Udostępniając tę stronę internetową, używamy plików cookies. Jeśli osoba odwiedzająca stronę korzysta z niej nadal bez dokonywania zmian w ustawieniach w plikach cookies, zakładamy, że wyraża ona zgodę na stosowanie tych plików.
Technologiebild DC gepulste Plasmageneratoren

Generatory plazmowe DC

Impulsowe zasilacze plazmowe DC TRUMPF Hüttinger są idealne do zastosowań w wielu reaktywnych procesach. Impulsowy sygnał prądu stałego, w przeciwieństwie do zwykłych zasilaczy prądu stałego, umożliwia obróbkę również materiałów słabo przewodzących jak i nieprzewodzących, takich jak tlenki. Typowe zastosowania zasilaczy pulsowych to powlekanie twardych materiałów oraz procesy wytrawiania i powlekania w produkcji półprzewodników.

TruPlasma DC 4000 (G2)

TruPlasma DC Seria 4000 (G2)

TruPlasma DC Serii 4000 (G2) łączy w sobie doskonałą procedurę detekcji łuków TRUMPF Hüttinger z zaletami technologii impulsowej DC. Pozwala to osiągnąć lepsze rezultaty procesu przy mniejszej liczbie wad i jednocześnie większej szybkości osadzania. Efektem są perfekcyjne powierzchnie i wysoka efektywność produkcyjna.

Zasilacz impulsowy TruPlasma DC Seria 4000

TruPlasma DC Seria 4000

Zasilacze TruPlasma DC Serii 4000 to idealne rozwiązanie dla wymagających procesów plazmowych. Dzięki szerokiemu zakresowi charakterystyki prądowo-napięciowej zapewniają pełną moc w procesach produkcyjnych. W ten sposób kwalifikują się do zaawansowanych procesów rozpylania magnetronowego oraz standardowych DC i impulsowych zastosowań plazmowych. Tak jak zasilacze DC, wyposażone są w doskonały system detekcji łuku.

Zasilacz TruPlasma Highpulse Seria 4000

TruPlasma Highpulse Seria 4000

Zasilacze TruPlasma Highpulse Serii 4000 są doskonałym wyborem dla zastosowań HIPIMS, ich użycie umożliwia uzyskanie twardych warstw odpornych na korozję i ścieranie. W połączeniu z polaryzacją substratu TruPlasma Highpulse Serii 4000 może również znaleźć zastosowanie w aplikacjach półprzewodnikowych, takich jak: trawienie plazmowe, wstępna obróbka ubytkowa powierzchni oraz "trench-filling”.

Generator bias ze stabilnym napięciem i szybkim systemem zarządzania Arc

TruPlasma Bias Seria 4000

TruPlasma Bias Seria 4000 to rodzina zaawansowanych pulsowych zasilaczy napięcia stałego. Możliwa jest praca ciągła DC Bias oraz z częstotliwością pulsów do 100 kHz.
Każde urządzenie ma dwa tryby: tryb wysokiego napięcia o 1200 woltach dla procesów trawienia podłoża, a także tryb niskiego napięcia do 300 woltów dla procesów powlekania wspieranych polaryzacją podłoża, które stosuje się na przykład w technologii półprzewodnikowej lub nanoszenia powłok twardych.

Serwis i kontakt