Idealne rozwiązanie dla zastosowań HiPIMS
Zasilacze TruPlasma Highpulse Serii 4000 mogą być stosowane jako alternatywa dla zasilaczy DC w istniejących systemach magnetronowych bez modyfikacji.
Gęsta plazma uzyskana dzięki impulsom o mocy do 8 MW umożliwia uzyskanie najlepszych wyników powlekania.
Doskonałe wyniki procesu przy rozpylaniu impulsowo-magnetronowym dużej mocy (HIPIMS)
Moc impulsu od 1 MW do 8 MW, średnia moc 10 kW do 20 kW
Zastosowania HIPIMS
Zasilacze TruPlasma Highpulse Serii 4000 są doskonałym wyborem dla zastosowań HIPIMS. Jako najnowsze rozwiązanie impulsowa metoda rozpylania PVD dużej mocy pozwala przygotować warstwy utwardzające szczególnie odporne na korozję i na ścieranie.
Trawienie plazmowe, wstępna obróbka ubytkowa powierzchni oraz "trench-filling”
Skoki mocy do 8 megawatów generują ekstremalne gęstości plazmy o dużych strumieniach jonów. Zasadniczo w technologii HIPIMS nie powstają kropelki materiału (droplets) podobnie jak w przypadku wyładowań Arc. W połączeniu z polaryzowanymi surowcami TruPlasma Highpulse serii 4000 może również obsługiwać aplikacje półprzewodnikowe, na przykład wytrawianie, wstępną obróbkę powierzchni i trench-filling.
Idealne do pokrywania dużych powierzchni
Powlekanie dużych powierzchni w procesie plazmowym stawia szczególnie wysokie wymagania dla mocy procesowej. Zasilacze TruPlasma Highpulse Serii 4000 dzięki stabilnemu zasilaniu prądowemu optymalnie dostosowanemu do danego procesu zapewniają uzyskanie doskonałych, powtarzalnych wyników.
Produkcja ogniw fotowoltaicznych
W obszarze ogniw fotowoltaicznych istnieje wiele aplikacji o zróżnicowanym zapotrzebowaniu na energię procesową. Zasilacze TruPlasma Highpulse Serii 4000 mogą być optymalnie dostosowane do danego procesu, dzięki czemu pozwalają osiągnąć doskonałe parametry powlekania oraz wysoką efektywność.
Optymalne wyniki procesu
Zasilacze TruPlasma Highpulse Serii 4000 oferują niezrównany poziom elastyczności w zakresie procesów badawczych i przemysłowych oraz eliminują rozpylanie makrocząsteczek materiału (droplets), minimalizując wady powierzchniowe. W pełni cyfrowy system detekcji łuków o bardzo małej energii łuku pozwala uzyskać wysokiej jakości powłoki i dużą prędkość osadzania.
Możliwość elastycznego zastosowania
Zasilacze TruPlasma Highpulse Serii 4000 można łatwo dostosować do istniejących systemów katodowych i warunków procesowych, co umożliwia optymalną integrację urządzenia.
Różnorodność opcji konfiguracji pozwala na dostosowanie zasilaczy TruPlasma Highpulse Serii 4000 do wielu zastosowań.
W pełni cyfrowy system detekcji łuków o bardzo małej energii łuku pozwala uzyskać wysokiej jakości powłoki i dużą prędkość osadzania.
PVDPower
Przyjazne dla użytkownika, wielojęzyczne oprogramowanie PVDPower oferuje różne możliwości obsługi, konfiguracji i diagnostyki w celu optymalizacji jakości procesu i skutecznego rozwiązywania problemów; wyświetlanie rzeczywistych wartości wszystkich istotnych parametrów procesu, jak również ostrzeżeń i alarmów, ustawienie żądanej wartości przez operatora.
W zależności od kraju możliwe są odstępstwa od podanego asortymentu i tych informacji. Zastrzega się możliwość zmian w technologii, wyposażeniu, cenie lub ofercie akcesoriów. Proszę skontaktować się z lokalną osobą kontaktową, aby ustalić, czy produkt jest dostępny w Państwa kraju.
