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Gerador de alta frequência TruPlasma RF 3006
Gerador de alta frequência TruPlasma RF 3006
Estimulações por plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13)

Processos estáveis para maior produtividade

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    Geradores de alta frequência de última geração

    No revestimento ou estruturação de superfícies, o fator decisivo é a alimentação de corrente de plasma estável e reprodutível. Aqui, os geradores de alta frequência equipados com eletrônica de potência moderna do TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) oferecem as melhores condições: graças à potência de saída estável e à alta precisão de regulagem, eles conseguem garantir os melhores resultados em produtividades altas.

    Alta precisão e reprodutibilidade

    Tecnologia CombineLine: desempenho de processo ideal graças à impedância de saída real de 50 Ohm.

    Independentemente do comprimento do cabo de alta tensão

    Não é mais necessário efetuar ajustes no comprimento do cabo - uma novidade na área de alta frequência!

    Robustez e segurança

    Tecnologia CombineLine: proteção confiável contra potências refletidas em adaptações incorretas.

    Eficiência e rentabilidade

    Níveis de eficiência de até 80 % permitem uma redução dos custos com energia em até 50 %.

    Conceito de refrigeração sem ar

    Sem aquecimento ou poluição do ar do ambiente, por isso é possível operar em ambientes estéreis.

    Gerador de alta frequência TruPlasma RF 3006

    Ideal para revestimento de telas planas

    Os geradores de alta frequência TruPlasma Série RF 1000 / 3000 (G2/13) são ideais para processos de plasma como RIE, ALD, PECVD e pulverização catódica. Esses processos são aplicados, por exemplo, na fabricação de elementos de semicondutores e sistemas microeletromecânicos (MEMS), bem como no revestimento de telas planas e células solares.

    Fabricação de células solares

    Área de aplicação típica: a indústria solar

    As áreas de aplicação típicas do TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) são processos rigorosos de PECVD, gravação e de pulverização de alta frequência nas indústrias de tela plana, solar e de semicondutores.

    Ideal para processos de gravação e revestimento

    Fabricação de semicondutores

    Na fabricação de semicondutores são usados diversos processos de plasma, desde processos de deposição por gravação a seco até método de flutuação de zona na fabricação de silício puro. Os geradores TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) oferecem todas as condições para uma alimentação de corrente estável, ideal e conforme o respectivo processo, de maneira que resultados excelentes e reprodutíveis possam ser atingidos.

    TruPlasma RF 1002
    TruPlasma RF 1003
    TruPlasma RF 3006
    Saída de alta frequência      
    Potência de saída 2 kW 3 kW 6 kW
    Potência nominal 2 kW 3 kW 6 kW
    Impedância de carga nominal 50 Ω 50 Ω 50 Ω
    Frequência de saída 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
    Dados de conexão de rede      
    Tensão de rede 200 - 480 V 200 - 480 V 200 - 480 V
    Frequência de rede 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz
    Potência de aceitação de rede 3,1 kVA 4,3 kVA 7,9 kVA
    Fator de potência 0,95 0,95 0,95
    Interfaces de comunicação      
    Interfaces sincr. Sim Sim Sim
    Analógico/Digital Sim Sim Sim
    RS 232 / RS 485 Sim Sim Sim
    PROFIBUS Sim Sim Sim
    EtherCAT Sim Sim Sim
    DeviceNet Sim Sim Sim
    Carcaça      
    Peso 18 kg 18 kg 38 kg
    Tipo de proteção IP 30 30 30
    Requisitos de refrigeração      
    Pressão máx. água 7 Bar 7 Bar 7 Bar
    Diferencial de pressão mín. 1,1 Bar 1,1 Bar 1,1 Bar
    Quantidade mín. de fluxo 4 l/min 4 l/min 8 l/min
    Temperatura do líquido de refrigeração 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1
    Informações gerais      
    Nível de eficiência total 80 % 80 % 80 %
    Certificados / normas Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs
    Condições ambientais      
    Temperatura externa 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
    Umidade do ar 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Pressão barométrica 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
    PDF <1MB
    Ficha de dados técnica

    Os dados técnicos de todas as versões de produto como download.

    Tecnologia CombineLine integrada

    Ajuste ideal ao seu processo

    A correspondência inteligente em tempo real do TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) garante uma adaptação de impedância rápida e direta em 50 Ohm. As oscilações de plasma e poluições são impedidas de maneira confiável com a tecnologia patenteada CombineLine, o conceito de refrigeração sem ar reduz a taxa de interrupções, aumenta a eficiência e permite a utilização em ambientes estéreis.

    Gerador de alta frequência para circuitos oscilantes paralelos

    Máxima eficiência e flexibilidade

    Graças aos altos níveis de eficiência de até 80%, você consegue reduzir os custos energéticos em comparação com geradores comuns em até 50%. As diversas interfaces disponíveis (interface analógica configurável, RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) facilitam a integração a sistemas existentes, as adaptações técnicas não são mais necessárias devido aos ultra-adaptadores de rede integrados mundiais (200-480 VAC). A forma compacta, apesar da alta densidade de potência (módulos de 19 polegadas e 19 e meia polegadas), permite uma integração com economia de espaço em todos os sistemas de produção.

    TruPlasma RF_Relatório de sistema

    TRUMPF SystemPort

    O SystemPort permite um circuito de regulagem fechado por meio da medição do sinal de RF diretamente na entrada e saída do Matchbox. Diversos valores de medição estão à disposição do gerador de RF. Assim, os parâmetros de processo podem ser melhor monitorados, o Matchbox é protegido e é possível garantir uma detecção de arco rápida. Todo o sistema de RF também pode ser controlado por interfaces do gerador individuais.

    As diferentes opções permitem uma adaptação ideal do gerador de alta frequência à sua aplicação.

    Gestão de arco de alta frequência

    A gestão de arcos sofisticada é o módulo ideal para o melhor controle do processo de plasma. Uma detecção de arco específica garante a maior produtividade possível e protege ainda o produto e o sistema.

    Auto Frequency Tuning

    A solução patenteada Auto Frequency Tuning permite um ajuste de frequência simultâneo e rápido e garante uma interação ideal entre o gerador e o Matchbox. Com essa tecnologia patenteada, a quantidade mínima local não é mais um obstáculo: o sistema de RF foi concebido de forma ideal e, por isso, permite os melhores resultados de processo e um alto nível de capacidade de reprodução.

    Todos os componentes do sistema catódico da TRUMPF estão perfeitamente ajustados entre si.

    Solução de sistema catódico: Matchbox para a máxima estabilidade de processo
    Matchbox do TruPlasma Match Série 1000 (G2/13)

    As redes de adaptação do TruPlasma Match garantem uma transferência ideal de potência do gerador para a descarga de plasma. A operação do Matchbox pode ser feita de maneira autônoma ou por uma ligação inteligente Matchbox-gerador, o chamado SystemPort.

    Oscilador mestre para estabilização de processos de plasma síncronos críticos
    Osciladores mestre

    Por causa dos osciladores mestre, os processos de plasma síncronos críticos podem ser estabilizados e otimizados. Um sintetizador digital integrado de frequência e fase garante uma grande estabilidade de frequência e fase e permite o ajuste da posição de fase em incrementos muito pequenos. Há diversas versões de osciladores mestre disponíveis para a frequência 13,56 MHz, bem como para diferentes combinações de frequência.

    Comutador de alta frequência para utilização de um gerador de alta frequência em sistemas de plasma flexíveis
    Comutador de alta frequência

    O comutador de alta frequência permite a utilização múltipla de um gerador de alta frequência em diversas estações de processo de plasma, como para alimentação de tensão de processos sequenciais ou em sistemas com diversos pontos de alimentação. Há diversos comutadores de alta frequência disponíveis em duas classes de potência com 2, 3 ou 4 saídas.

    Cabo coaxial para transmissão de potência específica
    Cabo coaxial

    Para a transmissão de potência de alta frequência, a TRUMPF Hüttinger fornece cabos coaxiais especialmente concebidos para a operação em sistemas de 50 Ohm.

    Gerador e Matchbox: uma solução de sistema perfeitamente ajustada

    Ajuste perfeito: o sistema catódico da TRUMPF

    Os processos de plasma se comportam como uma carga complexa e variável que precisa receber uma alimentação elétrica de maneira contínua. Isso é feito por redes de adaptação ativas, chamadas de Matchboxes, que garantem uma adaptação precisa à impedância ideal de 50 Ohm a qualquer momento. Assim surge uma solução de sistema perfeitamente ajustada, o sistema catódico da TRUMPF. Por diversas interfaces, entre elas EtherCAT, é possível integrar o gerador e o Matchbox de maneira simples ao ambiente de processo existente. Com a ligação inteligente entre o Matchbox e o gerador, o chamado SystemPort, atinge-se a solução de sistema ideal.

    Dependendo do país, pode haver divergências na oferta de produtos e nos dados apresentados. Reserva-se o direito de efetuar alterações em tecnologia, equipamento, preço e oferta de acessórios. Entre em contato com nosso parceiro no local para saber se o produto está disponível em seu país.

    Notas de rodapé
    • A temperatura do líquido de refrigeração deve exceder o ponto de orvalho da temperatura do ar ambiente para assegurar ausência de condensação.

    Esses temas também podem ser interessantes

    Ideal geeignet für Großflächenbeschichtung
    Alimentação elétrica para seu processo de plasma

    Os geradores de plasma da TRUMPF Hüttinger apresentam um amplo espectro de potência e frequência. Informe-se aqui sobre nossos produtos.

    RF-Systemlösung : Matchbox für höchste Prozessstabilität
    Matching inteligente por medição em tempo real

    Os novos Matchboxes da TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) são o complemento perfeito de nossos geradores de radiofrequência e contribuem para uma solução completa: o sistema de radiofrequência da TRUMPF.

    Services_Electronics_Technical_Support
    Assistência incomparável

    Com um contrato de assistência sob medida, você consegue o máximo de disponibilidade do gerador com controle dos custos operacionais e de manutenção.

    Contato

    Klaus Nock
    Vendas de plasma
    Fax: +49 761 89711150
    E-mail

    Downloads

    Catálogo TruPlasma RF Série 1000 3000

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    Catálogo TruPlasma RF Série 1000 3000
    pdf - 337 KB
    Catálogo do sistema do TruPlasma RF
    pdf - 6 MB
    Whitepaper Autofrequency Tuning
    pdf - 1 MB
    Whitepaper Precision in Processing
    pdf - 2 MB
    Assistência e contato