Geradores universais para seu processo de pulverização
O TruPlasma Bias Série 4000 é uma série de produtos de geradores de corrente contínua de polarização pulsada mais modernos. As frequências de pulsos de até 100 kHz e a saída de polarização contínua são possíveis. Os geradores oferecem suporte principalmente a aplicações de revestimento ópticas e metálicas, como as usadas na tecnologia de semicondutores ou de revestimento de resina. Além disso, eles se ajustam a requisitos comparáveis conforme a tensão e a corrente.
1200 V para processos de gravação em substratos,
300 V para processos de revestimento com base em polarização.
Por isso, a pouca deposição de gotas e danos ao substrato.
Gestão de arco excelente graças à moderna tecnologia DSP e análise de sinal FPGA.
Fabricação de camadas resistentes a desgaste
Os geradores TruPlasma Bias Série 4000 garantem um processo de plasma estável e, assim, uma qualidade de camada ideal.
Revestimentos de grandes áreas
Os revestimentos de grandes áreas exigem bastante da alimentação de corrente no processo de plasma. Os geradores TruPlasma Bias Série 4000 oferecem todas as condições para uma alimentação de corrente estável, ideal e conforme o respectivo processo, de maneira que os resultados excelentes e reprodutíveis possam ser atingidos.
Fabricação de células solares
Os geradores TruPlasma Bias Série 4000 se destacam em todos os processos de PVD e PECV críticos e oferecem todas as condições para uma alimentação de corrente estável, ideal e conforme o respectivo processo, de maneira que resultados excelentes e reprodutíveis possam ser atingidos.
TruPlasma Bias 4012
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TruPlasma Bias 4018
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TruPlasma Bias 4026
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|---|---|---|---|
| Saída | |||
| Potência nominal | 12 kW | 18 kW | 26 kW |
| Corrente de saída máxima | 40 A eff | 60 A eff | 87 A eff |
| Tensão de saída máxima | 1200 V eff | 1200 V eff | 1200 V eff |
| Frequência operacional nominal | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz |
| Parâmetros do arco | |||
| Taxa de arco máxima | 50 1/s | 50 1/s | 50 1/s |
| Tempo de processamento de arcos | <0,5 µs | <0,5 µs | <0,5 µs |
| Dados de conexão de rede | |||
| Tensão de rede | 3x 360 V - 440 V | 3x 360 V - 440 V | 3x 360 V - 440 V |
| Frequência de rede | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Interfaces de comunicação | |||
| Analógico/Digital | Sim | Sim | Sim |
| RS 232 / RS 485 | - | Sim | - |
| PROFIBUS | Sim | - | Sim |
| EtherCAT | Não | Não | Não |
| Carcaça | |||
| Peso | 70 kg | 70 kg | 71 kg |
| Tipo de proteção IP | IP 20 | IP 20 | IP 20 |
| Requisitos de refrigeração | |||
| Meio de refrigeração | Ar | Ar | Ar |
| Temperatura do líquido de refrigeração | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
| Informações gerais | |||
| Nível de eficiência total | 90 % | 90 % | 90 % |
| Certificados / normas | CE | CE | CE |
| Condições ambientais | |||
| Temperatura externa | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
| Umidade do ar | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Pressão barométrica | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa |
Os dados técnicos de todas as versões de produto como download.
Garantia de condições de processo constantes e boas
O design de potência e controle especial garante uma estabilidade de tensão consolidada e decisiva para a qualidade de camadas e estabilidade do processo. Concebido com tecnologia DSP e com uma análise de sinais FPGA, o TruPlasma Bias Série 4000 possui uma moderna gestão de arco, que oferece uma precisão única e precisão de repetição. Os valores impressionantes de ambos os parâmetros garantem a estabilidade ideal do processo.
Manuseio do sistema simplificado com apenas um aparelho para diversos processos
O TruPlasma Bias Série 4000 possui dois modos de tensão separados: um modo de alta tensão com até 1200 Volt e um modo de baixa tensão com até 300 Volt. Os modos oferecem suporte principalmente a aplicações de revestimento ópticas e metálicas, como na tecnologia de semicondutores ou revestimento de resinas. Além disso, eles se ajustam a requisitos comparáveis conforme a tensão e a corrente.
Qualidade de camada ideal por processos perfeitos
Os geradores TruPlasma Bias Série 4000 são equipados com uma gestão de arco totalmente digital com energia de arco mínima e CompensateLine, por isso permitem qualidades de camadas e taxas de deposição maiores. Assim, há uma baixa ocorrência de separações de gotas e danos ao substrato, o processo e o produto são otimizados.
PVD Power
O software fácil de usar e em diversos idiomas PVD Power oferece várias opções para operação, configuração e diagnóstico para otimização da qualidade de processo e solução de falhas eficaz: exibição de valores reais de todos os parâmetros de processo relevantes, bem como avisos e mensagens de alarme, especificação de valores nominais pelo operador, gravação e visualização de parâmetros operacionais importantes em alta resolução (função do osciloscópio).
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