Udostępniając tę stronę internetową, używamy plików cookies. Jeśli osoba odwiedzająca stronę korzysta z niej nadal bez dokonywania zmian w ustawieniach w plikach cookies, zakładamy, że wyraża ona zgodę na stosowanie tych plików.
Zasilacz Bias ze stabilnym napięciem i szybkim systemem detekcji łuków
Zasilacz Bias ze stabilnym napięciem i szybkim systemem detekcji łuków
Wzbudzanie plazmy
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias Seria 4000

Stabilny i wszechstronny

    - / -
    • Przegląd
    • Zastosowania
    • Dane techniczne
    • Korzyści dla klienta
    • Oprogramowanie
    • Więcej Mniej
    Uniwersalne zasilacze dla procesu rozpylania

    TruPlasma Bias Seria 4000 to rodzina zaawansowanych pulsowych zasilaczy napięcia stałego. Możliwa jest praca ciągła DC Bias oraz z częstotliwością pulsów do 100 kHz. Zasilacze wspierają zwłaszcza procesy nanoszenia powłok optycznych i metalizacji używanych na przykład w technologii półprzewodnikowej lub nanoszenia powłok twardych. Ponadto są odpowiednie do innych zastosowań o podobnych wymaganiach dla wartości napięcia i prądu.

    Tryb wysokiego i niskiego napięcia

    1200 V dla procesów wytrawiania podłoża,
    300 V dla procesów powlekania z zastosowaniem polaryzacji podłoża (Bias)

    Szybki system detekcji łuków

    Pozwala to na znaczne ograniczenie osadzania makrocząsteczek i uszkodzeń podłoża.

    Stabilne i powtarzalne wyniki procesu

    Doskonały system detekcji łuków dzięki nowoczesnej technologii DSP i analizie sygnału FPGA.

    Typowe zastosowanie TruPlasma Bipolar Serii 4000 (G2): Produkcja powłok odpornych na zużycie

    Produkcja powłok odpornych na zużycie

    Zasilacze TruPlasma Bias Serii 4000 dbają o stabilność procesu plazmowego, a tym samym zapewniają optymalną jakość powłoki.

    Idealne do pokrywania dużych powierzchni

    Pokrywanie dużych powierzchni

    Powlekanie dużych powierzchni w procesie plazmowym stawia szczególnie wysokie wymagania dla mocy procesowej. Zasilacze TruPlasma Bias Serii 4000 zapewniają stabilne zasilanie prądowe optymalnie dostosowane do danego procesu co pozwala osiągnąć doskonałe, powtarzalne wyniki.

    Zasilacz TruPlasma Bias Seria 4000

    Produkcja ogniw słonecznych

    Zasilacze TruPlasma Bias Serii 4000 są idealne do wszystkich krytycznych procesów PVD i PECVD i oferują optymalnie dostosowane do każdego procesu stabilne zasilanie prądowe pozwalające uzyskać doskonałe, powtarzalne wyniki.

    TruPlasma Bias 4012
    TruPlasma Bias 4018
    TruPlasma Bias 4026
    Wyjście      
    Moc znamionowa 12 kW 18 kW 26 kW
    Maks. prąd wyjściowy 40 A eff 60 A eff 87 A eff
    Maks. napięcie wyjściowe 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
    Znamionowa częstotliwość robocza 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
    Parametry łuku      
    Maks. charakterystyka łuku 50 1/s 50 1/s 50 1/s
    Czas obróbki łukiem <0,5 µs <0,5 µs <0,5 µs
    Dane przyłącza sieciowego      
    Napięcie sieciowe 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V
    Częstotliwość sieciowa 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
    Złącza komunikacyjne      
    Analogowe/cyfrowe Tak Tak Tak
    RS 232 / RS 485 - Tak -
    PROFIBUS Tak - Tak
    EtherCAT Nie Nie Nie
    Obudowa      
    Masa 70 kg 70 kg 71 kg
    Stopień ochrony IP IP 20 IP 20 IP 20
    Wymagania dot. chłodzenia      
    Medium chłodzące Powietrze Powietrze Powietrze
    Temperatura medium chłodzącego 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
    Informacje ogólne      
    Sprawność łączna 90 % 90 % 90 %
    Certyfikaty/standardy CE CE CE
    Warunki otoczenia      
    Temperatura zewnętrzna 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
    Wilgotność powietrza 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Ciśnienie barometryczne 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa
    PDF <1MB
    Karta danych technicznych

    Dane techniczne wszystkich wariantów produktu do pobrania.

    Szkło architektoniczne

    Zapewnia konsekwentnie dobre warunki procesowe

    Specjalna konstrukcja zasilania i sterowania zapewnia stabilność napięcia, co ma kluczowe znaczenie dla jakości powierzchni i stabilnego procesu. Zaprojektowany w technologii DSP i wyposażony w analizę sygnału FPGA, TruPlasma Bias Serii 4000 posiada nowoczesny system detekcji łuków, który gwarantuje niespotykaną dokładność i powtarzalność pracy. Imponujące wartości obu parametrów zapewniają optymalną stabilizację procesu.

    Powłoki utwardzane

    Uproszczona obsługa systemu za pomocą jednego urządzenia do wielu procesów

    Tru Plasma Bias serii 4000 posiada dwa oddzielne tryby napięcia: tryb wysokiego napięcia do 1200 woltów i tryb niskiego napięcia do 300 woltów. Tryby wspierają zwłaszcza optyczne i metalowe aplikacje powłok, które są używane na przykład w technologii półprzewodnikowej lub powlekania twardego materiału. Ponadto nadają się do wszystkich zastosowań o podobnych wymogach co do napięcia i prądu.

    System detekcji łuków

    Optymalna jakość warstwy dzięki bezawaryjnemu procesowi

    Zasilacze TruPlasma Bias Serii 4000 posiadają w pełni cyfrowy system detekcji łuków o bardzo małej energii łuku pozwalający uzyskać wysokiej jakości powłoki i dużą prędkość osadzania. Pozwala to na większe ograniczenie osadzania makrocząsteczek i wywołanych ich obecnością uszkodzeń podłoża.

    Łatwe w obsłudze oprogramowanie PVD Power

    PVDPower

    Przyjazne dla użytkownika, wielojęzyczne oprogramowanie PVD Power oferuje różne możliwości działania, konfiguracji i diagnostyki w celu optymalizacji jakości procesu i skutecznego rozwiązywania problemów: wyświetlanie rzeczywistych wartości wszystkich istotnych parametrów procesu, jak również ostrzeżeń i alarmów, ustawianie żądanej wartości przez operatora, nagrywanie i wizualizacja ważnych parametrów pracy z wysoką rozdzielczością czasową (oscyloskop).

    W zależności od kraju możliwe są odstępstwa od podanego asortymentu i tych informacji. Zastrzega się możliwość zmian w technologii, wyposażeniu, cenie lub ofercie akcesoriów. Skontaktuj się z lokalną osobą kontaktową, aby ustalić, czy produkt jest dostępny w Twoim kraju.

    Także te tematy mogą Państwa zainteresować

    Services_Electronics_Technical_Support
    Serwis jak żaden inny

    Dzięki precyzyjnie dostosowanej umowie serwisowej zyskacie Państwo maksymalną dostępność zasilaczy przy dających się szybko oszacować kosztach konserwacji i eksploatacji.

    Bias Generator mit stabilem Spannungs- und schnellem Arc-Management
    Zoptymalizowane procesy impulsowe

    Zasilacze TruPlasma Bias Seria 3000 z dwoma trybami pracy i w pełni cyfrowym zarządzaniem technologią łukową zapewniają wysoką jakość warstw i błyskawiczne osadzanie.

    Services_Electronics_Training
    Naszym atutem są indywidualne szkolenia klientów

    Doświadczeni technicy serwisowi zapewniają gruntowną wiedzę, a przekazywane treści są dostosowane do potrzeb uczestników.

    Kontakt

    TRUMPF Huettinger Sp. z o.o.
    Faks: +48 22 761 38 01
    E-mail

    Pliki do pobrania

    Broszura
    Broszura dotycząca TruPlasma Bias Seria 3000 / 4000
    Broszura dotycząca TruPlasma Bias Seria 3000 / 4000
    pdf - 1 MB
    Serwis i kontakt