Perfekcyjny wybór dla wymagających procesów plazmowych
Zasilacze TruPlasma DC Serii 4000 to idealne rozwiązanie dla wymagających procesów plazmowych. Dzięki szerokiemu zakresowi charakterystyki prądowo-napięciowej zapewniają pełną moc w procesach produkcyjnych. W ten sposób kwalifikują się do zaawansowanych procesów rozpylania magnetronowego oraz standardowych DC i impulsowych zastosowań plazmowych. Tak jak zasilacze DC, wyposażone są w doskonały system detekcji łuku.
Dzięki zaawansowanej technologii sterowania DSP straty czasu związane z występowaniem łuków zostają zminimalizowane.
Lepsze wyniki dzięki ograniczeniu osadzania makrocząsteczek i uszkodzeń podłoża
Elastyczność dzięki szerokiemu zakresowi mocy i częstotliwości pulsowania do 100 kHz
Reaktywne rozpylanie wymagających materiałów
Impulsowe zasilacze TruPlasma DC Serii 4000 zostały zaprojektowane specjalnie na potrzeby reaktywnego rozpylania wymagających materiałów. Zasilacze sprawdziły się we wszystkich kluczowych procesach PVD i PECVD, na przykład w produkcji ogniw słonecznych, półprzewodników lub twardych powłok.
Wymagające procesy plazmowe
Zasilacze TruPlasma DC Serii 4000 to idealne rozwiązanie dla wymagających procesów plazmowych. Dzięki szerokiemu zakresowi charakterystyki prądowo-napięciowej zapewniają pełną moc w procesach produkcyjnych. W ten sposób kwalifikują się do zaawansowanych procesów rozpylania magnetronowego oraz standardowych DC i impulsowych zastosowań plazmowych. Tak jak zasilacze DC, wyposażone są w doskonały system detekcji łuku.
Wysoka wydajność
W pełni cyfrowy system detekcji łuków o bardzo małej energii łuku pozwala uzyskać wysokiej jakości powłoki i dużą prędkość osadzania. Pozwala to na większe ograniczenie osadzania makrocząsteczek i uszkodzeń podłoża. Wraz z bardzo małą energią resztkową łuku następuje bezpośrednia poprawa procesu i produktu końcowego. Stabilne i powtarzalne czasy technologiczne zapewniają wysoką produktywność z bardzo krótkimi przerwami technologicznymi.
Łatwe w obsłudze dostosowanie parametrów procesu
Zasilacze TruPlasma DC Serii 4000 dysponują zsynchronizowanym systemem zarządzania detekcją łuków, częstotliwością impulsów i przesunięciem fazowym. Parametry częstotliwości i impulsów można dowolnie dopasowywać, dzięki czemu jedno urządzenie może sterować dużą liczbą procesów. Możliwy jest również synchroniczny impuls kilku zasilaczy TruPlasma DC 4000.
PVDPower
Przyjazne dla użytkownika, wielojęzyczne oprogramowanie PVD Power oferuje różne możliwości działania, konfiguracji i diagnostyki w celu optymalizacji jakości procesu i skutecznego rozwiązywania problemów: wyświetlanie rzeczywistych wartości wszystkich istotnych parametrów procesu, jak również ostrzeżeń i alarmów, ustawianie żądanej wartości przez operatora, nagrywanie i wizualizacja ważnych parametrów pracy z wysoką rozdzielczością czasową (oscyloskop).
W zależności od kraju możliwe są odstępstwa od podanego asortymentu i tych informacji. Zastrzega się możliwość zmian w technologii, wyposażeniu, cenie lub ofercie akcesoriów. Proszę skontaktować się z lokalną osobą kontaktową, aby ustalić, czy produkt jest dostępny w Państwa kraju.
