Inovador, modular, dimensionável: a nova plataforma de gerador da TRUMPF Hüttinger
Geradores TruPlasma VHF Série 3000 com base em conceito de plataforma inovador que permite a maior densidade de potência e atende às exigências rigorosas. A construção modular e resfriada somente por água permite um dimensionamento da potência de saída de até 80 kW. Além disso, os geradores de frequência ultra-alta compactos se destacam pela grande rentabilidade e design robusto.
Com os Single e Multi-Level Pulsing existentes, ele oferece o melhor controle de processo de plasma.
Por isso, é possível o comando flexível do comportamento de ignição do gerador.
Ajuste de frequência automático para uma interação perfeita entre o gerador e o Matchbox.
Resultados de processo excelentes e reprodutíveis graças à modulação de frequência digital extremamente precisa.
Sem necessidade de ajuste de comprimento do cabo de alta frequência em alterações de processo, por isso os tempos de configuração são reduzidos.
Funcionamento confiável do gerador inclusive em adaptação incorreta graças à tecnologia CombineLine.
Fabricação de células solares
Na área fotovoltaica, há diversas áreas de aplicação para energia de processo sob medida. Aqui são utilizados diferentes processos de plasma para a deposição e retirada de material, como processos de pulverização, PECVD e gravação. Os geradores TruPlasma VHF Série 3000 podem ser adaptados a qualquer processo e a gestão de arco rápida permite o domínio estável do plasma. Assim, os resultados de processos excelentes e a alta produtividade são garantidos.
Fabricação de semicondutores
Na fabricação de semicondutores são usados diversos processos de plasma, desde processos de deposição por gravação a seco até método de flutuação de zona na fabricação de silício puro. Os geradores TruPlasma VHF Série 3000 oferecem todas as condições para uma alimentação de corrente estável, ideal e conforme o respectivo processo, de maneira que resultados excelentes e reprodutíveis possam ser atingidos.
Ideal para revestimento de telas planas
Os geradores de alta frequência TruPlasma VHF Série 3000 são ideais para processos de plasma como RIE, ALD, PECVD e pulverização catódica. Esses processos são aplicados, por exemplo, na fabricação de elementos de semicondutores e sistemas microeletromecânicos (MEMS), bem como no revestimento de telas planas e células solares.
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Truplasma VHF 1000-2.5/60
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TruPlasma VHF 3000-5/40
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TruPlasma VHF 3000-10/40
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|---|---|---|---|
| Saída de alta frequência | |||
| Potência de saída | 2,5 kW | 5 kW | 10 kW |
| Potência nominal | 2,5 kW | 5 kW | 10 kW |
| Impedância de carga nominal | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω |
| Frequência de saída | 60 MHz | 40,68 MHz | 40,68 MHz |
| Dados de conexão de rede | |||
| Tensão de rede | 200 - 480 V | 200 - 480 V | 200 - 480 V |
| Frequência de rede | 50-60 Hz | 50-60 Hz | 50-60 Hz |
| Potência de aceitação de rede | 4 kVA | 9,3 kVA | 18,6 kVA |
| Fator de potência | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Interfaces de comunicação | |||
| Interfaces sincr. | Sim | Sim | Sim |
| Analógico/Digital | Sim | Sim | Sim |
| RS 232 / RS 485 | Sim | Sim | Sim |
| PROFIBUS | Não | Não | Não |
| EtherCAT | Sim | Sim | Sim |
| DeviceNet | Sim | Sim | Sim |
| Caixa | |||
| Peso | 23 kg | 32 kg | 53 kg |
| Tipo de proteção IP | 30 | 30 | 30 |
| Requisitos de refrigeração | |||
| Pressão água máx. | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Diferencial mín. de pressão | 2 bar | 2 bar | 2 bar |
| Quantidade mín. de fluxo | 8 l/min | 8 l/min | 10 l/min |
| Temperatura do líquido de refrigeração | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C |
| Informações gerais | |||
| Nível de eficiência total | 70 % | 70 % | 70 % |
| Certificados / normas | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs |
| Condições ambientais | |||
| Temperatura externa | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Umidade do ar | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Pressão barométrica | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa |
Os dados técnicos de todas as versões de produto como download.
Adaptação flexível ao processo
O conceito de plataforma modular do TruPlasma VHF Série 3000 permite o dimensionamento da potência de saída até 80 kW. Graças à implementação da tecnologia CombineLine, o gerador se comporta de maneira robusta mesmo em um ajuste incorreto. Sua ampla gama de frequência e tensão de rede e comprimentos de cabo variáveis permite um ajuste flexível a diversas aplicações e países de utilização.
Eficiência e rentabilidade máximas
Os geradores de alta frequência TruPlasma VHF Série 3000 foram concebidos integralmente com a tecnologia mais moderna de semicondutores com transistores de potência LDMOS. A tecnologia altamente integrada e planejável permite as maiores densidades de potência, ao mesmo tempo em que possibilita uma alta eficiência energética e a redução da potência de refrigeração. Com isso, essa série consegue atingir um nível de rentabilidade inigualável nessa gama de frequência e reduz as despesas operacionais normais do mercado.
TRUMPF SystemPort
O SystemPort permite um circuito de regulagem fechado por meio da medição do sinal de RF diretamente na entrada e saída do Matchbox. Diversos valores de medição estão à disposição do gerador de RF. Assim, os parâmetros de processo podem ser melhor monitorados, o Matchbox é protegido e é possível garantir uma detecção de arco rápida. Todo o sistema de RF também pode ser controlado por interfaces do gerador individuais.
As diferentes opções permitem a adaptação ideal do gerador de frequência ultra-alta à sua aplicação.
A solução patenteada Auto Frequency Tuning permite um ajuste de frequência simultâneo e rápido e garante uma interação ideal entre o gerador e o Matchbox. Com essa tecnologia patenteada, a quantidade mínima local não é mais um obstáculo: o sistema de RF foi concebido de forma ideal e, por isso, permite os melhores resultados de processo e um alto nível de capacidade de reprodução.
A gestão de arcos sofisticada é o módulo ideal para o melhor controle do processo de plasma. Uma detecção de arco específica garante a maior produtividade possível e protege ainda o produto e seu sistema.
Forma de pulso flexível: a forma do sinal de saída pode ser ajustada às exigências de processo.
TruControl Power
O software de comando TruControl Power de fácil utilização permite uma colocação em funcionamento confortável e o monitoramento seguro do gerador de alta frequência e de todo o sistema catódico TRUMPF no processo em andamento.
Por meio da seleção de componentes de sistema adequados, é possível ajustar o gerador de frequência ultra-alta conforme as exigências de sua aplicação.
As redes de adaptação do TruPlasma Match garantem uma transferência ideal de potência do gerador para a descarga de plasma. A operação do Matchbox pode ser feita de maneira autônoma ou por uma ligação inteligente Matchbox-gerador, o chamado SystemPort.
Ele é composto por um adaptador para as conexões de água, conjunto de alimentação HARTING AC, jumper para função de interbloqueio, adaptador de LEMO EPL para BNC fêmea (para tomada Clock and Pulse sync).
Por causa dos osciladores mestre, os processos de plasma síncronos críticos podem ser estabilizados e otimizados. Um sintetizador digital integrado de frequência e fase garante uma grande estabilidade de frequência e fase e permite o ajuste da posição de fase em incrementos muito pequenos. Há diversas versões de osciladores mestre disponíveis para a frequência 13,56 MHz, bem como para diferentes combinações de frequência.
O comutador de alta frequência permite a utilização múltipla de um gerador de alta frequência em diversas estações de processo de plasma, como para alimentação de tensão de processos sequenciais ou em sistemas com diversos pontos de alimentação. Há diversos comutadores de alta frequência disponíveis em duas classes de potência com 2, 3 ou 4 saídas.
Para a transmissão de potência de alta frequência, a TRUMPF Hüttinger fornece cabos coaxiais especialmente concebidos para a operação em sistemas de 50 Ohm.
Ajuste perfeito: o sistema catódico da TRUMPF
Os processos de plasma se comportam como uma carga complexa e variável que precisa receber uma alimentação elétrica de maneira contínua. Isso é feito por redes de adaptação ativas, chamadas de Matchboxes, que garantem uma adaptação precisa à impedância ideal de 50 Ohm a qualquer momento. Assim surge uma solução de sistema perfeitamente ajustada, o sistema catódico da TRUMPF. Por diversas interfaces, entre elas EtherCAT, é possível integrar o gerador e o Matchbox de maneira simples ao ambiente de processo existente. Com a ligação inteligente entre o Matchbox e o gerador, o chamado SystemPort, atinge-se a solução de sistema ideal.
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Notas de rodapé-
A temperatura do líquido de refrigeração deve exceder o ponto de orvalho da temperatura do ar ambiente para assegurar ausência de condensação.
