Geradores universais para seu processo de pulverização
O TruPlasma Bias Série 4000 é uma série de produtos de geradores de corrente contínua de polarização pulsada mais modernos. As frequências de pulsos de até 100 kHz e a saída de polarização contínua são possíveis. Os geradores oferecem suporte principalmente a aplicações de revestimento ópticas e metálicas, como as usadas na tecnologia de semicondutores ou de revestimento de resina. Além disso, eles se ajustam a requisitos comparáveis conforme a tensão e a corrente.
1200 V para processos de gravação em substratos,
300 V para processos de revestimento com base em polarização.
Por isso, a pouca deposição de gotas e danos ao substrato.
Gestão de arco excelente graças à moderna tecnologia DSP e análise de sinal FPGA.
TruPlasma Bias 4012
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TruPlasma Bias 4018
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TruPlasma Bias 4026
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Saída | |||
Potência nominal | 12 kW | 18 kW | 26 kW |
Corrente de saída máxima | 40 A eff | 60 A eff | 87 A eff |
Tensão de saída máxima | 1200 V eff | 1200 V eff | 1200 V eff |
Frequência operacional nominal | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz |
Parâmetros do arco | |||
Taxa de arco máxima | 50 1/s | 50 1/s | 50 1/s |
Tempo de processamento de arcos | <0,5 µs | <0,5 µs | <0,5 µs |
Dados de conexão de rede | |||
Tensão de rede | 3x 360 V - 440 V | 3x 360 V - 440 V | 3x 360 V - 440 V |
Frequência de rede | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
Interfaces de comunicação | |||
Analógico/Digital | Sim | Sim | Sim |
RS 232 / RS 485 | - | Sim | - |
PROFIBUS | Sim | - | Sim |
EtherCAT | Não | Não | Não |
Carcaça | |||
Peso | 70 kg | 70 kg | 71 kg |
Tipo de proteção IP | IP 20 | IP 20 | IP 20 |
Requisitos de refrigeração | |||
Meio de refrigeração | Ar | Ar | Ar |
Temperatura do líquido de refrigeração | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
Informações gerais | |||
Nível de eficiência total | 90 % | 90 % | 90 % |
Certificados / normas | CE | CE | CE |
Condições ambientais | |||
Temperatura externa | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
Umidade do ar | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
Pressão barométrica | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa |
Os dados técnicos de todas as versões de produto como download.

Garantia de condições de processo constantes e boas
O design de potência e controle especial garante uma estabilidade de tensão consolidada e decisiva para a qualidade de camadas e estabilidade do processo. Concebido com tecnologia DSP e com uma análise de sinais FPGA, o TruPlasma Bias Série 4000 possui uma moderna gestão de arco, que oferece uma precisão única e precisão de repetição. Os valores impressionantes de ambos os parâmetros garantem a estabilidade ideal do processo.

Manuseio do sistema simplificado com apenas um aparelho para diversos processos
O TruPlasma Bias Série 4000 possui dois modos de tensão separados: um modo de alta tensão com até 1200 Volt e um modo de baixa tensão com até 300 Volt. Os modos oferecem suporte principalmente a aplicações de revestimento ópticas e metálicas, como na tecnologia de semicondutores ou revestimento de resinas. Além disso, eles se ajustam a requisitos comparáveis conforme a tensão e a corrente.

Qualidade de camada ideal por processos perfeitos
Os geradores TruPlasma Bias Série 4000 são equipados com uma gestão de arco totalmente digital com energia de arco mínima e CompensateLine, por isso permitem qualidades de camadas e taxas de deposição maiores. Assim, há uma baixa ocorrência de separações de gotas e danos ao substrato, o processo e o produto são otimizados.

PVD Power
O software fácil de usar e em diversos idiomas PVD Power oferece várias opções para operação, configuração e diagnóstico para otimização da qualidade de processo e solução de falhas eficaz: exibição de valores reais de todos os parâmetros de processo relevantes, bem como avisos e mensagens de alarme, especificação de valores nominais pelo operador, gravação e visualização de parâmetros operacionais importantes em alta resolução (função do osciloscópio).
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