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Geradores de alta frequência TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006
Geradores de alta frequência TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006
Estimulações por plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Série 3000

Tecnologia de alta frequência sem compromissos

Garantia de excelentes resultados de processo

Com esses geradores de alta frequência, você sempre fica do lado seguro: os TruPlasma RF Série 3000 se destacam pela construção robusta e alta eficiência. Por isso, eles são os mais adequados para processos de plasma reprodutíveis, estáveis, como para a fabricação de telas planas, células solares ou semicondutores. Instalados em milhares de aplicações no mundo todo, esses geradores garantem uma alta produtividade e resultados de processo sensacionais.

Eficiência e rentabilidade

Níveis de eficiência de até 80 % permitem uma redução dos custos com energia em até 50 %.

Excelente gestão de arco catódico

Controle seguro inclusive de processos novos e exigentes.

Grande robustez e estabilidade de processo

Tecnologia CombineLine: proteção confiável contra potências refletidas em adaptações incorretas.

Máxima flexibilidade

Débito de potência contínuo ou pulsado, por isso pode ser usado em inúmeras aplicações.

Ideal para processos de gravação e revestimento

Processos de gravação e revestimento

Os geradores de alta frequência TruPlasma RF Série 3000 são adequados principalmente para processos de revestimento e gravação, como gravação por plasma, gravação iônica reativa, ALD e PECVD.

Ideal para revestimento de peças de metal

Revestimento de peças de metal

Por meio de processos de plasma, o material pode ser aplicado e retirado das superfícies, como durante o revestimento de peças de trabalho de metal com uma camada de proteção contra desgaste ou na estruturação de elementos eletrônicos por gravação por plasma ou incineração de plasma fotorresistente.

Alimentação elétrica de ponta para revestimentos de telas planas

Ideal para revestimento de telas planas e células solares

Os geradores de alta frequência TruPlasma RF Série 3000 são ideais para processos de plasma como RIE, ALD, PECVD e pulverização catódica. Esses processos são aplicados, por exemplo, no revestimento de telas planas e células solares.

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Saída de alta frequência          
Potência de saída 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
Potência nominal 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
Impedância de carga nominal 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω
Frequência de saída 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
Dados de conexão de rede          
Tensão de rede 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V
Frequência de rede 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
Potência de aceitação de rede 16,6 kVA 28,1 kVA 33,3 kVA 80 kVA 100 kVA
Fator de potência 0,93 0,93 0,93 - -
Interfaces de comunicação          
Interfaces sincr. Sim Sim Sim Sim Sim
Analógico/Digital Sim Sim Sim Sim Sim
RS 232 / RS 485 Sim Sim Sim Sim Sim
PROFIBUS Sim Sim Sim Sim Sim
EtherCAT Sim Sim Sim Não Não
DeviceNet Sim Sim Sim Sim Sim
Carcaça          
Peso 57 kg 117 kg 117 kg 1000 kg 1200 kg
Tipo de proteção IP 20 20 20 54 54
Requisitos de refrigeração          
Pressão máx. água 7 Bar 7 Bar 7 Bar 6 Bar 6 Bar
Diferencial de pressão mín. 2 Bar 2 Bar 2 Bar 2,5 Bar 2,5 Bar
Quantidade mín. de fluxo 10 l/min 20 l/min 20 l/min 46 l/min 56 l/min
Temperatura do líquido de refrigeração 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1
Informações gerais          
Nível de eficiência total 78 % 75 % 75 % - -
Certificados / normas SEMI F47,CE, RoHs SEMI F47,CE, RoHs SEMI F47,CE, RoHs CE, SEMI F47 CE, SEMI F47
Condições ambientais          
Temperatura externa 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
Umidade do ar 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Pressão barométrica 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Ficha de dados técnica

Os dados técnicos de todas as versões de produto como download.

Tecnologia CombineLine integrada

Eficiência e estabilidade de processo máximas

Redução de perda de potência pela metade e diminuição dos custos indiretos de água de refrigeração graças ao excelente nível de eficiência – assim é possível reduzir seus custos operacionais. A construção bastante robusta dos geradores permite tempos de funcionamento mais longos, mesmo em processos críticos, e taxas de revestimento maiores. As oscilações de plasma são efetivamente evitadas pela tecnologia CombineLine com impedância de saída de 50 Ohm – assim os processos absolutamente estáveis são possíveis.

Gerador de alta frequência TruPlasma RF 3012

Segurança sob qualquer circunstância

A construção robusta garante o máximo de confiabilidade e produtividade para seu processo. Uma proteção contra adaptação incorreta de 100% garante uma operação segura, inclusive em cargas críticas. O débito de potência opcional contínuo ou pulsado suporta uma grande faixa de exigências de processo. No mundo, há 20.000 unidades já instaladas – mais do que qualquer outra alimentação de plasma.

TruPlasma RF_Porta de sistema

TRUMPF SystemPort

O SystemPort permite um circuito de regulagem fechado por meio da medição do sinal de RF diretamente na entrada e saída do Matchbox. Diversos valores de medição estão à disposição do gerador de RF. Assim, os parâmetros de processo podem ser melhor monitorados, o Matchbox é protegido e é possível garantir uma detecção de arco rápida. Todo o sistema de RF também pode ser controlado por interfaces do gerador individuais.

As diferentes opções permitem uma adaptação ideal do gerador de alta frequência à sua aplicação.

Gestão de arco

A gestão de arcos sofisticada é o módulo ideal para o melhor controle do processo de plasma. Uma detecção de arco específica garante a maior produtividade possível e protege ainda o produto e o sistema.

Software TruControl Power fácil de usar

TruControl Power

O software de comando TruControl Power de fácil utilização permite uma colocação em funcionamento confortável e o monitoramento seguro do gerador de alta frequência e de todo o sistema catódico TRUMPF no processo em andamento.

Todos os componentes do sistema catódico da TRUMPF estão perfeitamente ajustados entre si.

Solução de sistema catódico: Matchbox para a máxima estabilidade de processo
TruPlasma Match Série 1000 (G2/13)

As redes de adaptação do TruPlasma Match garantem uma transferência ideal de potência do gerador para a descarga de plasma. A operação do Matchbox pode ser feita de maneira autônoma ou por uma ligação inteligente Matchbox-gerador, o chamado SystemPort.

Oscilador mestre para estabilização de processos de plasma síncronos críticos
Osciladores mestre

Por causa dos osciladores mestre, os processos de plasma síncronos críticos podem ser estabilizados e otimizados. Um sintetizador digital integrado de frequência e fase garante uma grande estabilidade de frequência e fase e permite o ajuste da posição de fase em incrementos muito pequenos. Há diversas versões de osciladores mestre disponíveis para a frequência 13,56 MHz, bem como para diferentes combinações de frequência.

Comutador de alta frequência para utilização de um gerador de alta frequência em sistemas de plasma flexíveis
Comutador de alta frequência

O comutador de alta frequência permite a utilização múltipla de um gerador de alta frequência em diversas estações de processo de plasma, como para alimentação de tensão de processos sequenciais ou em sistemas com diversos pontos de alimentação. Há diversos comutadores de alta frequência disponíveis em duas classes de potência com 2, 3 ou 4 saídas.

Cabo coaxial para transmissão de potência específica
Cabo coaxial

Para a transmissão de potência de alta frequência, a TRUMPF Hüttinger fornece cabos coaxiais especialmente concebidos para a operação em sistemas de 50 Ohm.

Gerador e Matchbox: uma solução de sistema perfeitamente ajustada

Ajuste perfeito: gerador e Matchbox

Os processos de plasma se comportam como uma carga complexa e variável que precisa receber uma alimentação elétrica de maneira contínua. Isso é feito por redes de adaptação ativas, chamadas de Matchboxes, que garantem uma adaptação precisa à impedância ideal de 50 Ohm a qualquer momento. Assim surge uma solução de sistema perfeitamente ajustada, o sistema catódico da TRUMPF. Por diversas interfaces, entre elas EtherCAT, é possível integrar o gerador e o Matchbox de maneira simples ao ambiente de processo existente. Com a ligação inteligente entre o Matchbox e o gerador, o chamado SystemPort, atinge-se a solução de sistema ideal.

Dependendo do país, pode haver divergências na oferta de produtos e nos dados apresentados. Reserva-se o direito de efetuar alterações em tecnologia, equipamento, preço e oferta de acessórios. Entre em contato com nosso parceiro no local para saber se o produto está disponível em seu país.

Notas de rodapé
  • A temperatura do líquido de refrigeração deve exceder o ponto de orvalho da temperatura do ar ambiente para assegurar ausência de condensação.

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Contato

Klaus Nock
Vendas de plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

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Catálogo TruPlasma RF Série 3000
Catálogo TruPlasma RF Série 3000
pdf - 1 MB
Catálogo do sistema do TruPlasma RF
pdf - 6 MB
Assistência e contato