A primeira opção para aplicações HiPIMS
Os geradores TruPlasma Highpulse Série 4000 podem ser usados como alternativa aos geradores de pulverização de CC em sistemas de magnétron existentes sem modificações.
Impulsos de até 8 MW geram um plasma extremamente denso para os melhores resultados de revestimento.
Resultados de processo excelentes em pulverização catódica de magnétrons (HIPIMS).
Potência de pulso de 1 MW a 8 MW, potência média de 10 kW a 20 kW.
Aplicações HiPIMS
Os geradores TruPlasma Highpulse Série 4000 são a primeira opção para aplicações HIPIMS. Como o novo desenvolvimento do processo de pulverização pulsada PVD, o HIPIMS fornece revestimentos de materiais de resina especialmente resistentes à corrosão e ao desgaste.
Gravação, preparação de superfícies e preenchimento
Picos de potência de até 8 Megawatt criam densidades de plasma extremas com grande fluxo de íons. Primeiramente comparável a uma descarga de arco, na tecnologia HIPIMS não há gotas de material (droplets). Em combinação com substratos polarizados, o TruPlasma Highpulse Série 4000 também pode ser útil em aplicações de semicondutores, como gravação, preparação de superfícies e preenchimento.
Ideal para revestimentos de grandes áreas
Os revestimentos de grandes áreas exigem bastante da alimentação de corrente no processo de plasma. Os geradores TruPlasma Highpulse Série 4000 oferecem todas as condições para uma alimentação de corrente estável, ideal e conforme o respectivo processo, de maneira que os resultados excelentes e reprodutíveis possam ser atingidos.
Fabricação de células solares
Na área fotovoltaica, há diversas áreas de aplicação para energia de processo sob medida. Os geradores TruPlasma Highpulse Série 4000 podem ser ajustados de maneira ideal aos respectivos processos e permitem excelentes parâmetros de revestimento bem como alta produtividade.
Resultados de processo ideais
Os geradores TruPlasma Highpulse Série 4000 oferecem uma flexibilidade inigualável para processos de pesquisa e industriais e permite a pulverização sem gotas e com o mínimo de defeitos na superfície. A gestão de arco totalmente digital com energia de arco muito baixa baseada em medição de corrente em tempo real propicia a alta qualidade de camadas e taxas de separação.
Aplicação flexível
Os geradores TruPlasma Highpulse Série 4000 podem ser adaptados facilmente aos sistemas catódicos e condições de processo existentes e permite uma ligação ideal de aparelhos.
As diferentes opções garantem uma adaptação ideal do Tru Plasma Highpulse Série 4000 à sua aplicação.
A gestão de arco totalmente digital com energia de arco muito baixa propicia a alta qualidade de camadas e taxas de separação.
PVD Power
O software fácil de usar e em diversos idiomas PVD Power oferece várias opções para operação, configuração e diagnóstico para otimização da qualidade de processo e solução de falhas eficaz: exibição de valores reais de todos os parâmetros de processo relevantes, bem como avisos e mensagens de alarme, especificação de valores nominais pelo operador, gravação e visualização de parâmetros operacionais importantes em alta resolução (função do osciloscópio).
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