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Gerador de polarização com gestão de tensão estável e gestão rápida de arco
Gerador de polarização com gestão de tensão estável e gestão rápida de arco
Estimulações por plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias Série 3000

Estável e versátil

Geradores universais para seu processo de pulverização

Os geradores TruPlasma Bias Série 3000 oferecem suporte principalmente a aplicações de revestimento ópticas e metálicas, como as usadas na tecnologia de semicondutores ou de revestimento de resina. Além disso, eles se ajustam a requisitos comparáveis conforme a tensão e a corrente.

Modo de alta e baixa tensão

1200 V para processos de gravação em substratos,
300 V para processos de revestimento com base em polarização.

Gestão de arco rápida

Energia residual de arco muito baixa, assim os processos são mais estáveis e com poucos danos aos substratos.

Resultados de processo estáveis e reprodutíveis

Precisão única graças à moderna tecnologia DSP e análise de sinal FPGA.

Ideal para revestimentos de grandes áreas

Revestimento decorativo

Os revestimentos de grandes áreas exigem bastante da alimentação de corrente no processo de plasma. Os geradores TruPlasma Bias Série 3000 oferecem todas as condições para uma alimentação de corrente estável, ideal e conforme o respectivo processo, de maneira que os resultados excelentes e reprodutíveis possam ser atingidos.

Ideal para diversas aplicações

Tecnologia de semicondutores

Os geradores TruPlasma Bias Série 3000 se destacam em todos os processos de PVD e PECV críticos e oferecem todas as condições para uma alimentação de corrente estável, ideal e conforme o respectivo processo, de maneira que resultados excelentes e reprodutíveis possam ser atingidos.

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Gerador TruPlasma Bias Série 3000 em ação

Garantia de condições de processo constantes e boas

O design de potência e controle especial garante uma estabilidade de tensão consolidada e decisiva para a qualidade de camadas e estabilidade do processo. Concebido com tecnologia DSP e com uma análise de sinais FPGA, o TruPlasma Bias Série 3000 possui uma moderna gestão de arco, que oferece uma precisão única e precisão de repetição. Os valores impressionantes de ambos os parâmetros garantem a estabilidade ideal do processo.

Área de aplicação típica do TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2): fabricação de camadas resistentes a desgaste

Manuseio do sistema simplificado com apenas um aparelho para diversos processos

O TruPlasma Bias Série 3000 possui dois modos de tensão separados: um modo de alta tensão com até 1200 Volt e um modo de baixa tensão com até 300 Volt. Os modos oferecem suporte principalmente a aplicações de revestimento ópticas e metálicas, como na tecnologia de semicondutores ou revestimento de resinas. Além disso, eles se ajustam a requisitos comparáveis conforme a tensão e a corrente.

Área de aplicação típica do TruPlasma Bias Série 3000: fabricação de células solares

Qualidade de camada ideal por processos perfeitos

Os geradores TruPlasma Bias Série 3000 são equipados com uma gestão de arco totalmente digital com energia de arco mínima e CompensateLine, por isso permitem qualidades de camadas e taxas de deposição maiores. Assim, há uma baixa ocorrência de danos ao substrato, o processo e o produto final são otimizados.

Software PVD Power fácil de utilizar

PVD Power

O software fácil de usar e em diversos idiomas PVD Power oferece várias opções para operação, configuração e diagnóstico para otimização da qualidade de processo e solução de falhas eficaz: exibição de valores reais de todos os parâmetros de processo relevantes, bem como avisos e mensagens de alarme, especificação de valores nominais pelo operador, gravação e visualização de parâmetros operacionais importantes em alta resolução (função do osciloscópio).

Dependendo do país, pode haver divergências na oferta de produtos e nos dados apresentados. Reserva-se o direito de efetuar alterações em tecnologia, equipamento, preço e oferta de acessórios. Entre em contato com nosso parceiro no local para saber se o produto está disponível em seu país.

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Klaus Nock
Vendas de plasma
Fax +49 761 89711150
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Folheto TruPlasma Bias Série 3000/4000
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