne wyniki.

Idealne do procesów wytrawiania i powlekania

Technologia półprzewodnikowa

Zasilacze TruPlasma Bias Serii 3000 znajdują zastosowanie we wszystkich krytycznych procesach PVD i PECVD, zapewniając stabilne zasilanie prądowe. Optymalne dostosowanie do danego procesu pozwala uzyskać doskonałe, powtarzalne wyniki.

-/-
Generator TruPlasma Bias serii 3000 w użyciu

Zapewnia konsekwentnie dobre warunki procesowe

Specjalna konstrukcja zasilania i sterowania zapewnia stabilność napięcia, co ma kluczowe znaczenie dla jakości powierzchni i stabilnego procesu. Zaprojektowany w technologii DSP i wyposażony w analizę sygnału FPGA, TruPlasma Bias Serii 3000 posiada nowoczesny system detekcji łuków, który gwarantuje niespotykaną dokładność i powtarzalność pracy. Imponujące wartości obu parametrów zapewniają optymalną stabilizację procesu.

Typowy obszar zastosowania TruPlasma Bipolar Serii 4000 (G2): Produkcja powłok odpornych na zużycie

Uproszczona obsługa systemu za pomocą jednego urządzenia do wielu procesów

TruPlasma Bias Serii 3000 posiada dwa oddzielne tryby napięcia: tryb wysokiego napięcia do 1200 woltów i tryb niskiego napięcia do 300 woltów. Tryby wspierają procesy nanoszenia powłok optycznych i metalicznych, używanych na przykład w przemyśle półprzewodnikowym czy utwardzania powierzchni materiałów. Ponadto nadają się do wszystkich zastosowań o podobnych wymaganiach dla wartości napięcia i prądu.

Typowe zastosowanie TruPlasma Bias Serii 3000: Produkcja ogniw fotowoltaicznych

Optymalna jakość warstwy dzięki stabilnemu procesowi

Zasilacze TruPlasma Bias Serii 3000 posiadają w pełni cyfrowy system detekcji łuków o bardzo małej energii łuku, pozwalający uzyskać wysokiej jakości powłoki i dużą szybkość osadzania. Pozwala to na większe ograniczenie uszkodzeń podłoża. Proces i produkt końcowy ulegają poprawie.

Łatwe w obsłudze oprogramowanie PVD Power

PVDPower

Przyjazne dla użytkownika, wielojęzyczne oprogramowanie PVD Power oferuje różne możliwości działania, konfiguracji i diagnostyki w celu optymalizacji jakości procesu i skutecznego rozwiązywania problemów: wyświetlanie rzeczywistych wartości wszystkich istotnych parametrów procesu, jak również ostrzeżeń i alarmów, ustawianie żądanej wartości przez operatora, nagrywanie i wizualizacja ważnych parametrów pracy z wysoką rozdzielczością czasową (oscyloskop).

W zależności od kraju możliwe są odstępstwa od podanego asortymentu i tych informacji. Zastrzega się możliwość zmian w technologii, wyposażeniu, cenie lub ofercie akcesoriów. Proszę skontaktować się z lokalną osobą kontaktową, aby ustalić, czy produkt jest dostępny w Państwa kraju.

Te tematy również mogą Państwa zainteresować

Kontakt
TRUMPF Huettinger Sp. z o.o.
Faks +48 22 761 38 01
E-mail
Pliki do pobrania
Serwis i kontakt

Close

Country/region and language selection

Please take note of

You have selected Poland. Based on your configuration, United States might be more suitable. Would you like to keep or change the selection?

Poland
United States

Or, select a country or a region.