Geradores de plasma MF
Os geradores de plasma MF da TRUMPF Hüttinger são principalmente utilizados em sistemas catódicos duplos, por exemplo, para a pulverização catódica de magnetrão dual. Graças à sua alta potência de saída e estabilidade de processo, os geradores de frequência média são adequados para o revestimento de grandes superfícies de vidro de arquitetura com elevadas taxas de deposição e para a aplicação de camadas ultrafinas, homogêneas em semicondutores e células solares. Graças à sua excelente precisão e produtividade, nossas alimentações elétricas de processo MF representam a solução ideal para inúmeras aplicações na formação de plasma.
TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2)
Os abastecimentos de corrente do processo do TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2) são ideais para processos de plasma exigentes, como pulverização reativa, PVD e PECVD. Com sinais de saída com formação flexível e uma gestão de arco refinada, eles fornecem resultados excelentes na fabricação de semicondutores e células solares, além de revestimento de vidro para arquitetura e aplicação de camadas decorativas e resistentes a desgaste.
TruPlasma MF Série 7000
Com os geradores de média frequência TruPlasma Série MF 7000 (G2) você tem sempre o controle total sobre o processo – o resultado são as qualidades de camada sensacionais e a maior produtividade inclusive em aplicações de camada exigentes. Com níveis de eficiência de pico de mais de 90%, essas alimentações de corrente de última geração são também extremamente econômicas na operação.