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Estimulações por plasma

TRUMPF Hüttinger

TruPlasma MF Série 7000 (G2)

Os melhores da classe

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Controle total sobre o processo

Com o TruPlasma Série MF 7000 (G2) você mantém seu processo sob controle em qualquer momento: com sua gestão de arcos de qualidade superior e o comportamento de ignição, esses geradores são ideais como alimentação de corrente para revestimentos de grandes áreas (Large Area Coating) e processos reativos exigentes, como Dual Magnetron Sputtering. Com níveis de eficiência de pico de mais de 90% e uma gestão de água de refrigeração especialmente eficiente são extremamente econômicos para a operação.

A maior qualidade de camada e produtividade

Resultados excelentes e altas taxas de revestimento mesmo em processos reativos difíceis.

Máxima eficiência

Com níveis de eficiência de pico
de mais de 90%, são atingidos níveis de eficiência operacional de mais de 80%.

Alimentação de corrente estável em qualquer condição climática

Funcionamento confiável inclusive em temperaturas de água de refrigeração altas e baixas pressões diferenciais.

Aplicação mundial

Ajuste de ligação variável, por isso nenhuma adaptação técnica é necessária.

Alimentação elétrica de média frequência de ponta

Revestimentos de grandes áreas (Large Area Coating) de vidro para arquitetura: materiais difíceis, como SiOx, exigem bastante da estabilidade da alimentação elétrica.

Aplicação das camadas mais finas

Revestimento de telas planas e painéis sensíveis ao toque: por meio da pulverização de magnétron dupla é possível aplicar as camadas mais finas (nm), homogêneas e de alta resistência de AlxOx.

O gerador de média frequência TruPlasma MF Série 7000 (G2) para aplicação de camadas ultrafinas

Fabricação de células solares

Revestimento de vidro solar: a alimentação elétrica estável do TruPlasma MF Série 7000 (G2) permite a aplicação homogênea de camadas condutoras mais finas por pulverização de média frequência.

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Saída
Potência nominal	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW
Corrente de saída máxima	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff
Tensão de saída máxima	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff
Frequência operacional nominal	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz
Parâmetros do arco
Taxa de arco máxima	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s
Energia Arc	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW
Tempo de processamento de arcos	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs
Tensões de ignição
com dispositivo de ignição auxiliar	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V
sem dispositivo de ignição auxiliar	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V
Dados de conexão de rede
Tensão de rede	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V
Frequência de rede	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz
Potência de aceitação de rede	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA
Fator de potência	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95
Carcaça
Peso	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg
Tipo de proteção IP	54	54	54	54	54	54	54	54	54	54
Requisitos de refrigeração
Meio de refrigeração	Água	Água	Água	Água	Água	Água	Água	Água	Água	Água
Pressão máx. água	6 Bar	6 Bar	6 Bar	6 Bar	6 Bar	6 Bar	6 Bar	6 Bar	6 Bar	6 Bar
Diferencial de pressão mín.	2,2 Bar	2,2 Bar	2,2 Bar	2,5 Bar	2,5 Bar	2,2 Bar	2,2 Bar	2,2 Bar	2,5 Bar	2,5 Bar
Quantidade mín. de fluxo	30 l/min	31 l/min	31 l/min	36 l/min	36 l/min	28 l/min	30 l/min	30 l/min	34 l/min	34 l/min
Temperatura do líquido de refrigeração	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
Informações gerais
Nível de eficiência total	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %
Certificados / normas	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18
Condições ambientais
Temperatura externa	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C

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Saída
Potência nominal	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW
Corrente de saída máxima	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff
Tensão de saída máxima	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff
Frequência operacional nominal	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz
Parâmetros do arco
Taxa de arco máxima	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s
Energia Arc	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW
Tempo de processamento de arcos	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs
Tensões de ignição
com dispositivo de ignição auxiliar	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V
sem dispositivo de ignição auxiliar	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V
Dados de conexão de rede
Tensão de rede	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V
Frequência de rede	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz
Potência de aceitação de rede	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA
Fator de potência	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95
Carcaça
Peso	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg
Tipo de proteção IP	54	54	54	54	54	54	54	54	54	54
Requisitos de refrigeração
Meio de refrigeração	Água	Água	Água	Água	Água	Água	Água	Água	Água	Água
Pressão máx. água	6 Bar	6 Bar	6 Bar	6 Bar	6 Bar	6 Bar	6 Bar	6 Bar	6 Bar	6 Bar
Diferencial de pressão mín.	2,2 Bar	2,2 Bar	2,2 Bar	2,5 Bar	2,5 Bar	2,2 Bar	2,2 Bar	2,2 Bar	2,5 Bar	2,5 Bar
Quantidade mín. de fluxo	30 l/min	31 l/min	31 l/min	36 l/min	36 l/min	28 l/min	30 l/min	30 l/min	34 l/min	34 l/min
Temperatura do líquido de refrigeração	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
Informações gerais
Nível de eficiência total	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %
Certificados / normas	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18
Condições ambientais
Temperatura externa	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C

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Ficha de dados técnica

Os dados técnicos de todas as versões de produto como download.

Os geradores TruPlasma MF Série 7000 (G2) garantem a máxima eficiência

Maior rentabilidade e flexibilidade

Os altos níveis de eficiência operacional e o conceito de refrigeração flexível do TruPlasma MF Série 7000 (G2) garantem a maior rentabilidade durante toda a vida útil. Mesmo em condições climáticas adversas e condições de instalações duras, a alimentação elétrica permanece estável a qualquer momento – altas temperaturas de água de refrigeração, baixa pressão da água e alta umidade não influenciam na qualidade do processo. Graças à ampla gama de tensão operacional, você pode usar o gerador de média frequência em todo o mundo .sem necessidade de adaptações técnicas.

Gerador de média frequência TruPlasma MF Série 7000 (G2)

Controle preciso do processo

Com apenas poucas configurações de parâmetros é possível controlar a qualidade de camadas e a produtividade de maneira precisa. Assim você encontra o equilíbrio ideal entre a sensibilidade do tratamento de arcos e a vazão desejada. Além disso, diversas interfaces e o software de controle TruControl Power garantem uma configuração e diagnóstico eficientes.

Gestão de arco superior

Altas velocidades de reação e energias residuais reduzidas de forma correspondente garantem processos estáveis e altas taxas de pulverização. A formação de arcos e o stress térmico são evitados pelo gerador de forma confiável – o resultado são camadas absolutamente homogêneas em toda a superfície do substrato. Além disso, a gestão de arco rápida e confiável permite uma operação sem problemas do gerador em áreas de transição com tensão controlada (modo de transição).

Para o TruPlasma MF Série 7000 (G2) há opções completas disponíveis com as quais o gerador de média frequência pode se ajustar às exigências de sua aplicação.

Gama de frequência ampliada

Os geradores de média frequência de até 100 kW de potência estão disponíveis opcionalmente em uma gama de frequência ampliada de 20 - 70 kHz (o padrão é 20 - 50 kHz).

Dispositivo de ignição auxiliar

Aqui a formação de arcos e o stress térmico são reduzidos. Tensão de ignição e tempo de inicialização podem ser regulados individualmente.

Gestão de arco extremamente rápida

O TruPlasma MF Série 7000 (G2) pode ser equipado com uma gestão de arco extremamente sensível (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW, o padrão é ≤ 10 mJ/kW). Para o UltraFastTreatment é necessária a categoria de segurança 3.

Pronto para todas as situações

Profinet, Profibus, EtherCAT, bem como interfaces analógicas e digitais, permitem uma ligação simples do TruPlasma MF Série 7000 aos sistemas existentes.

Porta do armário de distribuição

A porta do armário de distribuição pode ser adquirida com um ângulo de abertura maior de 180° (o normal é 130°).

Desumidificação ativa do armário de distribuição

Para ambientes com uma alta umidade relativa do ar, o gerador pode ser equipado com um armário de distribuição com uma unidade de desumidicação ativa. Para esse tipo de operação é necessário um controle da água de refrigeração.

TruControl Power

O software de comando fácil de usar e em diversos idiomas TruControl Power oferece você diversas opções de operação, configuração e diagnóstico.

Por meio da seleção de componentes de sistema adequados, é possível ajustar o TruPlasma MF Série 7000 (G2) da melhor maneira conforme seu ambiente de sistema.

Cabo de potência de média frequência

Para o TruPlasma MF Série 7000 (G2) você recebe os cabos de potência de média frequência da TRUMPF Hüttinger. Eles garantem o desempenho de sistema ideal a qualquer momento.

Dependendo do país, pode haver divergências na oferta de produtos e nos dados apresentados. Reserva-se o direito de efetuar alterações em tecnologia, equipamento, preço e oferta de acessórios. Entre em contato com nosso parceiro no local para saber se o produto está disponível em seu país.