Uniwersalne zasilacze dla procesu rozpylania
TruPlasma Bias Seria 4000 to rodzina zaawansowanych pulsowych zasilaczy napięcia stałego. Możliwa jest praca ciągła DC Bias oraz z częstotliwością pulsów do 100 kHz. Zasilacze wspierają zwłaszcza procesy nanoszenia powłok optycznych i metalizacji używanych na przykład w technologii półprzewodnikowej lub nanoszenia powłok twardych. Ponadto są odpowiednie do innych zastosowań o podobnych wymaganiach dla wartości napięcia i prądu.
1200 V dla procesów wytrawiania podłoża,
300 V dla procesów powlekania z zastosowaniem polaryzacji podłoża (Bias)
Pozwala to na znaczne ograniczenie osadzania makrocząsteczek i uszkodzeń podłoża.
Doskonały system detekcji łuków dzięki nowoczesnej technologii DSP i analizie sygnału FPGA.
TruPlasma Bias 4012
|
TruPlasma Bias 4018
|
TruPlasma Bias 4026
| |
---|---|---|---|
Wyjście | |||
Moc znamionowa | 12 kW | 18 kW | 26 kW |
Maks. prąd wyjściowy | 40 A eff | 60 A eff | 87 A eff |
Maks. napięcie wyjściowe | 1200 V eff | 1200 V eff | 1200 V eff |
Znamionowa częstotliwość robocza | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz |
Parametry łuku | |||
Maks. charakterystyka łuku | 50 1/s | 50 1/s | 50 1/s |
Czas obróbki łukiem | <0,5 µs | <0,5 µs | <0,5 µs |
Dane przyłącza sieciowego | |||
Napięcie sieciowe | 3x 360 V - 440 V | 3x 360 V - 440 V | 3x 360 V - 440 V |
Częstotliwość sieciowa | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
Złącza komunikacyjne | |||
Analogowe/cyfrowe | Tak | Tak | Tak |
RS 232 / RS 485 | - | Tak | - |
PROFIBUS | Tak | - | Tak |
EtherCAT | Nie | Nie | Nie |
Obudowa | |||
Masa | 70 kg | 70 kg | 71 kg |
Stopień ochrony IP | IP 20 | IP 20 | IP 20 |
Wymagania dot. chłodzenia | |||
Medium chłodzące | Powietrze | Powietrze | Powietrze |
Temperatura medium chłodzącego | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
Informacje ogólne | |||
Sprawność łączna | 90 % | 90 % | 90 % |
Certyfikaty/standardy | CE | CE | CE |
Warunki otoczenia | |||
Temperatura zewnętrzna | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
Wilgotność powietrza | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
Ciśnienie barometryczne | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa |
Dane techniczne wszystkich wariantów produktu do pobrania.

Zapewnia konsekwentnie dobre warunki procesowe
Specjalna konstrukcja zasilania i sterowania zapewnia stabilność napięcia, co ma kluczowe znaczenie dla jakości powierzchni i stabilnego procesu. Zaprojektowany w technologii DSP i wyposażony w analizę sygnału FPGA, TruPlasma Bias Serii 4000 posiada nowoczesny system detekcji łuków, który gwarantuje niespotykaną dokładność i powtarzalność pracy. Imponujące wartości obu parametrów zapewniają optymalną stabilizację procesu.

Uproszczona obsługa systemu za pomocą jednego urządzenia do wielu procesów
Tru Plasma Bias serii 4000 posiada dwa oddzielne tryby napięcia: tryb wysokiego napięcia do 1200 woltów i tryb niskiego napięcia do 300 woltów. Tryby wspierają zwłaszcza optyczne i metalowe aplikacje powłok, które są używane na przykład w technologii półprzewodnikowej lub powlekania twardego materiału. Ponadto nadają się do wszystkich zastosowań o podobnych wymogach co do napięcia i prądu.

Optymalna jakość warstwy dzięki bezawaryjnemu procesowi
Zasilacze TruPlasma Bias Serii 4000 posiadają w pełni cyfrowy system detekcji łuków o bardzo małej energii łuku pozwalający uzyskać wysokiej jakości powłoki i dużą prędkość osadzania. Pozwala to na większe ograniczenie osadzania makrocząsteczek i wywołanych ich obecnością uszkodzeń podłoża.

PVDPower
Przyjazne dla użytkownika, wielojęzyczne oprogramowanie PVD Power oferuje różne możliwości działania, konfiguracji i diagnostyki w celu optymalizacji jakości procesu i skutecznego rozwiązywania problemów: wyświetlanie rzeczywistych wartości wszystkich istotnych parametrów procesu, jak również ostrzeżeń i alarmów, ustawianie żądanej wartości przez operatora, nagrywanie i wizualizacja ważnych parametrów pracy z wysoką rozdzielczością czasową (oscyloskop).
W zależności od kraju możliwe są odstępstwa od podanego asortymentu i tych informacji. Zastrzega się możliwość zmian w technologii, wyposażeniu, cenie lub ofercie akcesoriów. Proszę skontaktować się z lokalną osobą kontaktową, aby ustalić, czy produkt jest dostępny w Państwa kraju.